电镀挂具和电镀装置制造方法及图纸

本申请公开了电镀挂具和电镀装置，所述电镀挂具包括下载板、固定结构、导电结构、阴极接口和突出部，所述下载板上设有用于放置晶圆的晶圆槽，所述固定结构用于将所述晶圆固定在所述晶圆槽内，用于使所述晶圆的背面密封，且使所述晶圆的正面外露；所述导电结构用于与所述晶圆的背面相贴；所述突出部设置在所述晶圆槽的外侧，与所述下载板或固定结构连接，且朝所述晶圆的电镀面方向，突出于所述下载板和固定结构。这样电镀挂具在放入镀槽并浸没在电镀液后，当电镀挂具与镀槽相贴时，突出部能够将晶圆的电镀面与镀槽隔开，防止晶圆的电镀面被遮挡住，从而使晶圆的电镀面与电镀液充分接触，这样电镀挂具无论在镀槽中如何放置都不会影响到晶圆的电镀。响到晶圆的电镀。响到晶圆的电镀。

【技术实现步骤摘要】
电镀挂具和电镀装置


[0001]本申请涉及晶圆电镀领域，尤其涉及电镀挂具和电镀装置。

技术介绍

[0002]在晶圆的生产过程中，需要对其进行电镀处理；而在晶圆进行电镀处理时，需要使用挂具进行辅助配合，以将晶圆放入电镀液中进行电镀。电镀是指借助外界直流电的作用，于电镀液中进行电解反应，以使晶圆表面沉积金属或合金层。在进行电镀时，将电源的正极电连接于电镀液中，并将电源的负极与晶圆相连接；当电流导通时，电镀液中带有正电的阳离子朝向电路的阴极游动，在晶圆的表面发生还原反应，并形成覆盖晶圆表面的电镀层。
[0003]目前，利用电镀挂具将晶圆放入电镀液进行电镀时，电镀挂具容易与镀槽相贴，导致晶圆的电镀面被遮挡住，使得晶圆的电镀面不能与电镀液不能充分接触，进而影响晶圆的电镀效率。

技术实现思路

[0004]本申请的目的是提供一种电镀挂具和电镀装置，使晶圆在电镀时能够与电镀液充分接触。
[0005]本申请公开了一种电镀挂具，包括下载板、固定结构、导电结构、阴极接口和突出部，所述下载板上设有用于放置晶圆的晶圆槽，所述固定结构用于将所述晶圆固定在所述晶圆槽内，用于使所述晶圆的背面密封，且使所述晶圆的正面外露；所述导电结构设置在所述晶圆槽的底部，用于与所述晶圆的背面相贴；所述阴极接口固定在所述下载板上，与所述导电结构电连接；所述突出部设置在所述晶圆槽的外侧，与所述下载板或固定结构连接，且朝所述晶圆的电镀面方向，突出于所述下载板和固定结构。
[0006]可选的，所述突出部设置在所述下载板上，与所述下载板侧边的边缘相贴。
[0007]可选的，所述突出部设置在所述下载板的两侧，且所述突出部在所述下载板的中轴线方向对称分布。
[0008]可选的，所述下载板的一侧设有一个所述突出部，所述突出部的长度与所述下载板的侧边长度相等。
[0009]可选的，所述下载板的每一侧都包括第一斜边、第二斜边和直边，所述直边的两端分别与所述第一斜边和第二斜边的一端连接，所述第一斜边朝所述阴极接口的方向延伸，所述第二斜边朝背离所述阴极接口的方向延伸；所述突出部的长度与所述直边的长度相等。
[0010]可选的，所述下载板的一侧设有多个所述突出部，相邻所述突出部之间的间距相等。
[0011]可选的，所述突出部的截面为三角形，所述三角形的底部与所述下载板的表面相贴。
[0012]可选的，所述下载板包括第一晶圆槽和第二晶圆槽，所述第一晶圆槽设置在所述
下载板的正面，所述第二晶圆槽设置在所述下载板的背面；所述固定结构包括第一上盖和第二上盖，所述第一上盖将晶圆固定在所述第一晶圆槽中，所述第二上盖将晶圆固定在所述第二晶圆槽中；所述导电结构包括第一导电环和第二导电环，所述第一导电环设置在所述第一晶圆槽的底部，与所述第一晶圆槽中晶圆的背面相贴；所述第二导电环设置在所述第二晶圆槽的底部，与所述第二晶圆槽中晶圆的背面相贴；所述第一导电环、所述第二导电环都与所述阴极接口电连接；所述突出部包括第一突出部和第二突出部，所述第一突出部设置在所述下载板的正面，所述第二突出部设置在所述下载板的背面。
[0013]可选的，所述第一突出部与所述第二突出部相互对称。
[0014]本申请还公开了一种电镀装置，所述电镀装置包括如上所述的电镀挂具。
[0015]本申请通过在电镀挂具的外侧设置突出部，且突出部在朝所述晶圆的电镀面方向，突出于所述下载板和固定结构；这样电镀挂具在放入镀槽并浸没在电镀液后，当电镀挂具与镀槽相贴时，突出部能够将晶圆的电镀面与镀槽隔开，防止晶圆的电镀面被遮挡住，从而使晶圆的电镀面与电镀液充分接触，这样电镀挂具无论在镀槽中如何放置都不会影响到晶圆的电镀。
附图说明
[0016]所包括的附图用来提供对本申请实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本申请的实施方式，并与文字描述一起来阐释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：
[0017]图1是本申请一实施例提供的一种电镀装置的示意框图；
[0018]图2是本申请一实施例提供的一种电镀装置的示意图；
[0019]图3是图2电镀装置中的电镀挂具的截面示意图；
[0020]图4是图2电镀装置中的另一种电镀挂具的截面示意图；
[0021]图5是图2电镀装置中的电镀挂具的正面示意图；
[0022]图6是图2电镀装置中的另一种电镀挂具的正面示意图；
[0023]图7是另一电镀装置中的电镀挂具的正面示意图；
[0024]图8是另一电镀装置中的电镀挂具的背面示意图；
[0025]图9是另一电镀装置中的电镀挂具的截面示意图；
[0026]图10是本申请一实施例提供的一种导电结构的示意图；
[0027]图11是本申请一实施例提供的另一种导电结构的示意图；
[0028]图12是本申请一实施例提供的另一种导电结构的示意图；
[0029]图13是本申请一实施例提供的一种橡胶垫的示意图；
[0030]图14是本申请一实施例提供的一种设有密封圈的上盖示意图。
[0031]其中，100、电镀装置；200、电源；210、负极；220、正极；300、镀槽；310、电镀液；400、电镀挂具；410、下载板；411、晶圆槽；4111、第一晶圆槽；4112、第二晶圆槽；412、导电槽；420、固定结构；421、上盖；4211、第一上盖；4212、第二上盖；422、电镀孔；423、第一台阶面；424、第二台阶面；430、导电结构；431、导电环；4311、第一导电环；4312、第二导电环；432、接口；440、阴极接口；450、固定环；460、密封组件；461、橡胶垫；462、第一橡胶垫；463、第二橡
胶垫；464、开口；465、橡胶圈；466、第一橡胶圈；467、第二橡胶圈；470、螺钉；480、突出部；481、第一突出部；482、第二突出部；483、第一斜边；484、第二斜边；485、直边；500、晶圆。
具体实施方式
[0032]需要理解的是，这里所使用的术语、公开的具体结构和功能细节，仅仅是为了描述具体实施例，是代表性的，但是本申请可以通过许多替换形式来具体实现，不应被解释成仅受限于这里所阐述的实施例。
[0033]在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示相对重要性，或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，除非另有说明，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征；“多个”的含义是两个或两个以上。术语“包括”及其任何变形，意为不排他的包含，可能存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。
[0034]另外，“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电镀挂具，其特征在于，包括：下载板，所述下载板上设有用于放置晶圆的晶圆槽；固定结构，用于将所述晶圆固定在所述晶圆槽内，用于使所述晶圆的背面密封，且使所述晶圆的正面外露；导电结构，设置在所述晶圆槽的底部，用于与所述晶圆的背面相贴；阴极接口，固定在所述下载板上，与所述导电结构电连接；以及突出部，设置在所述晶圆槽的外侧，与所述下载板或固定结构连接，且朝所述晶圆的电镀面方向突出于所述下载板和固定结构。2.如权利要求1所述的电镀挂具，其特征在于，所述突出部设置在所述下载板上，与所述下载板侧边的边缘相贴。3.如权利要求2所述的电镀挂具，其特征在于，所述突出部设置在所述下载板的两侧，且所述突出部在所述下载板的中轴线方向对称分布。4.如权利要求3所述的电镀挂具，其特征在于，所述下载板的一侧设有一个所述突出部，所述突出部的长度与所述下载板的侧边长度相等。5.如权利要求4所述的电镀挂具，其特征在于，所述下载板的每一侧都包括第一斜边、第二斜边和直边，所述直边的两端分别与所述第一斜边和第二斜边的一端连接，所述第一斜边朝所述阴极接口的方向延伸，所述第二斜边朝背离所述阴极接口的方向延伸；所述突出部的长度与所述直边的长度相等。6.如权利要求3所述的电镀挂具，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：王东升，孔跃春，王国峰，
申请(专利权)人：青岛惠芯微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：