掩模清洗系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种掩模清洗系统，包括第一清洗设备和第二清洗设备，第一清洗设备包括用于存放清洗溶液的储液槽、输液管道和清洗组件，输液管道的两端分别与储液槽和清洗组件连接，清洗组件安装于清洗室内，且清洗组件用于向掩模喷洒清洗溶液，第二清洗设备包括依次连接的空气压缩机、储气罐和超声波发生器，超声波发生器与输液管道通过连接管连接，且连接管与输液管道之间通过第一阀门选择性连通。通过设置第二清洗设备，以使第二清洗设备对输气管道以及清洗组件进行超声波清洗，促使输气管道和清洗组件内附着在管壁上的异物脱落，具有清洗效率高和清洗质量好的特点。洗效率高和清洗质量好的特点。洗效率高和清洗质量好的特点。

【技术实现步骤摘要】
掩模清洗系统


[0001]本技术涉及显示器制造
，尤其涉及一种掩模清洗系统。

技术介绍

[0002]在显示器制造工艺中，需要在玻璃板上形成有机薄膜以实现其特有的光学特性。在玻璃板镀膜过程中，对不需要形成薄膜结构的位置采用掩模进行遮挡，同时，掩模对玻璃板起到安装固定的作用。在镀膜时，掩模上也会因有机材料的沉积而形成薄膜结构，在重复使用前，需要对掩模进行清洗，以去除掩模上的薄膜结构。在清洗掩模时，主要采用的清洗设备包括用于储存有机溶液的储液罐和用于清洗掩模的清洗喷头，储液罐通过输液管道与清洗喷头连接，清洗喷头安装在清洗室内，清洗喷头朝向掩模并向掩模的表面喷洒有机溶液，实现对掩模的清洗。由于有机溶液为循环使用，因此有机溶液中容易混入清洗后的杂质物或者有机溶液中自身存在的杂质物，杂质物沉积在输液管道内以及输液管道内因细菌滋生形成异物均对清洗设备的自身清洁度造成较大影响。现有对清洗设备自身的清洗方法主要是利用水或者清洗溶液进行冲洗，该方式不易对输液管道内壁吸附牢固的异物进行清理，以及管道上的阀门接头缝隙中的异物也不易清洗，清洗效率和清洗质量均无法得到保证。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提出一种掩模清洗系统，其清洗效率高和清洗质量好。
[0004]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]提供的一种掩模清洗系统，包括第一清洗设备和第二清洗设备，所述第一清洗设备包括用于存放清洗溶液的储液槽、输液管道和清洗组件，所述输液管道的两端分别与所述储液槽和所述清洗组件连接，所述清洗组件安装于清洗室内，且所述清洗组件用于向掩模喷洒所述清洗溶液，所述第二清洗设备包括依次连接的空气压缩机、储气罐和超声波发生器，所述超声波发生器与所述输液管道通过连接管连接，且所述连接管与所述输液管道之间通过第一阀门选择性连通。
[0006]作为掩模清洗系统的一种优选方案，所述连接管为多个，多个所述连接管沿所述输液管道的长度方向间隔设置，所述超声波发生器与所述连接管可拆卸连接。
[0007]作为掩模清洗系统的一种优选方案，所述连接管与所述超声波发生器之间通过法兰组件连接。
[0008]作为掩模清洗系统的一种优选方案，所述第二清洗设备还包括吹气管道，所述吹气管道的一端与所述储气罐连接，所述吹气管道的另一端用于与所述连接管选择性连接。
[0009]作为掩模清洗系统的一种优选方案，所述储液槽的出口设置有第二阀门，所述输液管道靠近所述储液槽的一端与所述第二阀门连接。
[0010]作为掩模清洗系统的一种优选方案，所述吹气管道为软管，所述法兰组件包括第一法兰、第二法兰和用于固定所述第一法兰和第二法兰的紧固螺栓，所述第一法兰设置于
所述连接管的一端，所述第二法兰设置于所述吹气管道靠近所述连接管的一端。
[0011]作为掩模清洗系统的一种优选方案，所述第一清洗设备还包括回收管道，所述回收管道的一端安装于所述清洗室且用于收集所述清洗溶液，所述回收管道的另一端与所述储液槽连接，所述回收管道设置有过滤器，所述过滤器对所述回收管道内的所述清洗溶液进行过滤处理。
[0012]作为掩模清洗系统的一种优选方案，所述回收管道上设置有所述连接管，所述连接管用于与所述第二清洗设备连接。
[0013]作为掩模清洗系统的一种优选方案，所述第一清洗设备为多个，多个所述第一清洗设备与多个所述清洗室一一对应设置。
[0014]作为掩模清洗系统的一种优选方案，所述第二清洗设备包括多个超声波发生器，每个所述超声波发生器与相对应的所述第一清洗设备上的输液管道连接，所有的所述超声波发生器与所述储气罐通过输气管道连接。
[0015]本技术相比于现有技术的有益效果：
[0016]本技术的掩模清洗系统，通过设置第二清洗设备，第二清洗设备具有依次连接的空气压缩机、储气罐和超声波发生器，超声波发生器与输液管道连接，以使第二清洗设备对输气管道以及与输气管道连接的清洗组件进行超声波清洗，促使输气管道和清洗组件内附着在管壁上的异物脱落，提高清洗效率。该结构可实现对第一清洗设备的清洗作业，有利于避免第一清洗设备自身的异物对掩模清洗作业造成影响，进而保证该掩模清洗系统对掩模的清洗质量。
附图说明
[0017]图1为实施例的掩模清洗系统的示意图。
[0018]图中：
[0019]1、第一清洗设备；11、储液槽；12、输液管道；13、清洗组件；14、连接管；15、第二阀门；16、回收管道；17、过滤器；2、第二清洗设备；21、空气压缩机；22、储气罐；23、超声波发生器；24、输气管道；3、清洗室；4、法兰组件。
具体实施方式
[0020]参考下面结合附图详细描述的实施例，本技术的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本技术不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本技术的公开并且使本领域技术人员充分地了解本技术的范围，并且本技术仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
[0021]以下，参照附图来详细描述本技术。
[0022]实施例一
[0023]参照图1所示，提供一种掩模清洗系统，包括第一清洗设备1和第二清洗设备2，其中，第一清洗设备1用于对清洗室3内的掩模进行清洗，第二清洗设备2用于对第一清洗设备1进行清洗，避免第一清洗设备1内残留异物，以提高第一清洗设备1的自身清洁度，进而保证对掩模的清洗质量。为达此目的，第一清洗设备1包括储液槽11、输液管道12和清洗组件
13，储液槽11用于存放清洗溶液，清洗溶液优选为有机溶液，该有机溶液对掩模上的薄膜具有良好的清洗效果。当然，有机溶液的具体成分可根据被清洗的薄膜组分作相应选择。输液管道12用于连通储液槽11和清洗组件13，输液管道12上还设置有水泵，水泵用于将储液槽11内的清洗溶液抽取至清洗组件13。清洗组件13安装于清洗室3内，清洗组件13包括多个间隔设置的喷头，清洗组件13内的清洗溶液通过喷头喷洒至掩模的表面，实现对掩模的清洗。第二清洗设备2包括依次连接的空气压缩机21、储气罐22和超声波发生器23，输液管道12上设置有连接管14，超声波发生器23与输液管道12通过连接管14连接，连接管14与输液管道12之间设置有第一阀门，第一阀门用于控制连接管14与输液管道12之间的通断，以使连接管14与输液管道12之间通过第一阀门选择性连通。空气压缩机21用于将压缩后的空气注入到储气罐22内，储气罐22与超声波发生器23通过输气管道24连通。储气罐22内的气体形成气流，气流通过超声波发生器23后，以气体脉冲的形式输入输液管道12，并使输液管道12内的清洗溶液在超声波的机械振动作用下产生微气泡，进而超声波空化所产生的巨大压力对输液管道12的内壁具有良好的清洗效果，以实现对输液管道12以及与输液管道12连接的清洗组件13的清洗处理。清洗掩模时，关闭第一阀门，使清洗溶液通过输液管本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种掩模清洗系统，其特征在于，包括第一清洗设备和第二清洗设备，所述第一清洗设备包括用于存放清洗溶液的储液槽、输液管道和清洗组件，所述输液管道的两端分别与所述储液槽和所述清洗组件连接，所述清洗组件安装于清洗室内，且所述清洗组件用于向掩模喷洒所述清洗溶液，所述第二清洗设备包括依次连接的空气压缩机、储气罐和超声波发生器，所述超声波发生器与所述输液管道通过连接管连接，且所述连接管与所述输液管道之间通过第一阀门选择性连通。2.根据权利要求1所述的掩模清洗系统，其特征在于，所述连接管为多个，多个所述连接管沿所述输液管道的长度方向间隔设置，所述超声波发生器与所述连接管可拆卸连接。3.根据权利要求2所述的掩模清洗系统，其特征在于，所述连接管与所述超声波发生器之间通过法兰组件连接。4.根据权利要求3所述的掩模清洗系统，其特征在于，所述第二清洗设备还包括吹气管道，所述吹气管道的一端与所述储气罐连接，所述吹气管道的另一端用于与所述连接管选择性连接。5.根据权利要求4所述的掩模清洗系统，其特征在于，所述储液槽的出口设置有第二阀门，所述输液管道靠近所述储液槽的一端与所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：闵丙琦，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：新型
国别省市：