一种晶体提拉罐制造技术

技术编号:30613934 阅读:16 留言:0更新日期:2021-11-03 23:31
本申请涉及一种晶体提拉罐,其包括炉体、设置在炉体内的坩埚、包覆在坩埚外侧壁上的感应线圈以及转动连接在炉体内的提拉杆,炉体上设有用于驱动提拉杆旋转升降的旋转提拉机构,还包括位于坩埚上方的隔热挡板、位于隔热挡板两侧且沿炉体的高度方向排列的若干托台,隔热挡板上设有供提拉杆伸入坩埚内的伸缩孔,托台上设有用于固定隔热挡板的定位机构,炉体内设有用于封堵隔热挡板与炉体的内侧壁之间缝隙的密封机构。本申请根据不同规格的晶体,调节隔热挡板的高度,使得隔热挡板的下表面与炉体的内侧壁之间围合形成保温空间,具有节约能源的效果。的效果。的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种晶体提拉罐


[0001]本申请涉及晶体提拉炉的领域,尤其是涉及一种晶体提拉罐。

技术介绍

[0002]“晶体提拉法”是利用籽晶从溶体中提拉生长出晶体的方法,其基本原理是原料在坩埚中加热融化,缓慢将籽晶与溶体接触,通过精确控制温度和晶体提拉速和转速,使得固液界面处溶体不断凝固而生长出晶体。
[0003]公告号为CN204825116U的中国专利公开了一种单晶体生产用烧结炉,包括设有真空接口的炉体、坩埚、单晶提拉杆、支架、旋转电机和升降电机,支架上设置炉体和固定架,炉体上有大炉盖,电极安装在大炉盖上,大炉盖上装有小炉盖,小炉盖正上方设置有托板,托板上设有旋转电机,旋转电机输出端穿过托板与单晶提拉杆转动连接,固定架上设置有导轨,托板侧部与固定架通过导轨滑动连接,炉体内设有坩埚,坩埚置于坩埚托盘上,坩埚的上方有坩埚盖,坩埚盖上面有上隔热层,坩埚的外层设置有发热体,发热体两侧顶部与大炉盖上的电极连接,该烧结炉有效防止了晶体氧化、使用方便,提高了设备使用寿命,减少切片时晶体的浪费,提高了晶体的利用率。
[0004]针对上述中的相关技术,专利技术人认为存在有以下缺陷:由于炉体的尺寸固定,当用大炉腔的炉体生长小规格晶体时,耗能较大,浪费了能源。

技术实现思路

[0005]为了改善利用大炉腔的炉体生长小规格晶体时耗能较大的问题,本申请提供一种晶体提拉罐。
[0006]本申请提供的一种晶体提拉罐采用如下的技术方案:
[0007]一种晶体提拉罐,包括炉体、设置在炉体内的坩埚、包覆在坩埚外侧壁上的感应线圈以及转动连接在炉体内的提拉杆,所述炉体上设有用于驱动提拉杆旋转升降的旋转提拉机构,还包括位于坩埚上方的隔热挡板、位于隔热挡板两侧且沿炉体的高度方向排列的若干托台,所述隔热挡板上设有供提拉杆伸入坩埚内的伸缩孔,所述托台上设有用于固定隔热挡板的定位机构,所述炉体内设有用于封堵隔热挡板与炉体的内侧壁之间缝隙的密封机构。
[0008]通过采用上述技术方案,首先根据晶体的尺寸规格,将隔热挡板放置在合适高度上的托台上,利用定位机构可将隔热挡板固定在托台上,然后利用密封机构封堵隔热挡板的侧壁与炉体内侧壁之间的缝隙,使得隔热挡板的下表面与炉体的内侧壁之间围合形成保温空间;当需要对尺寸较小的晶体加工时,需要将隔热挡板的高度调低,缩小了保温空间的面积,节约了能源。
[0009]可选的,所述定位机构包括安装块、位于安装块一侧的插块,所述安装块分别设置隔热挡板的下表面两侧,所述托台的上表面设有供安装块插入的安装槽,所述安装槽与其槽口相邻的一侧槽壁设有用于容纳插块的凹槽,所述托台内设有与凹槽相连通的空腔,所
述安装块朝向插块的侧壁设有插槽,所述空腔内设有用于驱动插块插入插槽内的驱动组件。
[0010]通过采用上述技术方案,安装时,先将安装块插入安装槽内,再利用驱动组件驱动插块插入插槽内,进而可将安装块固定在安装槽内,从而可将隔热挡板固定在托台上。
[0011]可选的,所述驱动组件包括设置在插块背向安装块的侧壁上的第一楔块、位于第一楔块一侧的第二楔块,所述第一楔块和第二楔块的相对侧壁均设有相互滑移配合的滑移斜面,所述滑移斜面的较低一端朝向安装槽,所述滑移斜面的较高一端朝向空腔的内顶壁,所述空腔内设有用于驱动第二楔块升降的联动件。
[0012]通过采用上述技术方案,利用联动件推动第二楔块上移,进而可推动第一楔块向凹槽方向滑移,从而可将插块插入插槽内,以便将安装块固定在安装槽内。
[0013]可选的,所述联动件包括转动连接在空腔内侧壁上的齿轮、位于齿轮两侧的第一齿条和第二齿条、与第二齿条相连的横杆、与横杆相连的竖杆以及套设在竖杆上的第一弹簧,所述第一齿条的顶壁与第二楔块底壁相连,所述第一齿条和第二齿条均与齿轮啮合,所述第一齿条和第二齿条均与空腔的内侧壁滑移连接,所述安装槽与其槽口相对的槽底壁设有通孔,所述竖杆远离横杆的一端穿过通孔并与安装块的下表面抵接,所述第一弹簧的一端与空腔的内侧壁相连,所述第一弹簧的另一端与竖杆的侧壁相连。
[0014]通过采用上述技术方案,利用第一弹簧的弹力,将竖杆的位置保持稳定,当将安装块插入安装槽内时,使得安装块的下表面与竖杆的顶面抵接,进而随着安装块的下移,推动竖杆下移,通过横杆带动第二齿条下移,进而齿轮旋转,带动第一齿条上移,此时通过第二楔块带动第一楔块向凹槽方向滑移,进而可将插块插入插槽内。
[0015]可选的,所述第一齿条和第二齿条的侧壁均设有燕尾块,所述空腔的内侧壁设有供燕尾块滑移的燕尾槽。
[0016]通过采用上述技术方案,燕尾块和燕尾槽的配合,实现了第一齿条和第二齿条与空腔内侧壁之间的滑移连接。
[0017]可选的,所述插块的侧壁上设有推杆,所述托台的端壁设有与空腔相连通的开口,所述推杆远离插块的一端穿过开口并伸出托台的端壁外。
[0018]通过采用上述技术方案,人员拉动推杆,通过推杆可将插块由插槽内滑移至凹槽内,此时人员可将安装块由安装槽内取出,进而人员可将隔热挡板由托台上取下。
[0019]可选的,所述密封机构包括密封块、均布设置在密封块侧壁上的第二弹簧,所述密封块的侧壁上均布设有供隔热挡板插入的密封槽,所述第二弹簧远离密封块的一端与炉体的内侧壁相连。
[0020]通过采用上述技术方案,安装时,可将隔热挡板的部分侧壁插入密封槽内,同时利用第二弹簧的弹力,为密封板提供向隔热挡板方向滑移的力,进而可将隔热挡板稳定插设在密封槽内,实现了对隔热挡板与炉体内侧壁之间缝隙的密封,使得隔热挡板的下表面能够与炉体的内侧壁之间围合形成保温空间。
[0021]可选的,所述炉体的侧壁上铰接有封闭门,所述封闭门的内侧壁均布设有橡胶板并与隔热挡板的侧壁抵接。
[0022]通过采用上述技术方案,利用橡胶板可封堵隔热挡板与封闭门内侧壁之间的缝隙,加强了密封效果,使得隔热挡板的下表面能够与炉体的内侧壁之间围合形成保温空间。
[0023]综上所述,本申请包括以下至少一种有益技术效果:
[0024]1.当需要对尺寸较小的晶体加工时,需要将隔热挡板的高度调低,缩小了保温空间的面积,节约了能源;
[0025]2.随着安装块的下移,可推动竖杆下移,通过横杆带动第二齿条下移,进而齿轮旋转,带动第一齿条上移,此时通过第二楔块带动第一楔块向凹槽方向滑移,进而可将插块插入插槽内。
附图说明
[0026]图1为本申请实施例一种晶体提拉罐的整体结构示意图。
[0027]图2是图1中A

A面的剖视结构示意图。
[0028]图3是图1中B

B面的剖视结构示意图。
[0029]图4为图3中A处的放大图。
[0030]图5为图4中B处的放大图。
[0031]图6是图1中C

C面的剖视结构示意图。
[0032]图7为图4中C处的放大图。
[0033]附图标记说明:1、炉体;2、封闭门;3、观本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶体提拉罐,包括炉体(1)、设置在炉体(1)内的坩埚(5)、包覆在坩埚(5)外侧壁上的感应线圈(6)以及转动连接在炉体(1)内的提拉杆(7),所述炉体(1)上设有用于驱动提拉杆(7)旋转升降的旋转提拉机构(8),其特征在于:还包括位于坩埚(5)上方的隔热挡板(9)、位于隔热挡板(9)两侧且沿炉体(1)的高度方向排列的若干托台(11),所述隔热挡板(9)上设有供提拉杆(7)伸入坩埚(5)内的伸缩孔(10),所述托台(11)上设有用于固定隔热挡板(9)的定位机构(12),所述炉体(1)内设有用于封堵隔热挡板(9)与炉体(1)的内侧壁之间缝隙的密封机构。2.根据权利要求1所述的一种晶体提拉罐,其特征在于:所述定位机构(12)包括安装块(121)、位于安装块(121)一侧的插块(122),所述安装块(121)分别设置隔热挡板(9)的下表面两侧,所述托台(11)的上表面设有供安装块(121)插入的安装槽(123),所述安装槽(123)与其槽口相邻的一侧槽壁设有用于容纳插块(122)的凹槽(124),所述托台(11)内设有与凹槽(124)相连通的空腔(125),所述安装块(121)朝向插块(122)的侧壁设有插槽(126),所述空腔(125)内设有用于驱动插块(122)插入插槽(126)内的驱动组件(13)。3.根据权利要求2所述的一种晶体提拉罐,其特征在于:所述驱动组件(13)包括设置在插块(122)背向安装块(121)的侧壁上的第一楔块(131)、位于第一楔块(131)一侧的第二楔块(132),所述第一楔块(131)和第二楔块(132)的相对侧壁均设有相互滑移配合的滑移斜面(133),所述滑移斜面(133)的较低一端朝向安装槽(123),所述滑移斜面(133)的较高一端朝向空腔(125)的内顶壁,所述空腔(125)内设有用于驱动第二楔块(132)升降的联动件(14)。4.根据权利要求3所述的一种晶体提拉罐,其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员:黄健
申请(专利权)人:上海翌波光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1