一种旋转靶材内部清洁辅助工装制造技术

本实用新型专利技术涉及一种旋转靶材内部清洁辅助工装，所述旋转靶材内部清洁辅助工装为空心管结构；所述空心管结构内部依次设置有第一网格、第二网格和第三网格；所述空心管结构靠近所述第一网格的一端为杂质吸附口；所述空心管结构靠近所述第三网格的一端与抽气装置相连接；所述第一网格中心点与所述第二网格中心点之间的距离＞所述第二网格中心点与所述第三网格中心点之间的距离；所述第一网格和所述第二网格的夹角为锐角；所述第二网格和所述第三网格平行设置。通过对网格的间距和夹具的合理设置，可以避免由于吸除废料时吸力较大导致的废料乱动对旋转靶材内壁造成划伤的问题。废料乱动对旋转靶材内壁造成划伤的问题。废料乱动对旋转靶材内壁造成划伤的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种旋转靶材内部清洁辅助工装


[0001]本技术涉及靶材领域，具体涉及一种旋转靶材内部清洁辅助工装。

技术介绍

[0002]磁控溅射作为制作膜层材料的技术之一，在各领域有着广泛的应用，通常在磁控溅射过程中使用的靶材包括平面靶材和旋转靶材。
[0003]如CN108193180A公开了一种旋转靶材制备设备，由加热装置对靶材原料进行加热，使得靶材原料热熔为可液态状态，喷出装置与加热装置连通，可将融化的靶材原料喷出。喷涂装置与喷出装置对接，待成型的靶材管材沿其轴向与喷涂装置内的喷涂通道通过，喷涂装置上设置喷涂腔，喷出装置通过喷涂腔通入喷涂通道内，待成型靶材管材穿过喷涂通道的过程中，可通过喷出装置将融化的靶材原料喷涂到靶材管材的表面，喷涂过程连续，可直接制备一体结构的旋转靶材，无需在通过分块绑定的方式制备，靶材原料的直接喷涂可实现对靶材原料的有效利用，降低了旋转靶材的制备难度，降低了靶材损耗。
[0004]CN111926296A公开了一种旋转靶材绑定方法，包括以下步骤：将待绑定旋转靶材加热，根据靶材加热后的膨胀量以及材料力学相关理论计算出需要加热的特定温度；将旋转靶材和背衬管分别进行粗化处理；将旋转靶材加热至特定温度使旋转靶材处于膨胀状态，然后在指定时间内把旋转靶材套装在背衬管外侧，使旋转靶材与背衬管之间形成一个缝隙空间；将旋转靶材冷却至室温。技术无须采用铟为焊料做绑定，可以节省对应铟的消耗，降低了生产成本，能有效解决现有技术中采用铟为焊料做绑定后导致的铟脱落以及铟污染的技术问题，且能有效解决采用铟为焊料做绑定的靶材在溅射过程中还会把铟作为溅射源带入薄膜造成薄膜性能偏差等技术问题。
[0005]CN111996503A公开了一种铌旋转靶材的成型方法。其特点是，包括如下步骤：(1)取圆柱体铌锭，要求纯度≥99.9％，直径Φ≥190mm；(2)将铌锭锻造打圆，控制加工率20％
‑
30％，打圆后的直径Φ≥140mm；(3)车削表面缺陷，车削后的直径Φ≥130mm；(4)在得到的铌锭中心预制直径15
‑
45mm导向孔；(5)将得到的铌锭加热至80
‑
120℃，涂附高温防氧化玻璃粉，要求涂附2遍；(6)将得到的铌锭加热至1000℃
‑
1450℃，保温；(7)采用三辊斜轧穿孔设备进行穿孔；(8)对得到的管坯进行校直即可。此方法生产效率高，材料利用率高，内部组织均匀，保证了旋转铌靶更高的使用要求。
[0006]然而现有旋转靶材在制备过程中靶材内部的空心结构会逐渐积累加工废料，而产生的废料如不处理干净会显著影响靶材后续的加工及使用，即会对靶材的制备和溅射形成膜层的性能造成不利的影响。

技术实现思路

[0007]鉴于现有技术中存在的问题，本技术的目的之一在于一种旋转靶材内部清洁辅助工装，可以避免由于吸除废料时吸力较大导致的废料乱动对旋转靶材内壁造成划伤的问题。同时由于采用合理的网格配置可以对加工过程形成的废料进行分类回收，实现废料
的高效回收。
[0008]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0009]本技术提供了一种旋转靶材内部清洁辅助工装，所述旋转靶材内部清洁辅助工装为空心管结构；
[0010]所述空心管结构内部依次设置有第一网格、第二网格和第三网格；
[0011]所述空心管结构靠近所述第一网格的一端为杂质吸附口；
[0012]所述空心管结构靠近所述第三网格的一端与抽气装置相连接；
[0013]所述第一网格中心点与所述第二网格中心点之间的距离＞所述第二网格中心点与所述第三网格中心点之间的距离；
[0014]所述第一网格和所述第二网格的夹角为锐角；
[0015]所述第二网格和所述第三网格平行设置。
[0016]本技术提供的旋转靶材内部清洁辅助工装，通过对网格的间距和夹具的合理设置，可以避免由于吸除废料时吸力较大导致的废料乱动对旋转靶材内壁造成划伤的问题。同时由于采用合理的网格配置可以对加工过程形成的废料进行分类回收，实现废料的高效回收。
[0017]作为本技术优选的技术方案，所述空心挂结构以杂质吸附口为起点呈渐缩型。
[0018]作为本技术优选的技术方案，所述第一网格中心点与第二网格中心点之间的距离为所述空心管结构长度的22
‑
30％，例如可以是22％、22.2％、22.4％、22.6％、22.8％、23％、23.2％、23.4％、23.6％、23.8％、24％、24.2％、24.6％、24.8％、25％、25.2％、25.4％、25.6％、25.8％、26％、26.2％、26.4％、26.6％、26.8％、27％、27.2％、27.4％、27.6％、27.8％、28％、28.2％、28.4％、28.6％、28.8％、29％、29.2％、29.4％、29.6％、29.8％或30％等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
[0019]作为本技术优选的技术方案，所述第二网格中心点与第三网格中心点之间的距离为所述空心管结构长度的8
‑
12％，例如可以是8％、8.1％、8.2％、8.3％、8.4％、8.5％、8.6％、8.7％、8.8％、8.9％、9％、9.1％、9.2％、9.3％、9.4％、9.5％、9.6％、9.7％、9.8％、9.9％、10％、10.1％、10.2％、10.3％、10.4％、10.5％、10.6％、10.7％、10.8％、10.9％、11％、11.1％、11.2％、11.3％、11.4％、11.5％、11.6％、11.7％、11.8％、11.9％或12％等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
[0020]作为本技术优选的技术方案，所述第一网格和所述第二网格的夹角为45
‑
60
°
，例如可以是45
°
、46
°
、47
°
、48
°
、49
°
、50
°
、51
°
、52
°
、53
°
、54
°
、55
°
、56
°
、57
°
、58
°
、59
°
或60
°
等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的数值同样适用。
[0021]作为本技术优选的技术方案，所述第一网格的网孔孔径为2
‑
5mm，例如可以是2mm、2.1mm、2.2mm、2.3mm、2.4mm、2.5mm、2.6mm、2.7mm、2.8mm、2.9mm、3mm、3.1mm、3.2mm、3.3mm、3.4mm、3.5mm、3.6mm、3.7mm、3.8mm、3.9mm、4mm、4.1mm、4.2mm、4.3m本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋转靶材内部清洁辅助工装，其特征在于，所述旋转靶材内部清洁辅助工装为空心管结构；所述空心管结构内部依次设置有第一网格、第二网格和第三网格；所述空心管结构靠近所述第一网格的一端为杂质吸附口；所述空心管结构靠近所述第三网格的一端与抽气装置相连接；所述第一网格中心点与所述第二网格中心点之间的距离＞所述第二网格中心点与所述第三网格中心点之间的距离；所述第一网格和所述第二网格的夹角为锐角；所述第二网格和所述第三网格平行设置。2.如权利要求1所述的旋转靶材内部清洁辅助工装，其特征在于，所述空心挂结构以杂质吸附口为起点呈渐缩型。3.如权利要求1或2所述的旋转靶材内部清洁辅助工装，其特征在于，所述第一网格中心点与第二网格中心点之间的距离为所述空心管结构长度的22
‑
30％。4.如权利要求1所述的旋转靶材内部清洁辅助工装，其特征在于，所述第二网格...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，王学泽，赵丽，闻人湖丹，
申请(专利权)人：广东江丰电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：