双臂式换晶环机构制造技术

技术编号:30697342 阅读:20 留言:0更新日期:2021-11-06 09:32
本申请提供了一种双臂式换晶环机构,包括第一搬运臂;第二搬运臂;搬运驱动单元,分别与第一搬运臂和第二搬运臂相连,用于驱动第一搬运臂和第二搬运臂在晶环上料位与晶环下料位之间往复移动。本申请通过第一搬运臂可将晶环上料位之盛装有晶片的晶环移动至晶环下料位,便于顶晶机构将晶环上的晶片顶出;通过第二搬运臂可将晶环下料位之使用后的晶环取出,便于第一搬运臂对晶环的上料;通过搬运驱动单元可驱动第一搬运臂和第二搬运臂在晶环上料位与晶环下料位之间往复移动。如此,晶环的上料作业可由第一搬运臂完成,晶环的下料作业可由第二搬运臂完成,从而有助于提高晶环上料及下料的速率,减少晶环上下料的等待时长,进而提高固晶效率。固晶效率。固晶效率。

【技术实现步骤摘要】
双臂式换晶环机构


[0001]本申请属于固晶
,更具体地说,是涉及一种双臂式换晶环机构。

技术介绍

[0002]在固晶设备中,需要将盛装有晶片的晶环通过机械臂移动至晶环旋转平台上,再由顶晶机构将晶片顶出,顶出后的晶片由吸嘴移动至固晶位实现与支架的固晶作业。
[0003]然而,当晶环旋转平台上的晶环需要更换时,通常是由该机械臂将使用后的晶环取下,即晶环的上下料作业都是由同一机械臂来完成,这就导致晶环的上下料效率低,进而影响固晶效率。

技术实现思路

[0004]本申请实施例的目的在于提供一种双臂式换晶环机构,以解决相关技术中存在的:晶环的上下料作业都是由同一机械臂来完成,这就导致晶环的上下料效率低,进而影响固晶效率的问题。
[0005]为实现上述目的,本申请实施例采用的技术方案是:
[0006]提供一种双臂式换晶环机构,包括:
[0007]第一搬运臂,用于将晶环上料位之盛装有晶片的晶环移动至晶环下料位;
[0008]第二搬运臂,用于将所述晶环下料位之使用后的晶环取出;
[0009]搬运驱动单元,分别与所述第一搬运臂和所述第二搬运臂相连,用于驱动所述第一搬运臂和所述第二搬运臂在所述晶环上料位与所述晶环下料位之间往复移动。
[0010]在一个实施例中,所述第一搬运臂包括用于夹持所述晶环的第一夹爪单元和用于驱动所述第一夹爪单元升降的第一搬运升降单元;所述第一搬运升降单元安装于所述搬运驱动单元上,所述第一搬运升降单元与所述第一夹爪单元相连。
[0011]在一个实施例中,所述第一搬运升降单元包括安装于所述搬运驱动单元上的第一安装座、安装于所述第一安装座上的滑动座和用于驱动所述滑动座升降的第一搬运升降件;所述第一搬运升降件安装于所述第一安装座上,所述第一搬运升降件与所述滑动座相连,所述第一夹爪单元安装于所述滑动座上。
[0012]在一个实施例中,所述第一夹爪单元包括安装于所述第一搬运升降单元上的第一固定夹、用于与所述第一固定夹配合夹持所述晶环的第一活动夹、用于驱动所述第一活动夹靠近或远离所述第一固定夹的第一夹爪驱动件和支撑所述第一夹爪驱动件的支撑座;所述支撑座安装于所述第一固定夹上,所述第一夹爪驱动件与所述第一活动夹相连。
[0013]在一个实施例中,所述第一夹爪单元还包括安装于所述第一活动夹上的第一导向轴,所述支撑座上对应开设有供所述第一导向轴穿过的第一通孔。
[0014]在一个实施例中,所述第二搬运臂包括用于夹持所述晶环的第二夹爪单元、用于驱动所述第二夹爪单元升降的第二搬运升降单元和用于驱动所述第二夹爪单元旋转的搬运旋转单元;所述搬运旋转单元安装于所述第二搬运升降单元上,所述搬运旋转单元与所
述第二夹爪单元相连,所述第二搬运升降单元安装于所述搬运驱动单元上。
[0015]在一个实施例中,所述第二搬运升降单元包括第二安装座、与所述第二安装座铰接的连接座和安装于所述搬运驱动单元上的第二搬运升降件,所述第二搬运升降件与所述第二安装座相连;所述搬运旋转单元包括安装于所述连接座上的转动座和安装于所述搬运驱动单元上的搬运旋转件,所述搬运旋转件与所述转动座相连,所述第二夹爪单元安装于所述连接座上。
[0016]在一个实施例中,所述第二夹爪单元包括安装于所述连接座上的固定座、与所述固定座相连的第二固定夹、用于与所述第二固定夹配合夹持所述晶环的第二活动夹和用于驱动所述第二活动夹靠近或远离所述第二固定夹的第二夹爪驱动件;所述第二夹爪驱动件安装于所述固定座上,所述第二夹爪驱动件与所述第二活动夹相连。
[0017]在一个实施例中,所述第二夹爪单元还包括安装于所述第二活动夹上的第二导向轴,所述第二固定夹上对应开设有供所述第二导向轴穿过的第二通孔。
[0018]在一个实施例中,所述搬运驱动单元包括支撑架、安装于所述支撑架上的丝杆、安装于所述丝杆上的滑块和用于驱动所述丝杆转动的搬运驱动件;所述搬运驱动件安装于所述支撑架上,所述搬运驱动件与所述丝杆相连,所述第一搬运臂和所述第二搬运臂分别安装于所述滑块上。
[0019]本申请实施例中的上述一个或多个技术方案,至少具有如下技术效果之一:本申请通过第一搬运臂可将晶环上料位之盛装有晶片的晶环移动至晶环下料位,便于顶晶机构将晶环上的晶片顶出;通过第二搬运臂可将晶环下料位之使用后的晶环取出,便于第一搬运臂对晶环的上料;通过搬运驱动单元可驱动第一搬运臂和第二搬运臂在晶环上料位与晶环下料位之间往复移动。如此,晶环的上料作业可由第一搬运臂完成,晶环的下料作业可由第二搬运臂完成,从而有助于提高晶环上料及下料的速率,减少晶环上下料的等待时长,进而提高固晶效率。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例或示范性技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本申请实施例提供的双臂式换晶环机构的结构示意图;
[0022]图2为本申请实施例提供的双臂式换晶环机构的分解示意图;
[0023]图3为本申请实施例提供的第一搬运臂的结构示意图;
[0024]图4为图3的分解示意图;
[0025]图5为本申请实施例提供的第二搬运臂的结构示意图;
[0026]图6为图5的分解示意图。
[0027]其中,图中各附图主要标记:
[0028]1‑
第一搬运臂;11

第一夹爪单元;111

第一固定夹;112

第一活动夹;113

第一夹爪驱动件;114

支撑座;1140

第一通孔;115

第一导向轴;12

第一搬运升降单元;121

第一安装座;1210

第一开孔;1211

第一滑槽;122

滑动座;1221

第一滑轨;1222

第一限位块;
123

第一搬运升降件;
[0029]2‑
第二搬运臂;21

第二夹爪单元;211

固定座;212

第二固定夹;2120

第二通孔;213

第二活动夹;214

第二夹爪驱动件;215

第二导向轴;216

第二限位块;22

第二搬运升降单元;221

第二安装座;2211

定位轴;222

连接座;2220

第二开孔;2221

第本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.双臂式换晶环机构,其特征在于,包括:第一搬运臂(1),用于将晶环上料位之盛装有晶片的晶环(4)移动至晶环下料位;第二搬运臂(2),用于将所述晶环下料位之使用后的晶环(4)取出;搬运驱动单元(3),分别与所述第一搬运臂(1)和所述第二搬运臂(2)相连,用于驱动所述第一搬运臂(1)和所述第二搬运臂(2)在所述晶环上料位与所述晶环下料位之间往复移动。2.如权利要求1所述的双臂式换晶环机构,其特征在于:所述第一搬运臂(1)包括用于夹持所述晶环(4)的第一夹爪单元(11)和用于驱动所述第一夹爪单元(11)升降的第一搬运升降单元(12);所述第一搬运升降单元(12)安装于所述搬运驱动单元(3)上,所述第一搬运升降单元(12)与所述第一夹爪单元(11)相连。3.如权利要求2所述的双臂式换晶环机构,其特征在于:所述第一搬运升降单元(12)包括安装于所述搬运驱动单元(3)上的第一安装座(121)、安装于所述第一安装座(121)上的滑动座(122)和用于驱动所述滑动座(122)升降的第一搬运升降件(123);所述第一搬运升降件(123)安装于所述第一安装座(121)上,所述第一搬运升降件(123)与所述滑动座(122)相连,所述第一夹爪单元(11)安装于所述滑动座(122)上。4.如权利要求2所述的双臂式换晶环机构,其特征在于:所述第一夹爪单元(11)包括安装于所述第一搬运升降单元(12)上的第一固定夹(111)、用于与所述第一固定夹(111)配合夹持所述晶环(4)的第一活动夹(112)、用于驱动所述第一活动夹(112)靠近或远离所述第一固定夹(111)的第一夹爪驱动件(113)和支撑所述第一夹爪驱动件(113)的支撑座(114);所述支撑座(114)安装于所述第一固定夹(111)上,所述第一夹爪驱动件(113)与所述第一活动夹(112)相连。5.如权利要求4所述的双臂式换晶环机构,其特征在于:所述第一夹爪单元(11)还包括安装于所述第一活动夹(112)上的第一导向轴(115),所述支撑座(114)上对应开设有供所述第一导向轴(115)穿过的第一通孔(1140)。6.如权利要求1

5任一项所述的双臂式换晶环机构,其特征在于:所述第二搬运臂(2)包括用于夹持所述晶环(4)的第二夹爪单元(21)、用于驱动所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员:梁志宏
申请(专利权)人:深圳新益昌科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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