多层膜盘片膜层分离设备制造技术

本发明专利技术为一种多层膜盘片膜层分离设备，配合以导磁材料制成的数据母版，以电磁式撕膜的方式对数据母版产生吸附力来进行此膜层分离的动作，该多层膜盘片膜层分离设备包含了几个主要的部分：用以承载数据母版的数据母版承载装置、电磁铁吸附装置与底座固定装置；为了让电磁力均匀地分布于数据母版，所以，电磁铁吸附装置可以矩阵的方式平均分布一个或多个电磁铁铁心与可产生磁力的导电线圈，这样，在撕膜时就不会有应力集中现象。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种盘片膜层分离设备，特别是涉及一种运用于多层膜盘片的膜层分离设备。以光盘片来说，为了要达到更高的记忆容量，光盘片的制造更朝向一片盘片制作成单面双层的方向发展，甚至朝向单面多层的方向发展。其中，制造单面双层光盘的方法是首先在已具数据的数据母版(stamper)上，涂上一层成型胶，甩干后形成数据位(bit)形状的数据膜，再涂上贴合(通常为UV胶)胶并与另一已具数据位的基板(substrate)贴合，送进紫外线灯将成型胶固化，最后再将数据母版与基板分离，使数据母版上所形成的数据膜转移至基板上，于是此基板即可成为一片盘片的单面具有双层数据层的光盘片。多层数据层的形成过程，同样是通过这一制作过程将数据层一层一层地转印上去。在此制作过程中，数据母版与基板分离的效果，决定了数据层膜是否能适当地转移至基板形成双层数据层。换句话说，让数据母版与基板分离的装置，成为制作过程中的重要角色。公知的分离设备，是采用塑料基板为数据母板，完成贴膜后，在撕膜的过程中以真空方式对数据母版产生吸附力来进行撕膜。此真空吸膜的方式是采用一种真空吸盘的吸附方式，如附图说明图1所示，其为真空吸盘10的上视图，在真空吸盘10的顶面11上，挖有环型沟槽12，此环型沟槽12即为真空的范围，也就是吸力产生的部分。从图中可清楚看到，只有环型沟槽12的部分会有吸力，而真空吸盘10的顶面11，也即与数据基板接触的部分则不会有吸力。利用真空的吸力，在撕膜的过程中，可以产生强大的吸力将数据母版撕离基板。不过，真空吸盘虽可以达到较大的吸力，但由于真空吸盘是采用环型沟槽的方式制造，因而，真空吸盘的吸力无法均匀分布到整个数据母版，也就是说，会有应力不连续的应力断裂现象产生。这样，会造成撕膜时产生应力不连续、集中于真空吸附处的问题。依据本专利技术所公开的技术，本专利技术提供一种多层膜盘片膜层分离装置，包含了数据母版承载装置、电磁铁吸附装置与底座固定装置。数据母版承载装置包含了承载平面，其用来将数据母版加以固定，这样，数据母版才能够准确地将其数据膜与盘片以面对面的方式对应来达到数据膜的转移工作。在设计上，数据母版承载装置可设计定位机构，将数据母版的位置固定，数据母版的一面由电磁铁吸附装置吸附，包含数据膜的另一面则与盘片直接面对面地对应。电磁铁吸附装置用于贴膜与撕膜过程中，将数据母版吸附，其包含了几个主要的部分，分别为一个或数个导磁铁心与包于其外的导电线圈，导电线圈用以导通电流以产生电磁力，导磁铁心则用以增强该导电线圈所产生的电磁力；底板，用以承载导磁铁心；以及，导磁外壳，将上述的多个导电线圈加以包覆，导磁外壳与该底板的周围接合并将其固定。底座固定装置则用于将整个设备加以固定，包括数据母版承载装置以及电磁铁吸附装置，其可包括(但不一定包括)两个部分，一固定底座部分以及一推进部分。其中，固定底座部分，用以固定整个该分离设备；推进部分则直接与该电磁铁吸附装置连接，用以在转移该数据膜时推进该数据母版承载装置与该电磁铁吸附装置，以便接近该盘片，并用以在转移该数据膜后拉回该数据母版承载装置与该电磁铁吸附装置，以便远离该盘片。下面结合实施例及其附图，对本专利技术作进一步详细说明。由于电磁力的均匀分布，所以数据母版可重复使用。依上述的说明，本专利技术公开了一种多层膜盘片膜层分离装置，通过本专利技术的装置，即可让撕膜过程当中的吸力平均分布，而不会有应力集中的问题。本专利技术的分离设备包含了数据母版承载装置、电磁铁吸附装置与底座固定装置，分述如下数据母版承载装置包含了承载平面，其用来将数据母版加以固定，这样，数据母版才能够准确地以其数据膜与盘片以面对面的方式对应来达到数据膜的转移工作。在设计上，数据母版承载装置可设计定位机构，将数据母版的位置固定，数据母版的一面由电磁铁吸附装置吸附，包含数据膜的另一面则与盘片直接面对面对应。电磁铁吸附装置则跟数据母版承载装置相连接，电磁铁吸附装置的作用如上所述。由于其主要目的是将数据母版吸住，因此，电磁铁吸附装置所产生的磁力方向就必须垂直于数据母版承载装置的承载平面。这样，在电磁铁吸附装置产生电磁力时，即可将数据母版以磁力吸住，以进行贴膜与撕膜的工作。其中，电磁铁吸附装置则包含了几个主要的部分，分别为一个或数个导磁铁心与包于其外的导电线圈，导电线圈用以导通电流以产生电磁力，导磁铁心则用以增强该导电线圈所产生的电磁力；底板，用以承载导磁铁心；以及，导磁外壳，将上述的多个导电线圈加以包覆，导磁外壳与该底板的周围接合并将其固定。其中，导电线圈的绕线方式可以采用轴向绕线方式或多线圈径向绕线方式。另外，导磁铁心则可采用低磁阻系数的导磁材料。而导电线圈与导磁铁心的数量可依据磁力分布来设计所需的数目，如四个、八个不等，而其排列方式可以矩阵方式排列所需的数目。主要的目的还是要让电磁铁吸附装置所产生的电磁力能够均匀地垂直穿透数据母版承载装置。整个贴膜与撕膜的工作还需要底座固定装置来实现，也就是，在接近与远离盘片的过程中，将上述两个装置加以固定、定位与接近、远离盘片。所以，底座固定装置具有两个功能，其一为固定并承载该数据母版承载装置与该电磁铁吸附装置，让其能准确定位。其二为推进与拉回该数据母版承载装置与该电磁铁吸附装置，让这两个装置能接近盘片以完成贴膜与撕膜的工作。所以，底座固定装置可以用一固定底座部分以及一推进部分来设计。其中，固定底座部分，用以固定整个该分离设备；推进部分则直接与该电磁铁吸附装置连接，用以在转移该数据膜时推进该数据母版承载装置与该电磁铁吸附装置，以便接近该盘片，并用以在转移该数据膜后拉回该数据母版承载装置与该电磁铁吸附装置，以便远离该盘片。通过上述的设计理念，本专利技术将举一具体实施例以说明本专利技术的技术，也即，本专利技术的多层膜盘片膜层分离设备，请参考图2所示。图2中的多层膜盘片膜层分离设备20，以四个电磁铁铁心与线圈组为例子，包含了几个部分，电磁铁上盖201、电磁铁铁心202、电磁铁外壳203、电磁铁底板204、顶出圆环205、支撑柱206、第一底板207、撕膜座外壳208、第二底板209、滑块210、平台211、传感器支撑架212，以及散热风扇孔213。首先，在数据母版承载装置方面，电磁铁上盖201即为上述的承载平面，可用来承载数据母版。而传感器支撑架212则用以固定数据母版的周围。其次，在电磁铁吸附装置的设计上，从剖面图看出此分离装置的半面包含了两个电磁铁铁心202，导电线圈则未画出。电磁铁外壳203与电磁铁底板204的设计均依上述的设计理念设计。此四个电磁铁线圈组的设计，可让电磁铁所产生的电磁力均匀地分配至电磁铁上盖201，也即数据母版的承载平面上。其产生的磁路分布，请参考图3，其为图2的第一具体实施例的磁路分布图。最后，即为本专利技术的第三部份，底座固定装置。事实上，图2的剩余部分即为底座固定装置所包含的部分，也就是顶出圆环205、支撑柱206、第一底板207、撕膜座外壳208、第二底板209、滑块210、平台211、传感器支撑架212，以及散热风扇孔213等部分。其中，顶出圆环205包于电磁铁外壳203之外，可将电磁铁外壳203，也就是整个电磁铁吸附装置与数据母版承载装置的承载平面顶出，以进行贴膜与撕膜的工作。本专利技术的具体实施例也设计了一个散热风本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多层膜盘片膜层分离设备，用于一具数据位的盘片的复数层数据膜层的制作过程中，吸住具导磁性以及一数据膜的一数据母版（ｓｔａｍｐｅｒ），用以在该数据膜转移到该盘片后将该数据母版与该盘片分离，其特征在于该分离设备包含： 一数据母版承载装置，其包含一承载平面，用以固定并承载该数据母版的顶面； 一电磁铁吸附装置，与该数据母版承载装置相连接，用以产生一垂直于该承载平面的电磁力以吸住该数据母版；以及 一底座固定装置，用以承载该数据母版承载装置与该电磁铁吸附装置，并用以推进与拉回该数据母版承载装置与该电磁铁吸附装置以接近与远离该盘片。

【技术特征摘要】
1.一种多层膜盘片膜层分离设备，用于一具数据位的盘片的复数层数据膜层的制作过程中，吸住具导磁性以及一数据膜的一数据母版(stamper)，用以在该数据膜转移到该盘片后将该数据母版与该盘片分离，其特征在于该分离设备包含一数据母版承载装置，其包含一承载平面，用以固定并承载该数据母版的顶面；一电磁铁吸附装置，与该数据母版承载装置相连接，用以产生一垂直于该承载平面的电磁力以吸住该数据母版；以及一底座固定装置，用以承载该数据母版承载装置与该电磁铁吸附装置，并用以推进与拉回该数据母版承载装置与该电磁铁吸附装置以接近与远离该盘片。2.如权利要求1所述的多层膜盘片膜层分离设备，其特征在于该电磁铁吸附装置还包含至少一个导电线圈，分别用以导通电流以产生电磁力；至少一个导磁铁心，所述导电线圈分别绕于该导电铁心之外，用以增强该导电线圈所产生的电磁力；一底板，用以承载导磁铁心；及一导磁外壳，包覆于导电线圈之外并与该底板的周围接合，其顶面用以承载该数据母版承载装置。3.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：张朝信，郭利德，马荣昌，张裕修，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]