一种冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体生产设备领域，特别涉及一种冷却装置。具有上盘、下盘、进出水管路、出水接头、进水接头和密封接水块；所述上盘真空焊接在下盘上，所述上盘的底面开有平面螺旋状的水道，所述下盘上对应水道的两端开有出水口和进水口，所述进出水管路内设置有两道并列竖直设置的出水管道和进水管道，所述出水管道顶端通过出水口和水道连通，所述进水管道顶端通过进水口和水道连通，所述出水管道底端连接有出水接头，所述进出水管路上设置有密封接水块，所述进水接头通过密封接水块和进水管道底端连通。本实用新型专利技术的密封接水块为可拆式设计，极大地提供了维护的便捷性。定位孔可以兼容不同尺寸的晶圆。容不同尺寸的晶圆。容不同尺寸的晶圆。

【技术实现步骤摘要】
一种冷却装置


[0001]本技术涉及半导体生产设备领域，特别涉及一种冷却装置。

技术介绍

[0002]在半导体机台中，冷却盘体起到冷却作用。冷却盘体的冷却作用是通过内部的水道实现的，内部密封性好的水道通满冷却水，在冷却水循环的过程中会带走腔体内部的热量，起到冷却的作用。但是现有的冷却装置下方的进出水接口难以拆卸、维修不便、维护成本高；难以兼容不同尺寸的晶圆；可能会出现焊接缺陷。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种冷却装置。
[0004]实现本技术目的的技术方案是：一种冷却装置，具有上盘、下盘、进出水管路、出水接头、进水接头和密封接水块；所述上盘真空焊接在下盘上，所述上盘的底面开有平面螺旋状的水道，所述下盘上对应水道的两端开有出水口和进水口，所述进出水管路内设置有两道并列竖直设置的出水管道和进水管道，所述出水管道顶端通过出水口和水道连通，所述进水管道顶端通过进水口和水道连通，所述出水管道底端连接有出水接头，所述进出水管路上设置有密封接水块，所述进水接头通过密封接水块和进水管道底端连通。
[0005]进一步的，所述上盘的上表面上设置有若干用于晶圆片子定位的定位孔。
[0006]进一步的，所述水道呈圆形等距布置。
[0007]进一步的，所述下盘位于出水口和进水口的位置上设置有安装槽，所述进出水管路顶端设置有和安装槽配合的安装块，所述进出水管路通过顶端的安装块固定在安装槽上。
[0008]进一步的，所述上盘开有一个十字凹槽。
>[0009]进一步的，所述密封接水块和进出水管路管道口接触的位置设置有一个密封圈。
[0010]进一步的，所述上盘和下盘分别对应设置有若干上定位通孔和若干下定位通孔。
[0011]进一步的，所述上盘和下盘的边上分别对应设置有一道上直边和一道下直边。
[0012]进一步的，所述进出水管路位于密封接水块上方位置密封套装有一个用于固定进出水管路在机台底部的固定件，所述固定件上端设置一段套管。
[0013]采用上述技术方案后，本技术具有以下积极的效果：
[0014](1)本技术的密封接水块为可拆式设计，极大地提供了维护的便捷性。
[0015](2)本技术的定位孔可以兼容不同尺寸的晶圆。
[0016](3)本技术的水路设计有效地降低了使用空间，减少了用料，降低了成本。
[0017](4)本技术的进出水管路可以通过固定件从机台上狭小的孔洞内穿出来，再安装接头。
附图说明
[0018]为了使本技术的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本技术作进一步详细的说明，其中
[0019]图1为本技术的结构示意图；
[0020]图2为本技术沿出水管道和进水管道轴线的剖视图；
[0021]图3为水道结构示意图；
[0022]图4为下盘下方的结构示意图；
[0023]图5为出水管路的结构示意图；
[0024]图6为本技术安装机台后的结构示意图。
具体实施方式
[0025]见图1至图5，本技术具有上盘1、下盘2、进出水管路3、出水接头4、进水接头5和密封接水块6；上盘1真空焊接在下盘2上，上盘1的底面开有平面螺旋状的水道11，水道呈圆形等距布置。下盘2上对应水道11的两端开有出水口21和进水口22，进出水管路3内设置有两道并列竖直设置的出水管道31和进水管道32，出水管道31顶端通过出水口21和水道11连通，进水管道32顶端通过进水口22和水道11连通，出水管道31底端连接有出水接头4，进出水管路3上设置有密封接水块6，进水接头5通过密封接水块6和进水管道32底端连通。密封接水块6和进出水管路3管道口接触的位置设置有一个密封圈61。上盘1的上表面上设置有若干用于晶圆片子定位的定位孔12。上盘1开有一个十字凹槽13。上盘1和下盘2分别对应设置有若干上定位通孔14和若干下定位通孔24。上盘1和下盘2的边上分别对应设置有一道上直边15和一道下直边25。下盘2位于出水口21和进水口22的位置上设置有安装槽23，进出水管路3顶端设置有和安装槽23配合的安装块33，进出水管路3通过顶端的安装块33固定在安装槽23上。进出水管路3位于密封接水块6上方位置密封套装有一个用于固定进出水管路3在机台底部的固定件7，固定件7上端设置一段套管。进出水管路3可以通过固定件7从机台上狭小的孔洞内穿出来，再安装接头。
[0026]本技术的工作原理为：冷却水从进水接头5进入盘旋设置的水道11冷却放置在上盘1上的晶圆，降温后的冷却水从出水接头4排出。密封接水块6为可拆式设计，极大地提供了维护的便捷性。定位孔12可以兼容不同尺寸的晶圆。水道11的设计有效地降低了使用空间，减少了用料，降低了成本。
[0027]以上所述的具体实施例，对本技术的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本技术的具体实施例而已，并不用于限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种冷却装置，其特征在于：具有上盘(1)、下盘(2)、进出水管路(3)、出水接头(4)、进水接头(5)和密封接水块(6)；所述上盘(1)真空焊接在下盘(2)上，所述上盘(1)的底面开有平面螺旋状的水道(11)，所述下盘(2)上对应水道(11)的两端开有出水口(21)和进水口(22)，所述进出水管路(3)内设置有两道并列竖直设置的出水管道(31)和进水管道(32)，所述出水管道(31)顶端通过出水口(21)和水道(11)连通，所述进水管道(32)顶端通过进水口(22)和水道(11)连通，所述出水管道(31)底端连接有出水接头(4)，所述进出水管路(3)上设置有密封接水块(6)，所述进水接头(5)通过密封接水块(6)和进水管道(32)底端连通。2.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于：所述上盘(1)的上表面上设置有若干用于晶圆片子定位的定位孔(12)。3.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于：所述水道呈圆形等距布置。4.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于：所述下盘(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖海涛，
申请(专利权)人：无锡邑文电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：