一种微波等离子清洗机用波导结构制造技术

技术编号:30566203 阅读:13 留言:0更新日期:2021-10-30 13:53
本实用新型专利技术适用于微波等离子清洗设备技术领域,提供了一种微波等离子清洗机用波导结构,包括微波防泄漏罩和波导本体,所述微波防泄漏罩位于波导本体的顶部,且波导本体与微波防泄漏罩之间通过焊接成为一体,所述微波防泄漏罩正面的左侧焊接有固定座,且固定座与微波防泄漏罩的内腔连通;本实用新型专利技术具有可以将腔体整面作为微波导入窗口,有效增加了波导幅面,实现较高的微波反射效率,且能够有效防止微波出现泄漏,有效提高清洗元素密度的优点,解决了现有的波导结构导入幅面较小,容易出现微波泄漏,不适用于大型腔体,微波聚集导致腔体窗口内部电流密度高的问题,进而能够实现较好的微波均匀性。好的微波均匀性。好的微波均匀性。

【技术实现步骤摘要】
一种微波等离子清洗机用波导结构


[0001]本技术属于微波等离子清洗设备
,尤其涉及一种微波等离子清洗机用波导结构。

技术介绍

[0002]等离子清洗机也叫等离子清洁机,或者等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、去氧化、活化、涂覆沉积等目的。
[0003]波导结构用于生产型微波等离子清洗机的微波传输,但是现有的波导结构导入幅面较小,容易出现微波泄漏,不适用于大型腔体,微波聚集导致腔体窗口内部的电流密度高,容易产生热量,造成腔体内部电场分布不均匀。为此我们提出一种可以将腔体整面作为微波导入窗口的波导,有效增加了波导导入幅面,实现较高的微波反射效率,且能够防止微波出现泄漏,有效提高清洗元素密度的波导结构来解决此问题。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种微波等离子清洗机用波导结构,旨在解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]本技术是这样实现的,一种微波等离子清洗机用波导结构,包括微波防泄漏罩和波导本体,所述微波防泄漏罩位于波导本体的顶部,且波导本体与微波防泄漏罩之间通过焊接成为一体,所述微波防泄漏罩正面的左侧焊接有固定座,且固定座与微波防泄漏罩的内腔连通,所述固定座的表面开设有连接孔与风机相连,所述微波防泄漏罩正面的右侧焊接有导风管,所述导风管与微波防泄漏罩的内腔连通,所述微波防泄漏罩的底部开设有磁控管固定孔,所述波导本体通过磁控管固定孔与微波防泄漏罩的内腔连通,所述微波防泄漏罩的顶部开设有密封槽,且密封槽与微波防泄漏罩的内腔连通,所述波导本体的背面分别设置有弧形反射结构和梯形反射结构,且梯形反射结构位于弧形反射结构的底部,所述波导本体的正面开设有微波导入窗口,所述微波导入窗口与波导本体的内腔连通。
[0006]优选的,所述微波防泄漏罩的顶部栓接连接座,且连接座位于密封槽的左侧,所述连接座的顶部铰接有密封盖,所述密封盖与密封槽之间卡接。
[0007]优选的,所述波导本体的表面开设有安装孔,所述安装孔位于微波导入窗口的外侧,所述安装孔的数量为若干个,且安装孔呈阵列分布。
[0008]优选的,所述微波防泄漏罩的顶部开设有定位孔,所述定位孔分别位于密封槽的四周,且定位孔的内壁设置有内螺纹。
[0009]优选的,所述微波防泄漏罩的内腔栓接有聚风罩,所述聚风罩位于固定座的后方,
且聚风罩采用不锈钢材质制成。
[0010]优选的,所述密封槽的内部开设有安装槽,且安装槽的内部固定安装有微波密封条。
[0011]与现有技术相比,本技术的有益效果是:
[0012]本技术通过微波防泄漏罩、固定座、磁控管固定孔、密封槽、弧形反射结构、梯形反射结构和微波导入窗口的设置,具有可以将腔体整面作为微波导入窗口,有效增加了波导幅面,实现较高的微波反射效率,且能够防止微波出现泄漏,有效提高清洗元素密度的优点,解决了现有的波导结构波导幅面较小,容易出现微波泄漏,不适用于大型铝腔体,微波聚集导致铝腔体窗口内部电流密度高的问题,进而能够实现最大化的微波均匀性。
附图说明
[0013]图1为本技术的结构立体示意图;
[0014]图2为本技术微波防泄漏罩的结构立体示意图;
[0015]图3为本技术结构主视示意图;
[0016]图4为本技术结构左视示意图;
[0017]图5为本技术局部结构俯视示意图;
[0018]图中:1、微波防泄漏罩;2、波导本体;3、固定座;4、连接孔;5、导风管;6、磁控管固定孔;7、密封槽;8、弧形反射结构;9、梯形反射结构;10、微波导入窗口;11、连接座;12、密封盖;13、安装孔;14、定位孔;15、聚风罩。
具体实施方式
[0019]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本技术进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术,并不用于限定本技术。
[0020]请参阅图1

5,本技术提供一种微波等离子清洗机用波导结构,包括微波防泄漏罩1和波导本体2,微波防泄漏罩1位于波导本体2的顶部,且波导本体2与微波防泄漏罩1之间通过焊接成为一体,微波防泄漏罩1正面的左侧焊接有固定座3,且固定座3与微波防泄漏罩1的内腔连通,固定座3的表面开设有连接孔4,微波防泄漏罩1正面的右侧焊接有导风管5,导风管5与微波防泄漏罩1的内腔连通,微波防泄漏罩1的底部开设有磁控管固定孔6,波导本体2通过磁控管固定孔6与微波防泄漏罩1的内腔连通,微波防泄漏罩1的顶部开设有密封槽7,且密封槽7与微波防泄漏罩1的内腔连通,波导本体2的背面分别设置有弧形反射结构8和梯形反射结构9,且梯形反射结构9位于弧形反射结构8的底部,波导本体2的正面开设有微波导入窗口10,微波导入窗口10与波导本体2的内腔连通。
[0021]在本实施方式中,通过微波防泄漏罩1、固定座3、磁控管固定孔6、密封槽7、弧形反射结构8、梯形反射结构9和微波导入窗口10的设置,具有可以将腔体整面作为微波导入窗口10,有效增加了波导幅面,实现较高的微波反射效率,且能够防止微波出现泄漏,有效提高清洗元素密度的优点,解决了现有的波导结构波导幅面较小,容易出现微波泄漏,不适用于大型铝腔体,微波聚集导致铝腔体窗口内部电流密度高的问题,进而能够实现最大化的微波均匀性。
[0022]进一步的,微波防泄漏罩1的顶部栓接连接座11,且连接座11位于密封槽7的左侧,连接座11的顶部铰接有密封盖12,密封盖12与密封槽7之间卡接。
[0023]在本实施方式中,通过连接座11和密封盖12的设置,可以与密封槽7配合使用对微波防泄漏罩1进行密封,进而能够防止微波出现泄漏。
[0024]进一步的,波导本体2的表面开设有安装孔13,安装孔13位于微波导入窗口10的外侧,安装孔13的数量为若干个,且安装孔13呈阵列分布。
[0025]在本实施方式中,通过安装孔13的设置,便于波导结构与等离子清洗机之间的安装固定,且能够增加波导结构的连接稳定性。
[0026]进一步的,微波防泄漏罩1的顶部开设有定位孔14,定位孔14分别位于密封槽7的四周,且定位孔14的内壁设置有内螺纹。
[0027]在本实施方式中,通过定位孔14的设置,可以使密封盖12通过螺栓与连接座11之间锁紧固定,增加密封盖12的连接稳定性。
[0028]进一步的,波导本体2的内腔栓接有聚风罩15,聚风罩15位于固定座3的后方,且聚风罩15采用不锈钢材质制成。
[0029]在本实施方式中,通过聚风罩15的设置,可以起本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微波等离子清洗机用波导结构,包括微波防泄漏罩(1)和波导本体(2),其特征在于:所述微波防泄漏罩(1)位于波导本体(2)的顶部,且波导本体(2)与微波防泄漏罩(1)之间通过焊接成为一体,所述微波防泄漏罩(1)正面的左侧焊接有固定座(3),且固定座(3)与微波防泄漏罩(1)的内腔连通,所述固定座(3)的表面开设有连接孔(4),所述微波防泄漏罩(1)正面的右侧焊接有导风管(5),所述导风管(5)与微波防泄漏罩(1)的内腔连通,所述微波防泄漏罩(1)的底部开设有磁控管固定孔(6),所述波导本体(2)通过磁控管固定孔(6)与微波防泄漏罩(1)的内腔连通,所述微波防泄漏罩(1)的顶部开设有密封槽(7),且密封槽(7)与微波防泄漏罩(1)的内腔连通,所述波导本体(2)的背面分别设置有弧形反射结构(8)和梯形反射结构(9),且梯形反射结构(9)位于弧形反射结构(8)的底部,所述波导本体(2)的正面开设有微波导入窗口(10),所述微波导入窗口(10)与波导本体(2)的内腔连通。2.如权利要求1所述的一种微波等离子清洗机用波导结构,其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员:田鹏康
申请(专利权)人:中科光智西安科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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