一种硅基微显示器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种硅基微显示器及其制备方法，制备方法包括：提供驱动背板；在驱动背板的一侧依次形成第一电极层、第一功能层、白光发光层、第二功能层和第二电极层；其中，第一功能层和第二功能层中的至少一层包括通过多次错位蒸镀方式形成的厚度不完全相同的微腔调节层；不同厚度的微腔调节层用于增强白光发光层发射的白光中不同颜色的光。通过在掩膜版的作用下，采用多次错位蒸镀的方式，实现形成厚度不完全相同的微腔调节层，使得可以实现红色子像素、绿色子像素、蓝色子像素对应的微腔厚度不一致。保证了RGB对应的子像素点发光时，白光光谱峰值最大时分别对应RGB的峰位，最终实现硅基微显示器的亮度提升，改善了亮度提升困难的问题。难的问题。难的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种硅基微显示器及其制备方法


[0001]本专利技术实施例涉及显示
，尤其涉及一种硅基微显示器及其制备方法。

技术介绍

[0002]随着国内面板行业的蓬勃发展及半导体技术的日新月异，基于面板结合半导体技术的硅基微显示技术也在飞速发展。
[0003]目前，硅基微显示器受限于掩膜版制作精度和开口大小的限制，主要采用白光发光层结合彩色滤光片结构实现彩色化，但是，白光发光层发出的光经过彩色滤光片之后显示器亮度损失较大，导致了硅基微显示产品亮度降低；另外，由于红绿蓝三种颜色的光对应不同厚度的光学微腔，而单一光学厚度的顶发射结构的白色有机电致发光器件(White organic light
‑
emitting device，WOLED)无法分别最大化红、绿、蓝三种颜色光的强度，因此，还存在亮度提升困难的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例提供了一种硅基微显示器及其制备方法，以提升硅基微显示器的亮度，改善亮度提升困难的问题。
[0005]第一方面，本专利技术实施例提供了一种硅基微显示器的制备方法，包括：
[0006]提供驱动背板；
[0007]在驱动背板的一侧依次形成第一电极层、第一功能层、白光发光层、第二功能层和第二电极层；
[0008]其中，所述第一功能层和所述第二功能层中的至少一层包括通过多次错位蒸镀方式形成的厚度不完全相同的微腔调节层；不同厚度的微腔调节层用于增强所述白光发光层发射的白光中不同颜色的光。
[0009]可选的，所述微腔调节层包括厚度不同的第一微腔调节层、第二微腔调节层和第三微腔调节层；所述第一微腔调节层用于增强所述白光发光层发射的白光中的蓝光；所述第二微腔调节层用于增强所述白光发光层发射的白光中的绿光；所述第三微腔调节层用于增强所述白光发光层发射的白光中的红光；
[0010]所述通过多次错位蒸镀方式形成的厚度不完全相同的微腔调节层，包括：
[0011]基于第一掩膜版，在所述第一电极层远离所述驱动背板的一侧形成第一微腔材料层；
[0012]相对于所述第一微腔材料层，基于所述第一掩膜版错位一个子像素长度蒸镀第二微腔材料层；所述第二微腔材料层位于所述第一微腔材料层远离所述驱动背板的一侧；
[0013]相对于所述第二微腔材料层，基于所述第一掩膜版错位一个子像素长度蒸镀第三微腔材料层；所述第三微腔材料层位于所述第二微腔材料层远离所述驱动背板的一侧；
[0014]其中，单独形成第一微腔材料层的位置以及单独形成第三微腔材料层的位置对应形成所述第一微腔调节层，层叠形成第一微腔材料层和第二微腔材料层的位置以及层叠形
成第三微腔材料层和第二微腔材料层的位置对应形成所述第二微腔调节层；层叠形成第一微腔材料层、第二微腔材料层和第三微腔材料层的位置对应形成所述第三微腔调节层。
[0015]可选的，所述第一微腔材料层的厚度等于所述第三微腔材料层的厚度；
[0016]沿错位蒸镀的方向上，三次蒸镀工艺后形成依次排列的第一微腔调节层、第二微腔调节层、第三微腔调节层、第三微腔调节层、第二微腔调节层和第一微腔调节层。
[0017]可选的，所述白光发光层包括层叠设置的蓝色发光材料层、绿色发光材料层和红色发光材料层；
[0018]形成所述光发光层包括：
[0019]基于第二掩膜版，在所述第一功能层远离驱动背板的一侧依次形成蓝色发光材料层、绿色发光材料层和红色发光材料层；
[0020]其中，所述第二掩膜版的开口暴露硅基微显示器的整个显示区；沿错位蒸镀的方向上，所述第一掩膜版的开口同时暴露四个子像素的长度。
[0021]可选的，所述第一电极层包括阳极层，所述第二电极层包括阴极层；所述第一功能层包括空穴注入层、空穴传输层和电子阻挡层中的至少两层；所述第二功能层包括电子注入层、电子传输层和空穴阻挡层中的至少两层。
[0022]在第一功能层中，所述空穴传输层或所述电子阻挡层用于形成所述微腔调节层；
[0023]在第二功能层中，所述电子传输层或所述空穴阻挡层用于形成所述微腔调节层。
[0024]可选的，在所述驱动背板的一侧依次形成第一电极层、第一功能层、白光发光层、第二功能层和第二电极层之后，还包括：
[0025]于第二电极层远离驱动背板的一侧形成滤光层；所述滤光层包括蓝色滤光单元、绿色滤光单元和红色滤光单元；所述蓝色滤光单元和所述第一微腔调节层对位设置，所述绿色滤光单元和所述第二微腔调节层对位设置；所述红色滤光单元和所述第三微腔调节层对位设置。
[0026]可选的，在所述驱动背板的一侧依次形成第一电极层、第一功能层、白光发光层、第二功能层和第二电极层之后，还包括：
[0027]于第二电极层远离驱动背板的一侧形成薄膜封装层；所述薄膜封装层位于所述第二电极层和所述滤光层之间。
[0028]第二方面，本专利技术实施例提供了一种硅基微显示器，包括：
[0029]驱动背板；
[0030]在驱动背板的一侧依次层叠设置的第一电极层、第一功能层、白光发光层、第二功能层和第二电极层；
[0031]其中，所述第一功能层和所述第二功能层中的至少一层包括通过多次错位蒸镀方式形成的厚度不完全相同的微腔调节层；不同厚度的微腔调节层用于增强所述白光发光层发射的白光中不同颜色的光。
[0032]可选的，所述微腔调节层包括厚度不同的第一微腔调节层、第二微腔调节层和第三微腔调节层；所述第一微腔调节层用于增强所述白光发光层发射的白光中的蓝光；所述第二微腔调节层用于增强所述白光发光层发射的白光中的绿光；所述第三微腔调节层用于增强所述白光发光层发射的白光中的红光；
[0033]其中，所述第一微腔调节层包括第一微腔材料层；所述第二微腔调节层包括层叠
形成的第一微腔材料层和第二微腔材料层，以及层叠形成的第三微腔材料层和第二微腔材料层；所述第三微腔调节层包括层叠形成的第一微腔材料层、第二微腔材料层和第三微腔材料层。
[0034]可选的，所述第一微腔材料层的厚度等于所述第三微腔材料层的厚度；
[0035]沿错位蒸镀的方向上，三次蒸镀工艺后形成依次排列的第一微腔调节层、第二微腔调节层、第三微腔调节层、第三微腔调节层、第二微腔调节层和第一微腔调节层。
[0036]本专利技术实施例提供了一种硅基微显示器及其制备方法，其中制备方法包括：提供驱动背板；在驱动背板的一侧依次形成第一电极层、第一功能层、白光发光层、第二功能层和第二电极层；其中，第一功能层和第二功能层中的至少一层包括通过多次错位蒸镀方式形成的厚度不完全相同的微腔调节层；不同厚度的微腔调节层用于增强所述白光发光层发射的白光中不同颜色的光。本专利技术实施例通过在掩膜版的作用下，采用多次错位蒸镀的方式，实现形成厚度不完全相同的微腔调节层，使得可以实现红色子像素、绿色子像素、蓝色子像素对应的微腔厚度不一致，三者的微腔厚度具有针对性。保证了RGB对应的子像素点发光时，白光光谱峰值最大时分别对应R本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅基微显示器的制备方法，其特征在于，包括：提供驱动背板；在驱动背板的一侧依次形成第一电极层、第一功能层、白光发光层、第二功能层和第二电极层；其中，所述第一功能层和所述第二功能层中的至少一层包括通过多次错位蒸镀方式形成的厚度不完全相同的微腔调节层；不同厚度的微腔调节层用于增强所述白光发光层发射的白光中不同颜色的光。2.根据权利要求1所述的硅基微显示器的制备方法，其特征在于，所述微腔调节层包括厚度不同的第一微腔调节层、第二微腔调节层和第三微腔调节层；所述第一微腔调节层用于增强所述白光发光层发射的白光中的蓝光；所述第二微腔调节层用于增强所述白光发光层发射的白光中的绿光；所述第三微腔调节层用于增强所述白光发光层发射的白光中的红光；所述通过多次错位蒸镀方式形成的厚度不完全相同的微腔调节层，包括：基于第一掩膜版，在所述第一电极层远离所述驱动背板的一侧形成第一微腔材料层；相对于所述第一微腔材料层，基于所述第一掩膜版错位一个子像素长度蒸镀第二微腔材料层；所述第二微腔材料层位于所述第一微腔材料层远离所述驱动背板的一侧；相对于所述第二微腔材料层，基于所述第一掩膜版错位一个子像素长度蒸镀第三微腔材料层；所述第三微腔材料层位于所述第二微腔材料层远离所述驱动背板的一侧；其中，单独形成第一微腔材料层的位置以及单独形成第三微腔材料层的位置对应形成所述第一微腔调节层，层叠形成第一微腔材料层和第二微腔材料层的位置以及层叠形成第三微腔材料层和第二微腔材料层的位置对应形成所述第二微腔调节层；层叠形成第一微腔材料层、第二微腔材料层和第三微腔材料层的位置对应形成所述第三微腔调节层。3.根据权利要求2所述的硅基微显示器的制备方法，其特征在于，所述第一微腔材料层的厚度等于所述第三微腔材料层的厚度；沿错位蒸镀的方向上，三次蒸镀工艺后形成依次排列的第一微腔调节层、第二微腔调节层、第三微腔调节层、第三微腔调节层、第二微腔调节层和第一微腔调节层。4.根据权利要求2所述的硅基微显示器的制备方法，其特征在于，所述白光发光层包括层叠设置的蓝色发光材料层、绿色发光材料层和红色发光材料层；形成所述光发光层包括：基于第二掩膜版，在所述第一功能层远离驱动背板的一侧依次形成蓝色发光材料层、绿色发光材料层和红色发光材料层；其中，所述第二掩膜版的开口暴露硅基微显示器的整个显示区；沿错位蒸镀的方向上，所述第一掩膜版的开口同时暴露四个子像素的长度。5.根据权利要求1所述的硅基微显示器的制备方法，其特征在于，所述第一电极层包...

【专利技术属性】
技术研发人员：王卫卫，周文斌，冯峰，范国振，徐超，曹云岭，张峰，孙剑，高裕弟，
申请(专利权)人：昆山梦显电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：