垂直升降运动台制造技术

技术编号:30617672 阅读:62 留言:0更新日期:2021-11-03 23:37
本实用新型专利技术提供了一种垂直升降运动台,包括:底座,其水平设置,底座上设置有轴承座;导轨安装座,其与底座连接,导轨安装座上平行设置有三条导轨,导轨与所述底座垂直,每条导轨上均设置有两个滑块;滚珠丝杆机构,其包括滚珠丝杆和丝杆母,丝杆母套设在滚珠丝杆上,滚珠丝杆的一端与轴承座连接;上安装板,其为L形,包括水平设置的第一连接板和垂直设置的第二连接板;竖直安装板,其上端面与第一连接板连接,竖直安装板上设置有凸台,凸台与所述丝杆母连接;光栅尺,其包括光栅尺条和读数头,光栅尺条设置在竖直安装板的一侧上。本实用新型专利技术稳定性高,精度高,有效提升升降运动台到达准确的位置。确的位置。确的位置。

【技术实现步骤摘要】
垂直升降运动台


[0001]本技术属于测试测量领域,特别涉及一种垂直升降运动台

技术介绍

[0002]在半导体加工和测试测量行业中垂直升降是其常用到的运动。目前高精度升降台多采用交叉滚柱导轨做导向,直线电机或力矩电机驱动的结构,其结构复杂,工件加工精度要求高,组装集成难度大,无法实现升降装置的精确可控。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种稳定性高,精度高,有效提升升降运动台到达准确的位置,使得提升过程既安全稳定,适用性广泛。
[0004]为了实现上述目的,本技术提供了一种垂直升降运动台,包括:
[0005]底座,其水平设置,所述底座上设置有轴承座;
[0006]导轨安装座,其与所述底座连接,所述导轨安装座上平行设置有三条导轨,所述导轨与所述底座垂直,所述每条导轨上均设置有两个滑块;
[0007]滚珠丝杆机构,其包括滚珠丝杆和丝杆母,所述丝杆母套设在所述滚珠丝杆上,所述滚珠丝杆的一端与所述轴承座连接;
[0008]上安装板,其为L形,包括水平设置的第一连接板和垂直设置的第二连接板,所述第二连接板与所述导轨上的滑块均连接;
[0009]竖直安装板,其上端面与所述第一连接板连接,所述竖直安装板上设置有凸台,所述凸台与所述丝杆母连接,所述竖直安装板在所述滚珠丝杆机构的驱动下上下运动,从而带动所述上安装板上下运动。
[0010]优选方案是:所述底座的一侧设置有限位板,所述限位板上是开设有长槽孔,所述竖直安装板一侧面上设置有限位凸台,所述限位凸台在所述长槽孔内上下运动。
[0011]优选方案是:还包括光栅尺,所述光栅尺包括光栅尺条和读数头,所述光栅尺条设置在所述竖直安装板的一侧上。
[0012]优选方案是:所述竖直安装板的一侧固定安装有光栅安装条,所述光栅安装条上设置有光栅尺条,读数头通过转接板与所述底座固定。
[0013]优选方案是:伺服电机驱动所述滚珠丝杆旋转。
[0014]优选方案是:所述竖直安装板的一侧面的中心部设置有凸台,所述凸台与所述丝杆母连接。
[0015]优选方案是:所述第一连接板和第二连接板的两侧分别设置有加强筋,所述加强筋一端与所述第一连接板连接,另一端与所述第二连接板连接。
[0016]优选方案是:所述转接板保证所述光栅尺与所述读数头之间的相对位置。
[0017]优选方案是:所述转接板上设置有用于连接所述读数头的连接孔,所述连接孔与所述读数头的安装孔通过螺栓连接。
[0018]本技术的有益效果:
[0019]1、本技术设置有导轨安装座、滚珠丝杆机构、上安装板和竖直安装板,通过滚珠丝杆机构驱动竖直安装板上下运动,从而驱动上安装板沿着导轨上下移动,通过精准的控制伺服电机从而实现了升降装置的精确可控,减少了操作人员的工作量,从而提高了生产和搬运效率;
[0020]2、本技术实用滚珠丝杆结构实现升降,使得升降运动台结构简单,便于维护,且整体的运行速度快,运行更加平稳;
[0021]3、本技术设置有三条导轨,每条导轨上设置有两个滑块,可以平均支撑大型工件的载荷,从而确保升降运动台工作时的稳定性和精确性。
[0022]4、本技术通过设置光栅尺条和读数头,实现了闭环控制,有效提升升降运动台到达准确的位置;
附图说明
[0023]图1为本技术的左视图;
[0024]图2为本技术的右视图;
[0025]图3为本技术的第一立体图;
[0026]图4为本技术的第二立体图
[0027]图5为本技术的仰视图;
[0028]图6为本技术的正视图;
[0029]图7为本技术的沿图2中J

J向截取的剖面图;
[0030]图8为本技术的俯视图;
[0031]图9为本技术的沿图2中F

F向截取的剖面图。
具体实施方式
[0032]下面结合附图对本技术做进一步的详细说明,以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
[0033]应当理解,本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。
[0034]下面详细描述本技术的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本技术,而不能理解为对本技术的限制。
[0035]在本技术的描述中,需要理解的是,术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中,“多个”的含义是两
个或两个以上,除非另有明确具体的限定。在本技术中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术用户而言,可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0036]如图1~9所示,本技术提供了一种垂直升降运动台,包括:
[0037]底座1,其水平设置,所述底座1上设置有轴承座7;
[0038]导轨安装座2,其与所述底座1连接,所述导轨安装座2上平行设置有三条导轨4,所述导轨4与所述底座1垂直,所述每条导轨4上均设置有两个滑块3;
[0039]滚珠丝杆机构8,其包括滚珠丝杆和丝杆母,所述丝杆母套设在所述滚珠丝杆上,所述滚珠丝杆的一端与所述轴承座7连接;
[0040]上安装板5,其为L形,包括水平设置的第一连接板和垂直设置的第二连接板,所述第二连接板与所述导轨4上的滑块3均连接;
[0041]竖直安装板9,其上端面与所述第一连接板连接,所述竖直安装板9上设置有凸台,所述凸台与所述丝杆母连接,所述竖直安装板9在所述滚珠丝杆机构8的驱动下上下运动,从而带动所述上安装板5上下运动。
[0042]本技术的另一实施例,所述底座1的一侧设置有限位板11,所述限位板11上是开设有长槽孔,所述竖直安装板9一侧面上设置有限位凸台,所述限位凸台在所述长槽孔内上下运动。
[0043]本实施例中在本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.垂直升降运动台,其特征在于,包括:底座,其水平设置,所述底座上设置有轴承座;导轨安装座,其与所述底座连接,所述导轨安装座上平行设置有三条导轨,所述导轨与所述底座垂直,所述导轨上均设置有两个滑块;滚珠丝杆机构,其包括滚珠丝杆和丝杆母,所述丝杆母套设在所述滚珠丝杆上,所述滚珠丝杆的一端与所述轴承座连接;上安装板,其为L形,包括水平设置的第一连接板和垂直设置的第二连接板,所述第二连接板与所述导轨上的滑块均连接;竖直安装板,其上端面与所述第一连接板连接,所述竖直安装板上设置有凸台,所述凸台与所述丝杆母连接,所述竖直安装板在所述滚珠丝杆机构的驱动下上下运动,从而带动所述上安装板上下运动。2.根据权利要求1所述的垂直升降运动台,其特征在于,所述底座的一侧设置有限位板,所述限位板上是开设有长槽孔,所述竖直安装板一侧面上设置有限位凸台,所述限位凸台在所述长槽孔内上下运动。3.根据权利要求1所述的垂直升降运动台,其特征在于,还包括光栅尺,所述光栅尺包...

【专利技术属性】
技术研发人员:肖国丰陈志强
申请(专利权)人:北京瑞邦精控科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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