一种内部温度均匀的井式保护气氛退火炉制造技术

本实用新型专利技术涉及退火炉技术领域，尤其为一种内部温度均匀的井式保护气氛退火炉，包括退火炉，所述退火炉外侧下端固定连接有固定盒，且退火炉贯穿固定盒，所述固定盒外侧滑动连接有底座，且退火炉和固定盒均贯穿底座，所述固定盒下端固定连接有隔热板，且隔热板与底座滑动连接，本实用新型专利技术通过设置的气泵和气垫，在载物板与退火炉接触时，因为重量的原因退火炉带动固定盒和隔热板一同向下移动挤压气垫，从而使气垫内气压升高，气体将橡胶垫推出导管，并通过限位板带动滚轮在固定块内转动，同时压缩弹簧，通过排除的空气来达到减震效果，从而防止零件之间相互碰撞或零件与放置架碰撞，从而损伤两件便面，影响零件的淬火效果。影响零件的淬火效果。影响零件的淬火效果。

【技术实现步骤摘要】
一种内部温度均匀的井式保护气氛退火炉


[0001]本技术涉及退火炉
，具体为一种内部温度均匀的井式保护气氛退火炉。

技术介绍

[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理，退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的，退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％，市面上现有的退火炉在运输时，往往通过铁块焊接在货车的大板上对退火炉进行限位，在运输过程中退火炉会与铁块发生摩擦损伤装置表面，而且退火炉通常是使用载物板放置零件，在置物板放置与退火炉接触时会产生震动，从而导致零件之间相互碰撞或零件与放置架碰撞，从而损伤两件便面，影响零件的淬火效果。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种内部温度均匀的井式保护气氛退火炉，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种内部温度均匀的井式保护气氛退火炉，包括退火炉，所述退火炉外侧下端固定连接有固定盒，且退火炉贯穿固定盒，所述固定盒外侧滑动连接有底座，且退火炉和固定盒均贯穿底座，所述固定盒下端固定连接有隔热板，且隔热板与底座滑动连接，所述隔热板下端滑动连接有气垫，且气垫与底座固定连接，所述气垫内侧左右两端均固定连接有导管，所述导管另一端固定连接有固定块，所述导管内侧滑动连接有橡胶垫，所述橡胶垫外侧固定连接有限位板，且限位板与固定块和导管滑动连接，所述限位板上下两端均转动连接有滚轮，所述限位板远离导管一侧的上下两端均固定连接有弹簧，且弹簧另一端与固定块固定连接，所述底座左右两侧下端均转动连接有限位杆，所述限位杆内侧下端转动连接有螺栓，所述螺栓后端螺旋连接有自锁螺母，所述限位杆外侧下端转动连接有支撑脚，所述螺栓贯穿限位杆、自锁螺母和支撑脚，所述支撑脚与螺栓和自锁螺母转动连接，且支撑脚与底座滑连接。
[0006]优选的，所述气垫内侧下端中间位置处固定连接有连接管，且连接管贯穿气垫，所述连接管与底座固定连接，所述连接管下端固定连接有气泵，且气泵与底座固定连接，所述气泵贯穿底座。
[0007]优选的，所述导管贯穿气垫和底座，且导管与底座滑动连接，所述导管是由橡胶材料的管材制成。
[0008]优选的，所述滚轮的数量有8个，所述滚轮在限位板外侧前后两端对称分布，且滚轮与固定块转动连接。
[0009]优选的，所述限位杆的数量和支撑脚的数量均有4个，且限位杆和支撑脚均在底座内侧前后两端对称分布。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0011]1、本技术中，通过设置的气泵和气垫，在载物板与退火炉接触时，因为重量的原因退火炉带动固定盒和隔热板一同向下移动挤压气垫，从而使气垫内气压升高，气体将橡胶垫推出导管，并通过限位板带动滚轮在固定块内转动，同时压缩弹簧，通过排除的空气来达到减震效果，从而防止零件之间相互碰撞或零件与放置架碰撞，从而损伤两件便面，影响零件的淬火效果；
[0012]2、本技术中，通过设置的支撑杆和支撑脚，在运输装置时，转动底座内的限位杆然后将支撑脚套在限位杆，末端选择合适的通孔插入螺栓在将自锁螺母固定在螺栓上，通过调节自锁螺母与支撑脚之间的压力来固定支撑脚与限位杆之间的角度，然后将支撑脚焊接在货车的大板上，从而通过底座固定退火炉在货车上的位置，使用自带的焊接组件，从而避免在运输过程中退火炉会与铁块发生摩擦损伤装置表面。
附图说明
[0013]图1为本技术整体结构示意图；
[0014]图2为本技术图1的A处结构示意图；
[0015]图3为本技术图1的B处结构示意图；
[0016]图4为本技术螺栓的安装结构示意图。
[0017]图中：1
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退火炉、2
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固定盒、3
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底座、4
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隔热板、5
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气垫、6
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气泵、7
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连接管、8
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导管、9
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固定块、10
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橡胶垫、11
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限位板、12
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滚轮、13
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弹簧、14
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限位杆、15
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螺栓、16
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自锁螺母、17
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支撑脚。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：
[0020]一种内部温度均匀的井式保护气氛退火炉，包括退火炉1，退火炉1外侧下端固定连接有固定盒2，使退火炉1与底座3之间不会接触，从而防止退火炉1滑动时磨损退火炉1的表面，且退火炉1贯穿固定盒2，固定盒2外侧滑动连接有底座3，且退火炉1和固定盒2均贯穿底座3，固定盒2下端固定连接有隔热板4，防止退火炉1产生的热量损伤气垫5，且隔热板4与底座3滑动连接，隔热板4下端滑动连接有气垫5，且气垫5与底座3固定连接，气垫5内侧左右两端均固定连接有导管8，导管8另一端固定连接有固定块9，导管8内侧滑动连接有橡胶垫10，将导管8堵住密封导管8的出气口，橡胶垫10外侧固定连接有限位板11，且限位板11与固定块9和导管8滑动连接，限位板11上下两端均转动连接有滚轮12，限位板11远离导管8一侧
的上下两端均固定连接有弹簧13，为限位板11的复位提供动力，且弹簧13另一端与固定块9固定连接，底座3左右两侧下端均转动连接有限位杆14，限位杆14内侧下端转动连接有螺栓15，螺栓15后端螺旋连接有自锁螺母16，限位杆14外侧下端转动连接有支撑脚17，螺栓15贯穿限位杆14、自锁螺母16和支撑脚17，支撑脚17与螺栓15和自锁螺母16转动连接，且支撑脚17与底座3滑连接。
[0021]气垫5内侧下端中间位置处固定连接有连接管7，且连接管7贯穿气垫5，连接管7与底座3固定连接，连接管7下端固定连接有气泵6，且气泵6与底座3固定连接，气泵6贯穿底座3，便于在退火炉1完成淬火后向气垫5内注入空气；导管8贯穿气垫5和底座3，且导管8与底座3滑动连接，导管8是由橡胶材料的管材制成，防止气垫产生形变后带动导管8产生移动，从而损坏导管8；滚轮12的数本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种内部温度均匀的井式保护气氛退火炉，包括退火炉(1)，其特征在于：所述退火炉(1)外侧下端固定连接有固定盒(2)，且退火炉(1)贯穿固定盒(2)，所述固定盒(2)外侧滑动连接有底座(3)，且退火炉(1)和固定盒(2)均贯穿底座(3)，所述固定盒(2)下端固定连接有隔热板(4)，且隔热板(4)与底座(3)滑动连接，所述隔热板(4)下端滑动连接有气垫(5)，且气垫(5)与底座(3)固定连接，所述气垫(5)内侧左右两端均固定连接有导管(8)，所述导管(8)另一端固定连接有固定块(9)，所述导管(8)内侧滑动连接有橡胶垫(10)，所述橡胶垫(10)外侧固定连接有限位板(11)，且限位板(11)与固定块(9)和导管(8)滑动连接，所述限位板(11)上下两端均转动连接有滚轮(12)，所述限位板(11)远离导管(8)一侧的上下两端均固定连接有弹簧(13)，且弹簧(13)另一端与固定块(9)固定连接，所述底座(3)左右两侧下端均转动连接有限位杆(14)，所述限位杆(14)内侧下端转动连接有螺栓(15)，所述螺栓(15)后端螺旋连接有自锁螺母(16)，所述限位杆(14)外侧下端转动连接有支撑脚(17)，所述螺栓(15)贯穿限位杆(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晓亮，
申请(专利权)人：大连奥铭志远金属制品有限公司，
类型：新型
国别省市：