一种适用于非标准尺寸硅片的清洗片架制造技术

本实用新型专利技术涉及一种适用于非标准尺寸硅片的清洗片架，属于半导体清洗技术领域。包括片架本体，所述片架本体设于自动清洗机的标准片架内，所述片架本体与标准片架内腔相匹配，所述片架本体表面开设用于放置非标硅片的置物单元，且所述置物单元上下贯通。所述置物单元分别包括若干均匀间隔设置的卡槽，且相邻所述卡槽之间的间距与标准片架上的置物槽相匹配，所述卡槽的大小与非标硅片相匹配。所述置物单元设有多个，多个所述置物单元并列布置。所述片架本体为特氟龙材质制成件。本申请放于现有自动清洗机的标准片架内，标准片架对片架本体起到支撑作用，使得片架本体卡槽中的非标准尺寸的硅片在自动清洗机内自动清洗，省时省力。力。力。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于非标准尺寸硅片的清洗片架


[0001]本技术涉及一种适用于非标准尺寸硅片的清洗片架，属于半导体清洗


技术介绍

[0002]半导体晶圆湿法清洗工艺属于比较成熟的工艺，目前大多采用全自动的湿法清洗设备，只需要人工上料、下料即可，清洗部分全部由设备自动完成。
[0003]在半导体行业中，需要监控到很多的过程参数，但一些参数无法直接对产品进行测试，需要放置一些陪片一同作业，这些陪片在作业完成后，用于对参数的测试，这个参数即表征一同作业的产品参数。例如半导体的杂质掺杂：三氯氧磷预淀积的表面薄层电阻、B源预淀积的表面薄层电阻、推结的结深深度等等。这些参数都无法对产品直接进行无损测试，因此半导体行业中，陪片的使用是非常广泛的。
[0004]在陪片的使用过程中，由于尽量减少陪片的使用成本，一般都使用比产品尺寸要小很多的陪片，或将与产品同尺寸的陪片分为数个等份，每次使用其中一份，即可监控到过程数据。
[0005]一般使用1/6大小的5英寸片做陪片以及使用2.5英寸硅片做炉管的固定电荷测试。这些陪片在作业前都需要同产品一同对待，需要做湿法清洗，否则会造成陪片的表面状态与产品不一致，导致陪片的参数不能表征实际产品的参数。由于现有的自动清洗设备只能具备常规尺寸5英寸、6英寸标准大小的硅片清洗，对小尺寸的硅片、非标尺寸的硅片无法作业。目前，陪片使用手动清洗，不仅费时费力，而且需要单独配液作业，一方面配液的精度差，无补液功能，另一方面清洗液的浪费较大，无其他产品能在手动清洗机内作业。

技术实现思路

[0006]本技术所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种适用于非标准尺寸硅片的清洗片架，能够自动对非标准尺寸的硅片进行清洗，省时省力，无需单独配液作业，节省成本。
[0007]本技术解决上述问题所采用的技术方案为：一种适用于非标准尺寸硅片的清洗片架，包括片架本体，所述片架本体设于自动清洗机的标准片架内，所述片架本体与标准片架内腔相匹配，所述片架本体表面开设用于放置非标硅片的置物单元，且所述置物单元上下贯通。
[0008]所述置物单元分别包括若干均匀间隔设置的卡槽，且相邻所述卡槽之间的间距与标准片架上的置物槽相匹配，所述卡槽的大小与非标硅片相匹配。
[0009]所述置物单元设有多个，多个所述置物单元并列布置。
[0010]所述片架本体为特氟龙材质制成件。
[0011]与现有技术相比，本技术的优点在于：一种适用于非标准尺寸硅片的清洗片架，本申请放于现有自动清洗机的标准片架内，标准片架对片架本体起到支撑作用，使得片
架本体卡槽中的非标准尺寸的硅片在自动清洗机内自动清洗，省时省力，无需单独配液作业，节省了成本。
附图说明
[0012]图1为本技术实施例一种适用于角片的清洗片架的示意图；
[0013]图2为本技术实施例一种适用于2.5英寸片的清洗片架的示意图；
[0014]图中1片架本体、2卡槽。
具体实施方式
[0015]以下结合附图实施例对本技术作进一步详细描述。
[0016]本实施例中的一种适用于非标准尺寸硅片的清洗片架，包括片架本体1，片架本体1 设于自动清洗机的标准片架内，片架本体1的尺寸与标准片架内腔相匹配，片架本体1 表面开设用于放置非标硅片的置物单元，且置物单元上下贯通。自动清洗机对非标准尺寸的硅片自动进行清洗，保证了非标准尺寸的硅片的清洗质量与产品清洗质量一致，使得陪片的参数更加能够具有表征产品的能力。
[0017]如图1所示，置物单元设有两组，两组置物单元并列布置，每组置物单元分别包括若干均匀间隔设置的卡槽2，相邻卡槽2之间的间距与标准片架上的置物槽相对应，使得片架本体1平整放于标准片架内。当陪片的大小为标准5英寸片的6等份之后的角片时，卡槽的大小与角片相匹配，每一卡槽内放一角片。
[0018]如图2所示，置物单元设有一组，每组置物单元分别包括若干均匀间隔设置的卡槽，相邻卡槽之间的间距与标准片架上的置物槽相对应，使得片架本体平整放于标准片架内。当陪片的大小为2.5英寸片时，卡槽的大小与2.5英寸片相匹配，每一卡槽内放一片2.5 英寸片。
[0019]上述片架本体1的材质与标准片架的材质相同，均为特氟龙材质。
[0020]本申请放于现有自动清洗机的标准片架内，标准片架对片架本体起到支撑作用，使得片架本体卡槽中的非标准尺寸的硅片在自动清洗机内自动清洗，省时省力，无需单独配液作业，节省了成本。
[0021]除上述实施例外，本技术还包括有其他实施方式，凡采用等同变换或者等效替换方式形成的技术方案，均应落入本技术权利要求的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于非标准尺寸硅片的清洗片架，其特征在于：包括片架本体(1)，所述片架本体(1)设于自动清洗机的标准片架内，所述片架本体(1)与标准片架内腔相匹配，所述片架本体(1)表面开设用于放置非标硅片的置物单元，且所述置物单元上下贯通。2.根据权利要求1所述的一种适用于非标准尺寸硅片的清洗片架，其特征在于：所述置物单元分别包括若干均匀间隔设置的卡...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕伟，陈磊，钱如平，
申请(专利权)人：江苏新顺微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：