一种基于LCOS芯片的视场拼接投影装置制造方法及图纸

一种基于LCOS芯片的视场拼接投影装置，该装置包括第一光源、第二光源、偏振分光棱镜、第一LCOS芯片、第二LCOS芯片以及成像透镜，第一LCOS芯片将P偏振光中的一部分光调制成S偏振光后反射回偏振分光棱镜，第二LCOS芯片将S偏振光中的一部分光调制成P偏振光后反射回偏振分光棱镜；第一LCOS芯片与第二LCOS芯片相对于偏振分光棱镜的位置使得第一LCOS芯片反射回来的S偏振光和第二LCOS芯片反射回来的P偏振光分别经过偏振分光棱镜转为两个并行图像，并经过成像透镜，在投影面拼合成整幅图像。本实用新型专利技术的视场拼接投影装置相对于现有技术避免了拼接过程中需要增设反射镜，既能实现芯片图形拼接，又简化了光路结构，并为拼接调节带来了极大方便。来了极大方便。来了极大方便。

【技术实现步骤摘要】
一种基于LCOS芯片的视场拼接投影装置


[0001]本技术涉及投影技术，特别是涉及一种基于LCOS(硅基液晶)芯片的视场拼接投影装置。

技术介绍

[0002]LCOS作为重要图像调制器件，在投影仪、曝光机方面得到广泛应用。为了得到更高的分辨率，专利申请201810195760.0一种大视场拼接式曝光机，该曝光机采用对调制芯片的空间光操控，可实现4片LCoS芯片的视场拼接。但是，由于该曝光机中采用的光学器件较多，每个子图案经过两次平面反射，一方面，其引入了较多的平面面型误差，另一方面，一共6个反射面，给图案的拼接调节带来了很大困难。
[0003]需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于对本申请的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于克服上述
技术介绍
的缺陷，提供一种基于LCOS芯片的视场拼接投影装置。
[0005]为实现上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]一种基于LCOS芯片的视场拼接投影装置，包括一个光源或第一光源和第二光源两个光源、偏振分光棱镜、第一LCOS芯片、第二LCOS芯片以及成像透镜，所述一个光源为均光光源，所述第一光源和所述第二光源为均光光源，所述一个光源发出的一部分光或所述第一光源发出的光经过所述偏振分光棱镜后形成沿第一方向透射传播的P偏振光，所述一个光源发出的另一部分光或所述第二光源发出的光经过所述偏振分光棱镜后形成沿第二方向反射传播的S偏振光，所述第一LCOS芯片设置在所述第一方向上，所述第二LCOS芯片设置在所述第二方向上，所述第一LCOS芯片和所述第二LCOS芯片相对于所述光源的光程保持一致，其中，所述第一LCOS芯片将所述P偏振光中的一部分光调制成S偏振光后反射回所述偏振分光棱镜，并将所述P偏振光中的另一部分光保持为P偏振光反射回所述偏振分光棱镜，所述第二LCOS芯片将所述S偏振光中的一部分光调制成P偏振光后反射回所述偏振分光棱镜，并将所述S偏振光中的另一部分光保持为S偏振光反射回所述偏振分光棱镜；所述第一LCOS芯片与所述第二LCOS芯片相对于所述偏振分光棱镜的位置使得所述第一LCOS芯片反射回来的S偏振光和所述第二LCOS芯片反射回来的P偏振光分别经过所述偏振分光棱镜转为两个并行图像，并经过所述成像透镜，在投影面拼合成整幅图像。
[0007]进一步地：
[0008]所述第一LCOS芯片与所述第二LCOS芯片相对于所述偏振分光棱镜的位置使得所述两个并行图像之间无像素交叠。
[0009]所述第一LCOS芯片与所述第二LCOS芯片相对于所述偏振分光棱镜的位置使得所述两个并行图像之间存在像素交叠，所述两个并行图像在所述投影面上存在拼缝交叠区
域。
[0010]所述第一光源为P线偏光源，所述第二光源为S线偏光源，所述第一光源发出P线偏光均由所述第一LCOS芯片接收并调制为S偏振光，所述第二光源发出的S线偏光均由所述第二LCOS芯片接收并调制为P偏振光。
[0011]所述第一光源和所述第二光源为非偏振光源，由所述偏振分光棱镜将所述非偏振光分成P偏振光和S偏振光，其中，所述第一LCOS芯片仅接收到由所述第一光源形成的P偏振光，所述第二LCOS芯片仅接收到由所述第二光源形成的S偏振光。
[0012]本技术具有如下有益效果：
[0013]本技术提供一种基于LCOS芯片的视场拼接投影装置，其中，在偏振分光棱镜透射传播P偏振光的第一方向上设置第一LCOS芯片，在偏振分光棱镜反射传播S偏振光的第二方向上设置第二LCOS芯片，所述第一LCOS芯片将所述P偏振光中的一部分光调制成S偏振光后反射回所述偏振分光棱镜，所述第二LCOS芯片将所述S偏振光中的一部分光调制成P偏振光后反射回所述偏振分光棱镜，所述第一LCOS芯片和所述第二LCOS芯片相对于所述偏振分光棱镜的位置使得所述第一LCOS芯片反射回来的S偏振光和所述第二LCOS芯片反射回来的P偏振光分别经过所述偏振分光棱镜转为两个并行图像，并经过所述成像透镜，在投影面拼合成整幅图像，由此设计，本技术的视场拼接投影装置相对于现有技术避免了拼接过程中需要增设反射镜，因此，既能实现芯片图形拼接，又简化了光路结构，并为拼接调节带来了极大方便。
附图说明
[0014]图1为本技术第一种实施例的基于LCOS芯片的视场拼接投影装置结构示意图。
[0015]图2为本技术第二种实施例的基于LCOS芯片的视场拼接投影装置结构示意图。
[0016]图3为本技术第三种实施例的基于LCOS芯片的视场拼接投影装置结构示意图。
[0017]图4为本技术实施例中的一对全反射棱镜的结构示意图。
[0018]图5为本技术第四种实施例的基于LCOS芯片的视场拼接投影装置结构示意图。
[0019]图6为本技术实施例的基于LCOS芯片的视场拼接投影装置采用一个光源的原理简图。
具体实施方式
[0020]以下对本技术的实施方式做详细说明。应该强调的是，下述说明仅仅是示例性的，而不是为了限制本技术的范围及其应用。
[0021]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。另外，连接既可以是用于固定作用也可以是用于耦合或连通作用。
[0022]需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0023]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多该特征。在本技术实施例的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0024]参阅图1至图3以及图5，本技术实施例提供一种基于LCOS芯片的视场拼接投影装置，包括第一光源1、第二光源2、偏振分光棱镜5(PBS)、第一LCOS芯片3、第二LCOS芯片4以及成像透镜6，所述第一光源1发出的光经过所述偏振分光棱镜5后形成沿第一方向透射传播的P偏振光，所述第二光源2发出的光经过所述偏振分光棱镜5后形成沿第二方向反射传播的S偏振光，所述第一LCOS芯片3设置在所述第一方向上，所述第二LCOS芯片4设置在所述第二方向上，所述第一LCOS芯片3和所述第二LCOS芯片4相对于所述光源的光程保持一致，其中，所述第一LCOS芯片3将所述P偏振光中的一部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于LCOS芯片的视场拼接投影装置，其特征在于，包括一个光源或第一光源和第二光源两个光源、偏振分光棱镜、第一LCOS芯片、第二LCOS芯片以及成像透镜，所述一个光源为均光光源，所述第一光源和所述第二光源为均光光源，所述一个光源发出的一部分光或所述第一光源发出的光经过所述偏振分光棱镜后形成沿第一方向透射传播的P偏振光，所述一个光源发出的另一部分光或所述第二光源发出的光经过所述偏振分光棱镜后形成沿第二方向反射传播的S偏振光，所述第一LCOS芯片设置在所述第一方向上，所述第二LCOS芯片设置在所述第二方向上，所述第一LCOS芯片和所述第二LCOS芯片相对于所述光源的光程保持一致，其中，所述第一LCOS芯片将所述P偏振光中的一部分光调制成S偏振光后反射回所述偏振分光棱镜，并将所述P偏振光中的另一部分光保持为P偏振光反射回所述偏振分光棱镜，所述第二LCOS芯片将所述S偏振光中的一部分光调制成P偏振光后反射回所述偏振分光棱镜，并将所述S偏振光中的另一部分光保持为S偏振光反射回所述偏振分光棱镜；所述第一LCOS芯片与所述第二LCOS芯片相对于所述偏振分光棱镜的位置使得所述第一LCOS芯片反射回来的S偏振光和所述第二LCOS芯片反射回来的P偏振光分别经过所...

【专利技术属性】
技术研发人员：马建立，甘新昌，
申请(专利权)人：深圳光韵达光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：