本实用新型专利技术公开一种二极管晶圆电特性检测装置，包括底座、晶圆承载座、升降机构、XY轴移动机构、探针夹持件；晶圆承载座通过升降机构与底座连接，晶圆承载座上设置有可调节夹持范围的晶圆夹持卡爪；XY轴移动机构设置在底座上，探针夹持件设置在XY轴移动机构上，探针夹持件上夹持检测探针。该装置无需人工手动操作检测，由设备自动驱动检测探针对晶圆上的各个二极管进行电特性检测，极大提高检测效率，节省大量人力成本，且本装置结构简单，操作简单，成本低，同时本装置的晶圆夹持卡爪可适应不同尺寸的晶圆，实现对不同尺寸晶圆的检测。实现对不同尺寸晶圆的检测。实现对不同尺寸晶圆的检测。
【技术实现步骤摘要】
一种二极管晶圆电特性检测装置
[0001]本技术涉及二极管晶圆电特性检测领域，具体涉及一种二极管晶圆电特性检测装置。
技术介绍
[0002]二极管晶圆在生产完成后需对晶圆上的二极管进行电特性测试，目前二极管电特性测试仍然主要依靠测试人员手动测试，但一片晶圆上有多个二极管，人工测试的方式效率低，耗费大量人力物力。
技术实现思路
[0003]为解决上述问题，本技术提供一种二极管晶圆电特性检测装置，自动检测二极管电特性，提高测试效率，节省人力成本。
[0004]本技术的技术方案为：一种二极管晶圆电特性检测装置，包括底座、晶圆承载座、升降机构、XY轴移动机构、探针夹持件；
[0005]晶圆承载座通过升降机构与底座连接，晶圆承载座上设置有可调节夹持范围的晶圆夹持卡爪；
[0006]XY轴移动机构设置在底座上，探针夹持件设置在XY轴移动机构上，探针夹持件上夹持检测探针。
[0007]进一步地，晶圆承载座为方形承载座；
[0008]晶圆夹持卡爪包括四个限位固定板和四个倒“L”形夹持板，限位固定板与倒“L”形夹持板一一对应；
[0009]四个限位固定板分别设置在晶圆承载座四个侧边的中心位置处；限位固定板下端设置有第一通孔，限位固定板顶端设置有横截面为圆形的第二通孔；第一通孔与第二通孔垂直，且两者贯通；第二通孔的侧壁上设置螺纹；
[0010]倒“L”形夹持板的横向板贯穿过第一通孔。
[0011]进一步地，倒“L”形夹持板的竖向板外侧面为弧形结构。
[0012]进一步地，晶圆承载座上从其中心处到其四个侧边的中心处分别设置有刻度线。
[0013]进一步地，XY轴移动机构包括四个支撑杆、X轴滚珠丝杠、Y轴滚珠丝杠、Y轴导向杆；
[0014]四个支撑杆分别设置在底座的四角处，Y轴滚珠丝杠设置在其中两个支撑杆上，Y轴导向杆设置在另外两个支撑杆上；X轴滚珠丝杠一端与Y轴滚珠丝杠连接，另一端与Y轴导向杆连接；
[0015]X轴滚珠丝杠上设置有基座，探针夹持件设置在基座上。
[0016]进一步地，X轴滚珠丝杠由一X轴步进电机驱动，Y轴滚珠丝杠由一Y轴步进电机驱动；
[0017]X轴步进电机电连接一主控制器，Y轴步进电机电连接一从控制器，主控制器通过
RS485接口与从控制器电连接。
[0018]进一步地，X轴滚珠丝杠上设置有至少三个检测基座位置的第一光电传感器，Y轴滚珠丝杠上设置至少三个检测X轴滚珠丝杠位置的第二光电传感器；第一光电传感器与主控制器电连接，第二光电传感器与从控制器电连接。
[0019]进一步地，升降机构为电动气缸伸缩杆；电动气缸伸缩杆的驱动电机与一升降控制器电连接，升降控制器通过RS485接口与主控制器电连接。
[0020]本技术提供的一种二极管晶圆电特性检测装置，将检测探针设置在探针夹持件上，由XY轴移动机构驱动检测探针在X、Y两个方向移动，将检测探针带动到预定位置，之后升降机构驱动晶圆承载座上升，使晶圆上的二极管接触到检测探针进行检测。该装置无需人工手动操作检测，由设备自动驱动检测探针对晶圆上的各个二极管进行电特性检测，极大提高检测效率，节省大量人力成本，且本装置结构简单，操作简单，成本低，同时本装置的晶圆夹持卡爪可适应不同尺寸的晶圆，实现对不同尺寸晶圆的检测。
附图说明
[0021]图1是本技术具体实施例结构示意图；
[0022]图2是本技术具体实施例晶圆承载座俯视结构示意图；
[0023]图3是本技术具体实施例限位固定板剖面结构示意图。
[0024]图中，1
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底座，2
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晶圆承载座，3
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升降机构，4
‑
限位固定板，5
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螺栓，6
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倒“L”形夹持板，7
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支撑杆，8
‑ꢀ
Y轴滚珠丝杠，9
‑
X轴滚珠丝杠，10
‑
第一光电传感器，11
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探针夹持件，12
‑ꢀ
Y轴导向杆，13
‑
刻度，14
‑
第一通孔，15
‑
第二通孔。
具体实施方式
[0025]下面结合附图并通过具体实施例对本技术进行详细阐述，以下实施例是对本技术的解释，而本技术并不局限于以下实施方式。
[0026]如图1
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3所示，本实施例提供一种二极管晶圆电特性检测装置，包括底座1、晶圆承载座2、升降机构3、XY轴移动机构、探针夹持件11。
[0027]晶圆承载座2通过升降机构3与底座1连接，升降机构3驱动晶圆承载座2可上下移动。晶圆承载座2上设置晶圆夹持卡爪，检测时将晶圆放置到晶圆承载座2上，由晶圆夹持卡爪进行卡持固定。
[0028]XY轴移动机构设置在底座1上，探针夹持件11设置在XY轴移动机构上，探针夹持件11上夹持检测探针。XY轴移动机构驱动探针夹持件11在X、Y两个方向移动，使检测探针到达待检测二极管位置，之后驱动升降机构3将晶圆承载座2升起，使检测探针接触到二极管从而进行检测。检测一个二极管之后，升降机构3下落使晶圆下降，再次启动XY轴移动机构使检测探针到达下一个待检测二极管位置处，依次对晶圆上的所有二极管进行检测。
[0029]本实施例的XY轴移动机构包括四个支撑杆7、X轴滚珠丝杠9、Y轴滚珠丝杠8、Y轴导向杆12。四个支撑杆7分别设置在底座1的四角处，Y轴滚珠丝杠8设置在其中两个支撑杆7上，Y轴导向杆12设置在另外两个支撑杆7上；X轴滚珠丝杠9一端与Y轴滚珠丝杠8连接，另一端与Y轴导向杆12连接。X轴滚珠丝杠9上设置有基座，探针夹持件11设置在基座上。X轴滚珠丝杠9启动，带动基座连动探针夹持件11沿X轴滚珠丝杠9移动，从而实现检测探针在X方向
的移动。启动Y轴滚珠丝杠8使X轴滚珠丝杠9沿Y轴滚珠丝杠8移动（Y轴导向杆12起限位支撑导向作用），带动探针夹持件11在Y方向移动，从而实现检测探针在Y方向的移动。
[0030]本实施例中，X轴滚珠丝杠9由一X轴步进电机驱动，Y轴滚珠丝杠8由一Y轴步进电机驱动。X轴步进电机电连接一主控制器，Y轴步进电机电连接一从控制器，主控制器通过RS485接口与从控制器电连接。X轴和Y轴两个方向的步进电机由两个控制器控制，其中X轴方向的控制器作为主控制器，Y轴方向的控制器作为从控制器，主控制器向从控制器发送行走指令，且主控制器等待从控制器的到达反馈信号。
[0031]为提高移动精度，具体实施时采用高精度的滚珠丝杠。另外，本实施例在X轴滚珠丝杠9上设置有至少三个检测基座位置的第一光电传感器10，Y轴滚珠丝杠8上设置至少三个检测X轴滚珠丝杠9位置的第二光电传感器；第一光电传感器10与主控制器电连接，第二光电传感器与从控制器电连接。进一步提高移动精度。
[0032]本本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种二极管晶圆电特性检测装置，其特征在于，包括底座、晶圆承载座、升降机构、XY轴移动机构、探针夹持件；晶圆承载座通过升降机构与底座连接，晶圆承载座上设置有可调节夹持范围的晶圆夹持卡爪；XY轴移动机构设置在底座上，探针夹持件设置在XY轴移动机构上，探针夹持件上夹持检测探针。2.根据权利要求1所述的二极管晶圆电特性检测装置，其特征在于，晶圆承载座为方形承载座；晶圆夹持卡爪包括四个限位固定板和四个倒“L”形夹持板，限位固定板与倒“L”形夹持板一一对应；四个限位固定板分别设置在晶圆承载座四个侧边的中心位置处；限位固定板下端设置有第一通孔，限位固定板顶端设置有横截面为圆形的第二通孔；第一通孔与第二通孔垂直，且两者贯通；第二通孔的侧壁上设置螺纹；倒“L”形夹持板的横向板贯穿过第一通孔。3.根据权利要求2所述的二极管晶圆电特性检测装置，其特征在于，倒“L”形夹持板的竖向板外侧面为弧形结构。4.根据权利要求3所述的二极管晶圆电特性检测装置，其特征在于，晶圆承载座上从其中心处到其四个侧边的中心处分别设置有刻度线。5.根据权利要求1
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4任一项所述的二极管晶圆电特...
【专利技术属性】
技术研发人员：张政，毕景武，潘登，
申请(专利权)人：山东晶久电子器材厂有限公司，
类型：新型
国别省市：
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