PERC电池及其制备方法技术

本申请提供了一种PERC电池及其制备方法，涉及太阳能电池的制备技术领域。该制备方法的背面镀膜或/和正面镀膜的工艺均包括通过化学气相沉积的方式进行多层镀膜步骤。其中，多层镀膜步骤包括：先以第一镀膜功率为功率值进行第一层镀膜步骤，然后以第二镀膜功率为功率值进行第二层镀膜步骤。进行多层镀膜步骤中，当将第一镀膜功率切换成第二镀膜功率的时候，功率逐渐变化，以使功率切换的持续时间至少为30s。在切换镀膜功率的时候，功率逐渐变化，使各层镀层之间的界面处更加均匀，提升了电池片的转化效率；且制备不同的膜层时，使设备的电压电流逐渐变化，改善射频不稳定产生报警现象。象。象。

【技术实现步骤摘要】
PERC电池及其制备方法


[0001]本申请涉及太阳能电池的制备
，具体而言，涉及一种PERC电池及其制备方法。

技术介绍

[0002]PERC电池(Passivated Emitterand Rear Cell)由于转化效率较高，得到了业界的广泛关注。
[0003]PERC电池的制作过程中，通常会使用PECVD(等离子体增强化学的气相沉积法，Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)来制作电池的减反射层，从而提升电池的转换效率。

技术实现思路

[0004]现有技术中，在使用PECVD来制作电池的减反射层时，由于镀层需要达到70nm以上，通常使用多层镀膜的方式得到上述镀层，为了形成不同折射率的减反射层，增强不同波长光的吸收，每层镀膜的镀膜功率通常不同，且每层镀膜的镀膜功率参数为一固定值。
[0005]专利技术人研究发现，在形成多层镀层的时候，每一层镀层的镀膜功率不同，在完成第一层镀层的镀膜以后，通常将第一层镀层的镀膜功率直接切换成第二层镀层的镀膜功率并进行第二层镀层的镀膜，这种切换方式容易因为各层之间功率参数的变化造成功率切换时产生的电流电压变化较大而导致各膜层交接处产生孔隙、交界处膜层不够紧密、射频不稳定产生机台报警等问题。
[0006]所以，本申请的目的在于提供一种PERC电池及其制备方法，以改善多层镀层的交界处膜层不紧密的问题，以提高PERC电池的转化效率。
[0007]第一方面，本申请实施例提供了一种PERC电池的制备方法，包括制绒、扩散、刻蚀、背面抛光、背面镀膜及正面镀膜，背面镀膜或/和正面镀膜的工艺均包括通过化学气相沉积的方式进行多层镀膜步骤。多层镀膜步骤包括：先以第一镀膜功率为功率值进行第一层镀膜步骤，然后以第二镀膜功率为功率值进行第二层镀膜步骤。进行多层镀膜步骤中，当将第一镀膜功率切换成第二镀膜功率的时候，功率逐渐变化，以使功率切换的持续时间至少为30s。
[0008]在进行多层镀膜的时候，第一层镀层的镀膜完成以后，需要切换镀膜功率，将第一层镀膜步骤的镀膜功率切换成第二层镀膜步骤的镀膜功率，在切换的时候，其是一个逐渐变化的过程，切换持续时间至少要30s以上。在切换的过程中，镀膜依然持续进行，则可以使各层镀层之间的界面处更加均匀，分界不那么明显，从而使交界处的层结构更加致密，减少了光学损失，不仅提升了电池片的转化效率，还可以使得制备不同的膜层时，化学气相沉积设备的参数切换逐渐进行，可以使设备的电压电流逐渐变化，改善射频不稳定产生报警现象。
[0009]在一种可能的实现方式中，第一镀膜功率与第二镀膜功率的差值至少为500W，功
率切换的持续时间至少为40s。
[0010]在第一镀膜功率和第二镀膜功率差别较大的情况下，通过功率逐渐切换的方式，更能够使交界面不明显，从而使得到的镀层的各层之间是逐渐变化的过程，以便减少光学损失，提高电池片的转化效率。
[0011]在一种可能的实现方式中，功率逐渐变化的速率为5
‑
20W/s。可以使切换时功率逐渐变化，避免各层交界面较为明显。
[0012]在一种可能的实现方式中，功率逐渐变化的速率为10
‑
15W/s。
[0013]在一种可能的实现方式中，多层镀膜步骤包括：以第一镀膜功率为功率值进行第一层镀膜步骤的镀膜时间至少为100s，然后将第一镀膜功率逐渐切换成第二镀膜功率，以使功率切换的持续时间至少为30s，然后以第二镀膜功率为功率值进行第二层镀膜步骤的镀膜时间至少为100s。
[0014]镀层镀膜时的时间较长，功率切换的持续时间相对稍短，形成的镀层厚度要高于界面处的厚度，从而使各镀层能够满足增强不同波长光的吸收的目的，以提高电池片的转化效率；同时，镀膜效率相对较高。
[0015]在一种可能的实现方式中，多层镀膜步骤还包括在第二层镀膜步骤之后进行的以第三镀膜功率为功率值进行的第三层镀膜步骤。将第二镀膜功率逐渐切换成第三镀膜功率时，功率逐渐变化，以使功率切换的持续时间至少为30s。且以第三镀膜功率为功率值进行第三层镀膜步骤的镀膜时间至少为200s。
[0016]可以根据PERC电池的制备情况，形成多层镀层，并且在多层镀层形成的时候，均通过逐渐变化镀膜功率的方式形成各层镀层的交界处。
[0017]在一种可能的实现方式中，正面镀膜中，第一层镀膜的镀层为5
‑
10nm；第一层镀膜步骤形成的第一镀层为5
‑
10nm，第一镀层与第二镀层交界处为2
‑
5nm，第二层镀膜步骤形成的第二镀层为10
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20nm，第二镀层与第三镀层交界处为2
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5nm，第三层镀膜步骤形成的第三镀层为30
‑
40nm，正面镀膜的镀层总厚度为60
‑
80nm。
[0018]在一种可能的实现方式中，背面镀膜中，第一层镀膜步骤形成的第一镀层为5
‑
30nm，第一镀层与第二镀层交界处为5
‑
10nm，第二层镀膜步骤形成的第二镀层为15
‑
40nm，第二镀层与第三镀层交界处为5
‑
10nm，第三层镀膜步骤形成的第三镀层为60
‑
100nm，背面镀膜的镀层总厚度为90
‑
200nm。
[0019]在一种可能的实现方式中，正面镀膜的镀层为氮化硅层。
[0020]在一种可能的实现方式中，背面镀膜的镀层依次为二氧化硅层、氮氧化硅层和氮化硅层。
[0021]第二方面，提供了一种PERC电池，由上述PERC电池的制备方法制备得到。
[0022]该方法制备得到的PERC电池的各层镀层之间的界面处更加均匀，分界不那么明显，从而使交界处的层结构更加致密，减少了光学损失，不仅提升了电池片的转化效率，还可以使得制备不同的膜层时，化学气相沉积设备的参数切换逐渐进行，可以使设备的电压电流逐渐变化，避免射频不稳定产生报警现象。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附
图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0024]图1为本申请实施例提供的PERC电池的工艺流程图；
[0025]图2为实施例1提供的正面镀膜步骤时，等离子增强化学气相沉积设备的电压变化曲线；
[0026]图3为实施例1提供的正面镀膜步骤时，等离子增强化学气相沉积设备的电流变化曲线；
[0027]图4为对比例1提供的正面镀膜步骤时，等离子增强化学气相沉积设备的电压变化曲线；
[0028]图5为对比例1提供的正面镀膜步骤时，等离子增强化学气相沉积设备的电流变化曲线。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PERC电池的制备方法，包括制绒、扩散、刻蚀、背面抛光、背面镀膜及正面镀膜，其特征在于，所述背面镀膜或/和所述正面镀膜的工艺均包括通过化学气相沉积的方式进行多层镀膜步骤；其中，所述多层镀膜步骤包括：先以第一镀膜功率为功率值进行第一层镀膜步骤；然后以第二镀膜功率为功率值进行第二层镀膜步骤；进行所述多层镀膜步骤中，当将所述第一镀膜功率切换成所述第二镀膜功率的时候，功率逐渐变化，以使功率切换的持续时间至少为30s。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一镀膜功率与所述第二镀膜功率的差值至少为500W，功率切换的持续时间至少为40s。3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述功率逐渐变化的速率为5
‑
20W/s。4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述功率逐渐变化的速率为10
‑
15W/s。5.根据权利要求1
‑
4任一项所述的制备方法，其特征在于，所述多层镀膜步骤包括：以所述第一镀膜功率为功率值进行所述第一层镀膜步骤的镀膜时间至少为100s，然后将所述第一镀膜功率逐渐切换成所述第二镀膜功率，以使功率切换的持续时间至少为30s，然后以所述第二镀膜功率为功率值进行第二层镀膜步骤的镀膜时间至少为100s。6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述多层镀膜步骤还包括在所述第二层镀膜步骤之后进行的以第三镀膜功率为功率值进行的第三层镀膜步骤；将所述第二镀膜功率逐渐切换成所述第三镀膜功率时，功率逐渐变化，以使功率切换的持续时...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴睿哲，郑清吉，王玉浩，高柳，眭山，芮亚豪，
申请(专利权)人：通威太阳能成都有限公司，
类型：发明
国别省市：