侧挂垂向运动气浮直线台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种侧挂垂向运动气浮直线台，包括：基座；滑台，其可移动设置在基座上，基座和滑台间设有间隙，滑台两侧与基座磁性相吸，滑台上设置有进气口，滑台上间隙对应处设置有多个与进气口连通的出气口；一对气缸，其分别设置在滑台的两侧，气缸的活塞杆的活动端与滑台铰接，活塞杆与滑台移动方向相同，气缸的气缸本体外环设有转接内环，转接内环外环设有转接外环，转接外环与转接内环通过第一连接杆转动连接，转接外环外设置有支撑块，支撑块与转接外环通过一对同轴的第二连接杆转动连接，第一连接杆与第二连接杆位于同一平面且垂直，支撑块与基座连接。本实用新型专利技术运行平稳可靠且运行精度高。行平稳可靠且运行精度高。行平稳可靠且运行精度高。

【技术实现步骤摘要】
侧挂垂向运动气浮直线台


[0001]本技术涉及工件检测
，具体涉及一种侧挂垂向运动气浮直线台。

技术介绍

[0002]在通讯领域的光纤耦合、半导体领域的缺陷检测、生物医疗领域的基因测序等
中，对测试和扫描的定位精准度要求越来越高，而目前垂向运动台多采用线性导轨进行导向，由于线性导轨属于接触式导向，其运动过程中由于接触摩擦使得其运动产生较大误差，降低平台的运动精度。在现有的垂向运动台中常采用双气缸用以平衡运动负载的重量，而目前气缸的固定方式中气缸本体都是通过螺纹副与基座进行连接固定，这种方式很容易使两气缸之间因为装配误差而导致相互较力，进而影响平台的运动精度。

技术实现思路

[0003]本技术的一个目的是解决至少上述问题，并提供至少后面将说明的优点。
[0004]本技术还有一个目的是提供一种侧挂垂向运动气浮直线台，其采用多孔材质的气浮块无接触支撑滑台移动，并通过滑台两侧的气缸及其相对应的误差补偿调节机构进行尺寸误差补偿，提高了直线台的运行平稳性和运行精度。
[0005]为了实现根据本技术的这些目的和其他优点，提供了一种侧挂垂向运动气浮直线台，包括：
[0006]基座；
[0007]滑台，其可移动设置在所述基座上，所述基座和所述滑台间设有间隙，所述滑台两侧与所述基座磁性相吸，所述滑台上设置有进气口，所述滑台上所述间隙对应处设置有多个与所述进气口连通的出气口；
[0008]一对气缸，其分别设置在所述滑台的两侧，所述气缸的活塞杆的活动端与所述滑台铰接，所述活塞杆与所述滑台移动方向相同，所述气缸的气缸本体外环设有转接内环，所述转接内环外环设有转接外环，所述转接外环与所述转接内环通过第一连接杆转动连接，所述转接外环外设置有支撑块，所述支撑块与所述转接外环通过一对同轴的第二连接杆转动连接，所述第一连接杆与所述第二连接杆位于同一平面且垂直，所述支撑块与所述基座连接。
[0009]优选的是，所述的侧挂垂向运动气浮直线台中，所述转接内环上设置有第一贯穿孔，所述转接外环上设置有第二贯穿孔和一对第三贯穿孔，所述支撑块上设置有一对第四贯穿孔，所述第一贯穿孔与所述第二贯穿孔内插设所述第一连接杆，相对应的所述第三贯穿孔和所述第四贯穿孔内插设所述第二连接杆。
[0010]优选的是，所述的侧挂垂向运动气浮直线台中，所述第二贯穿孔和所述第四贯穿孔均为阶梯螺纹孔，所述阶梯螺纹孔的大端朝外，所述第一连接杆和所述第二连接杆均为螺钉或销轴，并分别先从所述第二贯穿孔和所述第四贯穿孔穿入。
[0011]优选的是，所述的侧挂垂向运动气浮直线台中，所述滑台上设置有气缸转接件，所
述气缸转接件上连接有活动接头，所述活动接头与所述活塞杆的活动端铰接。
[0012]优选的是，所述的侧挂垂向运动气浮直线台中，所述进气口通过滑台内的气路通道与所述出气口连通，所述滑台上与所述基座相对的一面嵌设有多个气浮块，所述气浮块的进口通过气管与所述出气口连通、出口与所述基座和所述滑台之间的间隙连通。
[0013]优选的是，所述的侧挂垂向运动气浮直线台中，所述基座呈U型凹槽状，所述基座的两侧槽壁设置为气浮导轨，所述滑台设置在所述气浮导轨上，所述基座的凹部设置有电机动子和读数头，所述滑台上与所述基座的凹部对应的位置设置有电机定子和光栅尺。
[0014]优选的是，所述的侧挂垂向运动气浮直线台中，所述滑台包括：
[0015]负载板，其与所述气浮导轨相对的一面嵌设有所述气浮块，所述负载板上设置有所述电机定子和所述光栅尺；
[0016]一对侧安装板，其分别设置在所述负载板两侧，所述气浮导轨位于一对所述侧安装板之间，所述侧安装板与所述气浮导轨相对的一面嵌设有所述气浮块。
[0017]优选的是，所述的侧挂垂向运动气浮直线台中，所述基座的凹部设置有走线槽。
[0018]优选的是，所述的侧挂垂向运动气浮直线台中，所述基座上设置有一对限位挡块，所述滑台位于一对所述限位挡块之间。
[0019]优选的是，所述的侧挂垂向运动气浮直线台中，所述滑台两侧设置有磁体块，所述基座上设置有与所述磁体块移动路径对应的磁性预载板。
[0020]本技术至少包括以下有益效果：本技术运行平稳可靠，安全系数高，运行精度高；滑台和基座间的间隙间通气后形成气浮面，使滑台和基座相对移动时不接触，不产生接触摩擦，进而提高滑台运动精度和平稳度；当滑台竖直设置移动时，气缸可以为滑台提供支撑，有效防止滑台突然下坠；活塞杆活动端和滑台铰接，气缸本体通过转接内环、第一连接杆、转接外环、第二连接杆与支撑块活动连接，支撑块与基座连接，设备运行时，气缸本体可通过转接内环绕第一连接杆转动或通过转接外环绕第二连接杆转动，同时活塞杆活动端绕与滑台的铰接点移动，共同完成因装配或运动不统一产生的位置误差，防止两气缸、滑台、基座间相互较劲儿，进而提高滑台的运动可行性和精度。
[0021]本技术的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本技术的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。
附图说明
[0022]图1为本技术其中一种技术方案中的侧挂垂向运动气浮直线台的结构示意图；
[0023]图2为本技术其中一种技术方案中的侧挂垂向运动气浮直线台主视图；
[0024]图3为本技术其中一种技术方案中的侧挂垂向运动气浮直线台后视图；
[0025]图4为本技术其中一种技术方案中的侧挂垂向运动气浮直线台左视图；
[0026]图5为图2中I
‑
I方向剖视图；
[0027]图6为图5中I部结构放大图；
[0028]图7为本技术其中一种技术方案中的滑台主视图；
[0029]图8为图7中F
‑
F方向剖视图；
[0030]图9为图7中G
‑
G方向剖视图；
[0031]图10为本技术其中一种技术方案中的支撑块与转接外环连接结构示意图；
[0032]图11为本技术其中一种技术方案中的转接内环与转接外环连接结构示意图；
[0033]其中，1
‑
基座，2
‑
限位挡块，3
‑
预载板，4
‑
负载板，5
‑
侧安装板，6
‑
气缸转接件，7
‑
活动接头，8
‑
支撑块，9
‑
气缸，10
‑
气浮导轨，11
‑
走线槽，12
‑
读数头，13
‑
读数头安装座，14
‑
电机动子，15
‑
气缸本体，16
‑
转接内环，17
‑
转接外环，18
‑
第一连接杆，19
‑
第二连接杆，20
‑
气浮块，21...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.侧挂垂向运动气浮直线台，其特征在于，包括：基座；滑台，其可移动设置在所述基座上，所述基座和所述滑台间设有间隙，所述滑台两侧与所述基座磁性相吸，所述滑台上设置有进气口，所述滑台上所述间隙对应处设置有多个与所述进气口连通的出气口；一对气缸，其分别设置在所述滑台的两侧，所述气缸的活塞杆的活动端与所述滑台铰接，所述活塞杆与所述滑台移动方向相同，所述气缸的气缸本体外环设有转接内环，所述转接内环外环设有转接外环，所述转接外环与所述转接内环通过第一连接杆转动连接，所述转接外环外设置有支撑块，所述支撑块与所述转接外环通过一对同轴的第二连接杆转动连接，所述第一连接杆与所述第二连接杆位于同一平面且垂直，所述支撑块与所述基座连接。2.如权利要求1所述的侧挂垂向运动气浮直线台，其特征在于，所述转接内环上设置有第一贯穿孔，所述转接外环上设置有第二贯穿孔和一对第三贯穿孔，所述支撑块上设置有一对第四贯穿孔，所述第一贯穿孔与所述第二贯穿孔内插设所述第一连接杆，相对应的所述第三贯穿孔和所述第四贯穿孔内插设所述第二连接杆。3.如权利要求2所述的侧挂垂向运动气浮直线台，其特征在于，所述第二贯穿孔和所述第四贯穿孔均为阶梯螺纹孔，所述阶梯螺纹孔的大端朝外，所述第一连接杆和所述第二连接杆均为螺钉或销轴，并分别先从所述第二贯穿孔和所述第四贯穿孔穿入。4.如权利要求1所述的侧挂垂向运动气浮直线台，其特征在于，所述滑台上设置有气缸转接件，...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖国丰，陈志强，
申请(专利权)人：北京瑞邦精控科技有限公司，
类型：新型
国别省市：