尾气洗涤塔及洗涤方法、半导体刻蚀设备技术

本发明专利技术提供一种尾气洗涤塔及洗涤方法、半导体刻蚀设备。洗涤塔包括塔体、进气管路、离心泵及补水管路；塔体的底部设置有反应槽；进气管路包括进气端及出气端，进气端与设备的尾气排放管路相连接，出气端与反应槽相连接；离心泵与反应槽及进气管路相连通；补水管路一端与供水源相连接，另一端与进气管路的进气端相连接，用于向进气管路内补水，以使尾气和水混合。本发明专利技术的尾气洗涤塔通过优化的结构设计，可以提高特定制程时洗涤塔的处理效率，有助于保护环境、避免真空回灌风险、延长排放管路和洗涤塔的使用寿命。采用本发明专利技术的尾气洗涤塔、洗涤方法，以及半导体刻蚀设备，有助于降低生产成本和提高设备产出率。本和提高设备产出率。本和提高设备产出率。

【技术实现步骤摘要】
尾气洗涤塔及洗涤方法、半导体刻蚀设备


[0001]本专利技术涉及半导体芯片制造领域，特别是涉及一种用于半导体金属刻蚀工艺尾气处理的尾气洗涤塔及洗涤方法，以及一种半导体刻蚀设备。

技术介绍

[0002]文氏气泡洗涤塔是半导体芯片制造厂常用的尾气处理装置，它的最大优点是可以只用自来水，而不需要添加任何化学药剂便可以达到处理各种酸碱等水溶性气体及粉尘的明显效果，比如可以处理金属刻蚀后的工艺尾气。
[0003]芯片制造过程中大量使用含有金属材质的原料以制造插塞等互连结构，这其中最常用的有钨。通常的钨制程工艺中需大量使用六氟化硫(SF6)和氧气(O2)作为制程气体，尾气排放时这两种制程气体的残余物容易反应生成六氟化钨(WF6)和二氧化硫(SO2)的颗粒物而附着在排放管路和洗涤塔的处理槽的表面，严重影响尾气排放效率和洗涤塔的处理效率。六氟化钨如果处理不干净，可能生成氢氟酸等氟化物，造成管路和设备的腐蚀，对环境造成危害，严重时还会造成洗涤塔泵负载过重，存在跳电风险，甚至还可能导致尾气倒灌至刻蚀设备中，造成巨大的经济损失。为确保设备安全，现行做法通常是依靠维修人员定期手动清洗洗涤塔表面的硫化物和氟化物，将洗涤塔槽内的结晶物手动清理出去，不仅效率低下，给维修人员的健康带来威胁，同时手动清洗过程中设备需停机，导致设备产出率的下降。

技术实现思路

[0004]鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种尾气洗涤塔及洗涤方法、半导体刻蚀设备，用于解决现有技术中因尾气排放物的反应生成物附着在排气管路和洗涤塔的处理槽表面，严重影响尾气排放效率和洗涤塔的处理效率，还容易造成管路和设备的腐蚀，甚至会造成洗涤塔负载过重，引发尾气倒灌风险，而人工手动清洁不仅效率低下，而且清洗过程可能危害工作人员的健康，且清洁过程中设备需停机处理，导致设备产出率下降等问题。
[0005]为实现上述目的及其它相关目的，本专利技术提供一种尾气洗涤塔，包括塔体、进气管路、离心泵及补水管路；所述塔体的底部设置有反应槽，用于对尾气进行处理；所述进气管路包括进气端及出气端，所述进气端与设备的尾气排放管路相连接，所述出气端与所述反应槽相连接；所述离心泵与所述反应槽及所述进气管路相连通，用于将尾气经所述进气管路输送至所述反应槽中；所述补水管路一端与供水源相连接，另一端与所述进气管路的进气端相连接，用于向所述进气管路内补水，以使尾气和水混合。
[0006]可选地，所述补水管路上设置有控制阀，用于根据需要控制供水量。
[0007]可选地，所述反应槽内设置有水气混合管路，所述水气混合管路的进气端与所述进气管路的出气端相连接，所述水气混合管路上设置有水气喷射口；所述离心泵的波轮位于所述反应槽内，以将水汽吸入至所述水气混合管路，之后经所述水气喷射口喷射至所述
反应槽内。
[0008]可选地，所述反应槽的上部设置有自溢口，下部设置有排水管路及位于所述排水管路上的手动阀。
[0009]可选地，所述塔体内还设置有多个喷嘴，位于所述塔体的上部，所述多个喷嘴与冲洗水源相连接，用于向所述塔体内洒水。
[0010]可选地，所述塔体内还设置有除沫器，位于所述塔体的上部，用于对经所述尾气洗涤塔排放的气体进行除泡处理。
[0011]可选地，所述塔体内还设置有捕雾器，位于所述尾气洗涤塔的排气口处。
[0012]可选地，所述尾气包括六氟化硫和氧气。
[0013]本专利技术还提供一种半导体刻蚀设备，所述半导体刻蚀设备包括金属刻蚀腔室及如上述任一方案中所述的尾气洗涤塔，所述金属刻蚀腔室的尾气排放管路与所述尾气洗涤塔的进气管路相连通。
[0014]本专利技术还提供一种尾气洗涤方法，所述尾气洗涤方法依上述任一方案中所述的尾气洗涤塔进行。
[0015]如上所述，本专利技术的尾气洗涤塔通过优化的结构设计，可以提高特定制程时洗涤塔的处理效率，有助于保护环境；且可以有效避免因洗涤塔泵负载过重导致的真空回灌风险；此外还可以延长排放管路和洗涤塔的使用寿命，避免人工清洁作业过程中对工作人员的健康造成的威胁。采用本专利技术的尾气洗涤塔、洗涤方法，以及半导体刻蚀设备，有助于降低生产成本和提高设备产出率。
附图说明
[0016]图1显示为本专利技术实施例一的尾气洗涤塔的结构示意图。
[0017]图2显示为本专利技术的尾气洗涤塔的补水管路和进气管路的一例示性连接结构示意图。
[0018]图3显示为本专利技术实施例二的半导体刻蚀设备的结构示意图。
[0019]组件标号说明
[0020]11-反应槽；12-进气管路；13-尾气排放管路；14-离心泵；15-补水管路；16-供水源；17-控制阀；18-水气混合管路；19-金属刻蚀腔室
具体实施方式
[0021]以下通过特定的具体实例说明本专利技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本专利技术的其它优点与功效。本专利技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本专利技术的精神下进行各种修饰或改变。
[0022]请参阅图1至图3。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本专利技术的基本构想，遂图示中仅显示与本专利技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的形态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局形态也可能更为复杂。且为使图示尽量简洁，本说明书中对同一图示中的相同结构尽量不重复标记。
[0023]实施例一
[0024]如图1所示，本专利技术提供一种尾气洗涤塔，包括塔体、进气管路12、离心泵14及补水管路15；所述塔体的底部设置有反应槽11，用于对尾气进行处理；所述进气管路12包括进气端及出气端，所述进气端与设备的尾气排放管路13相连接，所述出气端与所述反应槽11相连接；所述离心泵14与所述反应槽11及所述进气管路12相连通，用于将尾气经所述进气管路12输送至所述反应槽11中；所述补水管路15一端与供水源16相连接，另一端与所述进气管路12的进气端相连接，用于向所述进气管路12内补水，以使尾气和水混合。本专利技术的尾气洗涤塔通过优化的结构设计，可以提高特定制程时洗涤塔的处理效率，有助于保护环境；且可以有效避免因洗涤塔泵负载过重导致的真空回灌风险；此外还可以延长排放管路和洗涤塔的使用寿命，避免人工清洁作业过程中对工作人员的健康造成的威胁。采用本专利技术的尾气洗涤塔，有助于降低生产成本和提高设备产出率。
[0025]作为示例，所述塔体的材料优选不锈钢等金属材质，且为避免腐蚀，所述塔体的内表面可形成有防腐蚀涂层；所述塔体的顶部可设置有排气口，经净化处理后的气体经该排气口排放。
[0026]作为示例，所述补水管路15上设置有控制阀17，用于根据需要，比如根据待处理的尾气排气量、尾气组分等控制供水量，所述控制阀17可以为流量阀，以精确控制供水量。且在所述控制阀17和所述进气管路12之间的所述补水管路15上可以进一步设置流量计，以进一步精确控制供水量。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种尾气洗涤塔，其特征在于，包括：塔体，所述塔体的底部设置有反应槽，用于对尾气进行处理；进气管路，所述进气管路包括进气端及出气端，所述进气端与设备的尾气排放管路相连接，所述出气端与所述反应槽相连接；离心泵，与所述反应槽及所述进气管路相连通，用于将尾气经所述进气管路输送至所述反应槽中；补水管路，所述补水管路一端与供水源相连接，另一端与所述进气管路的进气端相连接，用于向所述进气管路内补水，以使尾气和水混合。2.根据权利要求1所述的尾气洗涤塔，其特征在于：所述补水管路上设置有控制阀，用于根据需要控制供水量。3.根据权利要求1所述的尾气洗涤塔，其特征在于：所述反应槽内设置有水气混合管路，所述水气混合管路的进气端与所述进气管路的出气端相连接，所述水气混合管路上设置有水气喷射口；所述离心泵的波轮位于所述反应槽内，以将水汽吸入至所述水气混合管路，之后经所述水气喷射口喷射至所述反应槽内。4.根据权利要求1所述的尾气洗涤塔，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹兴龙，
申请(专利权)人：上海新微技术研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：