一种可镀多种膜的管式PECVD石墨舟镀膜工艺制造技术

本发明专利技术提供一种可镀多种膜的管式PECVD石墨舟镀膜工艺，采用可镀多种膜的管式PECVD石墨舟结构，工艺流程如下：S1：机械手抓取硅片插入所述镂空区域的勾点上，使所述硅片位于所述镂空区域中，所述硅片的正面和背面分别位于两个所述镀膜通道中；S2：将所述镉板插入所述隔板安装槽内，对所述镀膜通道进行密封；S3：根据镀膜设计要求，在所述硅片两侧的镀膜通道中分别通入镀膜气体或惰性气体，并将所述电极与电源连通，完成镀膜。本发明专利技术单个设备上可以镀多种膜，节省了倒片时间，同时减少倒片过程的划伤，提升了良率。同时避免镀膜过程暴露在空气中，减少污染。减少污染。减少污染。

【技术实现步骤摘要】
一种可镀多种膜的管式PECVD石墨舟镀膜工艺


[0001]本专利技术涉及光伏电池工装夹具
，具体而言是一种可镀多种膜的管式PECVD石墨舟镀膜工艺。

技术介绍

[0002]提高效率、良率和降低成本一直是光伏行业的努力方向。当前光伏电池主流产品PERC电池效率在23％以上，良率在95％以上，不良品中存在一定比例的划伤等不良，影响了良率和效率。
[0003]光伏电池工艺PECVD镀氮化硅膜能降低光的反射，同时还具有抗氧化和绝缘等性能。此外，PECVD薄膜中富含氢，能起到对硅衬底杂质和缺陷钝化抑制。
[0004]光伏电池工艺PECVD镀膜正背面往往是不同的膜层，起到不同作用。如氧化铝膜层能吸附高密度负电荷，具有场钝化效应；氮氧化硅可以调节折射率等。常规的PECVD一次只能镀一种膜层，电池工艺镀多种膜往往需要倒片，这样硅片出现擦伤划痕的概率大幅增加，同时搬运时间的增加也浪费了产能。

技术实现思路

[0005]根据上述技术问题，而提供一种可镀多种膜的管式PECVD石墨舟镀膜工艺。
[0006]本专利技术采用的技术手段如下：
[0007]一种可镀多种膜的管式PECVD石墨舟镀膜工艺，采用可镀多种膜的管式PECVD石墨舟结构，所述可镀多种膜的管式PECVD石墨舟结构包括多个依次叠放的舟片，多个所述舟片的叠放方向沿所述舟片的厚度方向；所述舟片沿其长度方向上设有多个镂空区域，所述镂空区域用于安装硅片，且所述镂空区域周围设有至少一个卡住所述硅片的勾点；所述镂空区域安装硅片后，相临两个舟片之间形成独立的且密闭的镀膜通道，所述镀膜通道的延伸方向平行于所述舟片的长度方向，所述舟片在其长度方向的两端分别加工有与所述镀膜通道连通的进气孔和出气孔；所述镀膜通道内通入镀膜气体或惰性气体；在所述舟片的长度方向的两侧，相临两个舟片之间的缝隙处安装有隔板，所述隔板通过加工在两个所述舟片之间的缝隙处的隔板安装槽与两个所述舟片连接，并密封所述缝隙；相临两个所述隔板之间具有多个舟片陶瓷绝缘块；所述舟片在其长度方向的一端安装有电极，相临两个舟片的电极分别位于舟片的两端；
[0008]工艺流程如下：
[0009]S1：机械手抓取硅片插入所述镂空区域的勾点上，使所述硅片位于所述镂空区域中，一个所述镂空区域内插入一个所述硅片或两个所述硅片，当插入一个所述硅片时，所述硅片的正面和背面分别位于两个所述镀膜通道中；当插入两个所述硅片时，两个所述硅片的背面相对设置，且两个所述硅片的正面分别位于两个所述镀膜通道中；
[0010]S2：将所述镉板插入所述隔板安装槽内，对所述镀膜通道进行密封；
[0011]S3：根据镀膜设计要求，在所述硅片两侧的镀膜通道中分别通入镀膜气体或惰性
气体，并将所述电极与电源连通，完成镀膜。
[0012]所述舟片包括两个长度立板、两个宽度立板和多个中间平板，
[0013]两个长度立板和两个宽度立板围成矩形，中间平板的两端分别与两个所述长度立板固定连接，相临两个中间平板之间的空隙及所述中间平板与所述宽度立板之间的空隙形成所述镂空区域，所述进气孔和所述出气孔分别设置在两个所述宽度立板上。
[0014]所述隔板上设有与所述陶瓷绝缘块相匹配的安装孔。
[0015]镂空区域可采用耐高温500℃以上软密封圈与硅片接触，勾点分布于镂空区域的不同方位，保证硅片不掉落以及单通道的气密程度。
[0016]较现有技术相比，本专利技术具有以下优点：
[0017]1、现有PECVD工作时，舟片间微波发生器产生等离子气氛中在电场条件下沉积单面膜。一般PERC电池工艺背面镀三氧化二铝和氮化硅，正面镀氮氧化硅。镀三氧化二铝使用1台设备，正背面镀氮化硅膜、氮氧化硅膜使用2台生产设备，或者一台设备2套工艺，镀完一层膜后再镀另一层，需要倒片且暴露在空气中。
[0018]本专利技术单通道镀膜工艺可用单台设备完成以上双面镀膜。机械手将硅片放在单层舟片镂空区域，硅片位于两个独立气体通道中，不同通道进气孔通可通不同镀膜特气，实现单通道镀膜，镀完一层后，氮气吹扫，继续通另一层特气，继续镀膜，直到完成镀膜流程。
[0019]这样实现节省了倒片时间，同时减少倒片过程的划伤，提升了良率。同时避免镀膜过程暴露在空气中，减少污染。
[0020]2、本专利能减少硅片损伤及污染，能提高电池钝化膜的质量，有助于提升效率。
[0021]基于上述理由本专利技术可在光伏电池镀膜等领域广泛推广。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做以简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本专利技术具体实施方式中一种可镀多种膜的管式PECVD石墨舟结构结构工艺中可镀多种膜的管式PECVD石墨舟结构结构示意图。
[0024]图2为本专利技术具体实施方式中一种可镀多种膜的管式PECVD石墨舟结构结构工艺中可镀多种膜的管式PECVD石墨舟结构侧视图。
[0025]图3为本专利技术具体实施方式中两个舟片结构示意图。
[0026]图4为本专利技术具体实施方式中PERC电池背面镀三氧化二铝镀膜通道设置图。
[0027]图5为本专利技术具体实施方式中PERC电池背面镀氮化硅镀膜通道设置图。
[0028]图6为本专利技术具体实施方式中PERC电池正面镀氮氧化硅镀膜通道设置图。
具体实施方式
[0029]需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本专利技术。
[0030]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例
中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本专利技术及其应用或使用的任何限制。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0031]需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本专利技术的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
[0032]除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本专利技术的范围。同时，应当清楚，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员己知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可镀多种膜的管式PECVD石墨舟镀膜工艺，其特征在于，采用可镀多种膜的管式PECVD石墨舟结构，所述可镀多种膜的管式PECVD石墨舟结构包括多个依次叠放的舟片，多个所述舟片的叠放方向沿所述舟片的厚度方向；所述舟片沿其长度方向上设有多个镂空区域，所述镂空区域用于安装硅片，且所述镂空区域周围设有至少一个卡住所述硅片的勾点；所述镂空区域安装硅片后，相临两个舟片之间形成独立的且密闭的镀膜通道，所述镀膜通道的延伸方向平行于所述舟片的长度方向，所述舟片在其长度方向的两端分别加工有与所述镀膜通道连通的进气孔和出气孔；所述镀膜通道内通入镀膜气体或惰性气体；在所述舟片的长度方向的两侧，相临两个舟片之间的缝隙处安装有隔板，所述隔板通过加工在两个所述舟片之间的缝隙处的隔板安装槽与两个所述舟片连接，并密封所述缝隙；相临两个所述隔板之间具有多个舟片陶瓷绝缘块；所述舟片在其长度方向的一端安装有电极，相临两个舟片的电极分别位于舟片的两端；工艺流程如下：S1：机械手抓取硅片插入所述镂空区域的勾点上，使所述硅片位于...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎志欣，胡动力，
申请(专利权)人：大连连城数控机器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：