阳极背板固定结构制造技术

本实用新型专利技术公开了阳极背板固定结构，包括腔体背板(1)、设置在所述腔体背板(1)上的至少一个悬挂件(2)、及挂设在所述悬挂件(2)上的阳极背板(3)，所述阳极背板(3)上设有至少一个挂钩(3

【技术实现步骤摘要】
阳极背板固定结构


[0001]本技术涉及磁控溅射
，特别涉及一种阳极背板固定结构。

技术介绍

[0002]磁控溅射包括很多种类，各有不同工作原理和应用对象，但有一共同点：利用磁场与电场交互作用，使电子在靶表面附近成螺旋状运行，从而增大电子撞击氩气产生离子的概率。所产生的离子在电场作用下撞向靶面从而溅射出靶材。
[0003]但随着生产的持续会有以下几个问题点出现：
[0004]1)靶的污染：靶表面形成了非导电的化合物或者导电很差的化合物之后，除了放电电压及沉积速率变化之外，还会因为靶面状况的动态变化引起膜成分及结构的变化；
[0005]2)阳极消失：当阳极上化合物沉积到一定厚度时就中断了电荷传导的通路，造成电荷不断积累，最终阳极失去作用，辉光放电不稳定，沉积的膜层性能不一致。因此经常清理阳极是必要的；
[0006]3)极间打火：随阴阳极覆盖化合物，导电性能变差或丧失使电子积累。若要维持辉光放电，必须提高外加电压，结果造成阴极表面化合物的击穿，形成弧光放电，严重的影响溅射过程的稳定性，并造成膜的缺陷，最有效的解决方法是改变放电模式，采用交流及脉冲溅射。
[0007]综上所述，为了保持生产时最佳状态，努力使阳极保持最佳的导性能，成为了重中之中，及时清除附着于阳极表面的化合物成为了必须要做的事情。上
[0008]现有技术中，阳极背板通过螺丝锁附于焊接在溅射室腔体上的螺柱上，安装拆卸不便。

技术实现思路

[0009]本技术目的是提供一种阳极背板固定结构，安装拆卸方便。
[0010]基于上述问题，本技术提供的技术方案是：
[0011]阳极背板固定结构，包括腔体背板、设置在所述腔体背板上的至少一个悬挂件、及挂设在所述悬挂件上的阳极背板，所述阳极背板上设有至少一个挂钩，所述悬挂件上设有供所述挂钩伸入的挂孔。
[0012]在其中的一个实施例中，所述阳极背板上设有两组挂钩，每组挂钩包括设置在所述阳极背板长度方向端部的两个挂钩。
[0013]在其中的一个实施例中，所述悬挂件上沿高度方向设有若干组挂孔，每组挂孔包括并排布置的两个挂孔，每两组挂孔之间的间距与所述阳极背板上每组挂钩的两个挂钩之间的间距相匹配。
[0014]在其中的一个实施例中，所述挂孔包括上下布置且相互连通的第一通孔和第二通孔，所述第二通孔的尺寸与所述挂钩相匹配，所述第一通孔的尺寸大于所述第二通孔。
[0015]在其中的一个实施例中，所述悬挂件包括依次连接呈U型的第一板件、第二板件和
第三板件，所述第一板件与所述第三板件相互平行布置且固定在所述腔体背板上，所述第二板件连接所述第一板件、第三板件，所述挂孔设置在所述第二板件上。
[0016]与现有技术相比，本技术的优点是：
[0017]阳极背板挂设在腔体背板上，方便安装和拆卸，方便保养，提高保养效率。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为现有技术中阳极背板固定结构的结构示意图；
[0020]图2为本技术阳极背板固定结构实施例的结构示意图；
[0021]图3为本技术实施例另一个方向的结构示意图；
[0022]图4为本技术实施例中悬挂件的结构示意图；
[0023]图5为本技术实施例中悬挂件另一个方向的结构示意图；
[0024]图6为本技术实施例中阳极背板的结构示意图；
[0025]其中：
[0026]100、腔体背板；200、阳极背板；300、螺柱；400、螺丝；
[0027]1、腔体背板；
[0028]2、悬挂件；2
‑
1、挂孔；2
‑
1a、第一通孔；2
‑
1b、第二通孔；2
‑
2、第一板件；2
‑
3、第二板件；2
‑
4、第三板件；
[0029]3、阳极背板；3
‑
1、挂钩。
具体实施方式
[0030]以下结合具体实施例对上述方案做进一步说明。应理解，这些实施例是用于说明本技术而不限于限制本技术的范围。实施例中采用的实施条件可以根据具体厂家的条件做进一步调整，未注明的实施条件通常为常规实验中的条件。
[0031]参见图2、图3及图6，为本技术实施例的结构示意图，提供一种阳极背板固定结构，包括磁控溅射腔体背板1、设置在腔体背板1上的至少一个悬挂件2、及挂设在悬挂件2上的阳极背板3，在阳极背板3上设有至少一个挂钩3
‑
1，悬挂件2上设有与挂钩3
‑
1匹配的挂孔2
‑
1。
[0032]具体的，设有间隔布置的四个悬挂件2，阳极背板3挂设在相邻的两个悬挂件2之间。在阳极背板3上设有两组挂钩3
‑
1，每组挂钩包括设置在阳极背板3长度方向端部的两个挂钩3
‑
1，该两个挂钩3
‑
1沿阳极背板3高度方向间隔布置。
[0033]相应的，在悬挂件2上沿高度方向设有若干个组挂孔2
‑
1，每组挂孔2
‑
1 包括并排布置的两个挂孔2
‑
1，每两组挂孔2
‑
1之间的间距与阳极背板3上每组挂钩的两个挂钩之间的间距相匹配，以供阳极背板长度方向端部的两个挂钩3
‑
1伸入，本例中，在悬挂件2上设有八组挂孔2
‑
1，从而悬挂件上2 沿高度方向可挂设四个阳极背板3。
[0034]其中，挂孔2
‑
1包括上下布置且相互连通的第一通孔2
‑
1a和第二通孔 2
‑
1b，第二
通孔2
‑
1b的尺寸与挂钩3
‑
1相匹配，第一通孔2
‑
1a的尺寸大于第二通孔2
‑
1b，使用时将挂钩3
‑
1经由第一通孔2
‑
1a伸入后挂设在第二通孔2
‑
1b内。
[0035]本例中，参见图4
‑
5，悬挂件2包括依次连接呈U型的第一板件2
‑
2、第二板件2
‑
3和第三板件2
‑
4，第一板件2
‑
2与第三板件2
‑
4相互平行布置且固定在腔体背板1上，第二板件2
‑
3连接第一板件2
‑
2、第三板件2
‑
4，挂孔 3
‑
1设置在第二板件2
‑
3上。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.阳极背板固定结构，其特征在于：包括腔体背板(1)、设置在所述腔体背板(1)上的至少一个悬挂件(2)、及挂设在所述悬挂件(2)上的阳极背板(3)，所述阳极背板(3)上设有至少一个挂钩(3
‑
1)，所述悬挂件(2)上设有供所述挂钩(3
‑
1)伸入的挂孔(2
‑
1)。2.根据权利要求1所述的阳极背板固定结构，其特征在于：所述阳极背板(3)上设有两组挂钩(3
‑
1)，每组挂钩(3
‑
1)包括设置在所述阳极背板(3)长度方向端部的两个挂钩(3
‑
1)。3.根据权利要求2所述的阳极背板固定结构，其特征在于：所述悬挂件(2)上沿高度方向设有若干组挂孔(2
‑
1)，每组挂孔(2
‑
1)包括并排布置的两个挂孔(2
‑
1)，每两组挂孔(2
‑
1)之间的间距与所述阳极背板(3)上每组挂钩(3
‑
1)的两个挂钩(3
‑
1)之间的间距相匹配。4.根据权利要求3所述的阳极背板固定结...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱安秋，
申请(专利权)人：苏州胜利精密制造科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：