真空干燥设备及方法技术

本发明专利技术涉及一种真空干燥设备及方法，所述真空干燥设备具有干燥腔，所述干燥腔内具有供待干燥样品放置的放样台，所述干燥腔内设置有气流调节隔层，所述气流调节隔层位于所述放样台的上方；所述气流调节隔层包括第一隔层和/或第二隔层；所述第一隔层具有至少一开孔区，所述开孔区设有多个通气孔，从所述开孔区的边缘至所述开孔区的中部，所述第一隔层的孔隙率逐渐增大；所述第二隔层为孔隙率均匀的滤膜，所述第二隔层具有至少一个透气区，从所述透气区的边缘至所述透气区的中部，所述第二隔层的厚度逐渐减小。本发明专利技术的真空干燥设备及方法能够减小咖啡环效应，改善成膜均匀性。改善成膜均匀性。改善成膜均匀性。

【技术实现步骤摘要】
真空干燥设备及方法


[0001]本专利技术涉及显示面板喷墨打印真空干燥领域，特别是涉及一种真空干燥设备及方法。

技术介绍

[0002]显示技术从早期的阴极射线管(CRT)显示，到20世纪80年底中期的液晶显示(LCD)、等离子体平板显示(PDP)，再到目前主流的OLED/QLED显示，完成了一次又一次质的飞跃。
[0003]有机电致发光二极管(OLED)由于具有自发光、结构简单、超轻薄、相应速度快、宽视角、低功耗、可柔性显示等十分优异的性能，已成为显示
中的主流技术。量子点发光二极管(QLED)具有出射光颜色饱和，波长可调的优点，而且光致、电致发光量子产率高，近年来成了OLED的有力竞争者。
[0004]目前，在OLED/QLED制造中，厂家普遍采用成熟的真空蒸镀技术来制备各功能层，但采用真空蒸镀技术，材料利用率过低，且当制备大尺寸显示面板时需使用大尺寸的高精度金属掩模版，而大尺寸的高精度金属掩模版很容易下垂或者变形，这导致产品良率难以提高，成本居高不下。
[0005]随着纳米材料技术与设备技术的发展，采用喷墨印刷在刚性或柔性衬底上实现低成本、大面积印刷制备OLED/QLED成为最被青睐的技术。在传统的喷墨印刷技术中，当在喷墨打印腔室完成打印一个功能层后，机械手把它传递到真空干燥腔室进行真空干燥成膜，成膜后再烘烤处理，随后进入下一个功能层的制备。如图1所示，在真空干燥成膜过程中，像素中的墨水由于咖啡环效应表现为干燥成膜后像素横截面两端的边缘高度远高于中心部分。这是由于墨水打印在像素坑内后，三相接触线被固定，在墨水挥发时由于三相接触线边缘挥发速率大于液体表面中部挥发速率，导致墨水由内部向外部流动补充的同时，在不同挥发速率与浓度驱动下，液体表面中部也向三相接触线处补充，从而带动溶质在边缘沉积，形成咖啡环现象。
[0006]各功能层成膜不均匀会严重影响器件发光面积、发光效率及器件寿命等性能，目前常用的解决方法有冷凝法和多层孔洞网格法。
[0007]如图2所示，冷凝法是在打印基板10上方放置一块冷凝板20，设置温度T20＜T10、气压P20＜P10，在T10和T20以及P10和P20压力差的影响下，基板液体表面的液态蒸汽在垂直方向上会加速向冷凝板运动。若该垂直运动速度较大，则相邻液滴间液态蒸汽的相互影响会被削弱，从而减低基板中部和边缘处的挥发速度差异并实现均一成膜的目的，对于基板中部，其空气中溶液容量较多也更容易在冷凝板上凝结，则理论上中部的垂直气压差要大于边缘部分，该气压差可以加速中部液体的挥发速度。但这种方法并于不适用于所有的打印墨水，当墨水溶剂体系中含有不同表面张力不同沸点的混合溶剂体系时，该方法反而会加剧咖啡环效应，且冷凝液不好排除。
[0008]如图3所示，多层孔洞网格法是在真空干燥腔体抽气口处且接近于基板上方安装
多层网孔结构层30，在抽取真空时，气流通过多层网孔结构层30分散，最终在基板40上方形成接近垂直且均匀稳定的气流流动，从而达到改善像素内墨水50成膜效果的作用。然而这种方法需要多层网孔结构层30，增加制造成本。

技术实现思路

[0009]基于此，有必要提供一种真空干燥设备及方法，以提高显示面板喷墨打印干燥成膜的均匀性。
[0010]本专利技术提供一种真空干燥设备，真空干燥设备具有干燥腔，所述干燥腔内具有供待干燥样品放置的放样台，所述干燥腔内设置有气流调节隔层，所述气流调节隔层位于所述放样台的上方；
[0011]所述气流调节隔层包括第一隔层和/或第二隔层；
[0012]所述第一隔层具有至少一开孔区，所述开孔区设有多个通气孔，从所述开孔区的边缘至所述开孔区的中部，所述第一隔层的孔隙率逐渐增大；
[0013]所述第二隔层为孔隙率均匀的滤膜，所述第二隔层具有至少一个透气区，从所述透气区的边缘至所述透气区的中部，所述第二隔层的厚度逐渐减小。
[0014]本专利技术还提供一种真空干燥方法，包括以下步骤：
[0015]在真空干燥设备的干燥腔内的放样台放置待干燥样品；
[0016]通过干燥腔上的真空抽气口往所述干燥腔外进行抽气，使所述待干燥样品的溶剂蒸汽透过所述气流调节隔层抽出所述干燥腔；
[0017]所述气流调节隔层包括第一隔层和/或第二隔层；
[0018]所述第一隔层具有至少一开孔区，所述开孔区设有多个通气孔，从所述开孔区的边缘至所述开孔区的中部，所述第一隔层的孔隙率逐渐增大；
[0019]所述第二隔层为孔隙率均匀的滤膜，所述第二隔层具有至少一个透气区，从所述透气区的边缘至所述透气区的中部，所述第二隔层的厚度逐渐减小。
[0020]本专利技术一方案的真空干燥设备，具有干燥腔，所述干燥腔内具有供待干燥样品放置的放样台，所述干燥腔内设置有第一隔层，所述第一隔层位于所述放样台的上方，以将所述干燥腔分隔为抽气腔和放样腔；
[0021]所述第一隔层具有至少一开孔区，所述开孔区设有多个通气孔，从所述开孔区的边缘至所述开孔区的中部，所述第一隔层的孔隙率逐渐增大；所述抽气腔设有真空抽气口以用于透过所述第一隔层从所述放样腔向所述抽气腔进行抽气。
[0022]在其中一个实施例中，所述第一隔层具有多个所述开孔区，多个所述开孔区呈阵列分布。
[0023]在其中一个实施例中，所述开孔区的分布密度为1个/cm2～150个/cm2。
[0024]一种真空干燥方法，使用上述实施例所述的真空干燥设备，所述真空干燥方法包括以下步骤：
[0025]在所述放样台放置待干燥样品；
[0026]通过所述真空抽气口往所述干燥腔外进行抽气，以使所述待干燥样品的溶剂蒸汽透过所述第一隔层从所述放样腔被抽至所述抽气腔。
[0027]本实施例的真空干燥设备及利用该真空干燥设备进行真空干燥的方法，通过在放
样台上方设置第一隔层，第一隔层具有至少一开孔区，开孔区设有多个通气孔，从开孔区的边缘至开孔区的中部，第一隔层的孔隙率逐渐增大，进行真空抽气时，气流速度从开孔区的边缘至开孔区的中部逐渐降低，墨水溶剂的挥发速率呈从从开孔区的边缘至开孔区的中部的逐渐增大的趋势，该趋势能够抵消原本挥发速率从基板边缘到基板中间的逐渐减小的趋势，从而使挥发速率平衡，减小咖啡环效应，改善成膜均匀性。
[0028]本专利技术另一方案真空干燥设备，具有干燥腔，所述干燥腔内具有供待干燥样品放置的放样台，所述干燥腔内设置有第二隔层，所述第二隔层位于所述放样台的上方，以将所述干燥腔分隔为抽气腔和放样腔；
[0029]所述第二隔层为孔隙率均匀的滤膜，所述第二隔层具有至少一个透气区，从所述透气区的边缘至所述透气区的中部，所述第二隔层的厚度逐渐减小；所述抽气腔设有真空抽气口以用于透过所述第二隔层从所述放样腔向所述抽气腔进行抽气。
[0030]在其中一个实施例中，所述第二隔层为孔隙率均匀的滤膜，所述真空干燥设备还包括安装板，所述安装板的侧边连接于所述干燥腔的内壁，所述第二隔层设置在所述安装板上，所述安装板具有与所述透气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空干燥设备，其特征在于，具有干燥腔，所述干燥腔内具有供待干燥样品放置的放样台，所述干燥腔内设置有气流调节隔层，所述气流调节隔层位于所述放样台的上方；所述气流调节隔层包括第一隔层和/或第二隔层；所述第一隔层具有至少一开孔区，所述开孔区设有多个通气孔，从所述开孔区的边缘至所述开孔区的中部，所述第一隔层的孔隙率逐渐增大；所述第二隔层为孔隙率均匀的滤膜，所述第二隔层具有至少一个透气区，从所述透气区的边缘至所述透气区的中部，所述第二隔层的厚度逐渐减小。2.如权利要求1所述的真空干燥设备，其特征在于，所述第一隔层具有多个所述开孔区，多个所述开孔区呈阵列分布。3.如权利要求2所述的真空干燥设备，其特征在于，所述开孔区的分布密度为1个/cm2～150个/cm2。4.如权利要求1所述的真空干燥设备，其特征在于，所述真空干燥设备还包括安装板，所述安装板的侧边连接于所述干燥腔的内壁，所述第一隔层设置在所述安装板上，所述安装板具有与所述透气区数量相同的透气孔，所述透气孔与所述透气区在所述放样台上的正投影重叠。5.如权利要求1所述的真空干燥设备，其特征在于，所述第二隔层具有多个所述透气区，多个所述透气区呈阵列分布。6.如权利要求5所述的真空干燥设备，其特征在于，所述透气区的分布密度...

【专利技术属性】
技术研发人员：眭俊，
申请(专利权)人：广东聚华印刷显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：