一种光学镜片的支撑座制造技术

本实用新型专利技术公开了一种光学镜片的支撑座，包括刚性的座本体，所述座本体具有用于容纳光学镜片的通孔部，还包括一个或多个支撑单元，所述支撑单元用于与所述光学镜片的侧壁固定连接；沿所述通孔部的径向方向，所述座本体在所述支撑单元对应位置的外侧形成有间隙结构，以使所述支撑单元具有沿径向形变的空间。该支撑座的结构设计能够减小光学镜片因受热膨胀导致的镜片面形变化，确保光路的精度要求。确保光路的精度要求。确保光路的精度要求。

【技术实现步骤摘要】
一种光学镜片的支撑座


[0001]本技术涉及光学结构
，特别是涉及一种光学镜片的支撑座。

技术介绍

[0002]晶圆等半导体元件的缺陷检测常用到光学系统，对光路的精确度要求较高，当光路中的光学镜片会受到环境热能的影响，如果受热不均，光学镜片与其支撑座会因膨胀不均产生应力变形，导致镜片面形发生变化，严重时甚至对导致镜片崩边，影响光线系统的正常工作。
[0003]对于其他的光学系统来说，也存在上述类似的问题。
[0004]有鉴于此，如何改进光学镜片的支撑座结构，以减少光学镜片因受热导致的应力变形，从而减少光学镜片的面形变化，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种光学镜片的支撑座，该支撑座的结构设计能够减小光学镜片因受热膨胀导致的镜片面形变化，确保光路的精度要求。
[0006]为解决上述技术问题，本技术提供一种光学镜片的支撑座，包括刚性的座本体，所述座本体具有用于容纳光学镜片的通孔部，还包括一个或多个支撑单元，所述支撑单元用于与所述光学镜片的侧壁固定连接；沿所述通孔部的径向方向，所述座本体在所述支撑单元对应位置的外侧形成有间隙结构，以使所述支撑单元具有沿径向形变的空间。
[0007]该技术提供的光学镜片的支撑座，包括刚性的座本体和支撑单元，支撑单元用于固接光学镜片，在支撑单元和座本体之间设有间隙结构，以使得支撑单元具有沿径向形变的空间，这样，支撑单元具有向间隙结构所在侧形变的空间，当实际应用中，光学镜片受热膨胀时，通过支撑单元沿径向向外侧(即间隙结构所在侧)变形来吸收光学镜片的热应力，使光学镜片的热应力尽可能通过支撑单元来释放，从而减小光学镜片的面形变化，以满足光路的精度要求，避免光学镜片崩边，在温度恢复后，支撑单元还能够恢复原位；同时，支撑单元吸收光学镜片的热应力而产生形变，也改善了座本体的应变，使其在光学系统中的位置变化和应力减小，进一步保证了光路的准确性。
[0008]如上所述的光学镜片的支撑座，所述支撑单元包括呈弧形的支撑臂，所述支撑臂的一端与所述座本体固接，所述支撑臂的另一端悬空，所述支撑臂的悬空端用于与所述光学镜片的侧壁固定连接。
[0009]如上所述的光学镜片的支撑座，所述支撑单元还包括设于所述支撑臂悬空端的向所述通孔部方向凸起的凸台，所述支撑臂通过所述凸台与所述光学镜片的侧壁固定连接。
[0010]如上所述的光学镜片的支撑座，所述间隙结构为位于所述支撑臂远离所述通孔部一侧的弧形沟槽，所述弧形沟槽的弧长大于或等于所述支撑臂的弧长。
[0011]如上所述的光学镜片的支撑座，所述弧形沟槽包括沿周向延伸的弧形槽底壁和沿径向延伸的槽端壁，所述支撑臂的悬空端与所述弧形沟槽的靠近所述支撑臂悬空端的所述
槽端壁之间具有设定空隙。
[0012]如上所述的光学镜片的支撑座，所述支撑单元包括呈弧形的支撑臂，所述支撑臂的两端均与所述座本体固定连接，所述支撑臂的中部用于与所述光学镜片的侧壁固定连接。
[0013]如上所述的光学镜片的支撑座，所述支撑单元还包括设于所述支撑臂中部的向所述通孔部方向凸起的凸台，所述支撑臂通过所述凸台与所述光学镜片的侧壁固定连接。
[0014]如上所述的光学镜片的支撑座，所述间隙结构为位于所述支撑臂外侧的弧形通孔。
[0015]如上所述的光学镜片的支撑座，所述支撑臂的径向尺寸小于或等于1mm，所述支撑臂的材料为铝合金、不锈钢、聚四氟乙烯或尼龙，所述座本体的材料为铝合金、不锈钢、聚四氟乙烯或尼龙。
[0016]如上所述的光学镜片的支撑座，所述支撑单元设有两个或两个以上，两个或两个以上的所述支撑单元沿所述通孔部的周向均匀排布。
[0017]如上所述的光学镜片的支撑座，所述座本体和所述支撑单元为一体成型结构。
附图说明
[0018]图1为本技术所提供光学镜片的支撑座的第一实施例的结构示意图；
[0019]图2为图1所示支撑座安装光学镜片后的俯视图；
[0020]图3为本技术所提供光学镜片的支撑座的第二实施例的结构示意图；
[0021]图4为图3所示支撑座安装光学镜片后的俯视图。
[0022]附图标记说明：
[0023]第一支撑座10，第一座本体11，第一通孔部111，弧形沟槽112，弧形槽底壁1121，槽端壁1122，第一安装孔113，第一支撑单元12，第一支撑臂121，第一凸台122；
[0024]第二支撑座10＇，第二座本体11＇，第二通孔部111＇，弧形通孔112＇，第二安装孔113＇，第二支撑单元12＇，第二支撑臂121＇，第二凸台122＇；
[0025]光学镜片20。
具体实施方式
[0026]本技术提供一种光学镜片的支撑座，包括刚性的座本体，该座本体具有用于容纳光学镜片的通孔部，还包括一个或多个支撑单元，支撑单元用于与光学镜片的侧壁固定连接；沿通孔部的径向方向，座本体在支撑单元对应位置的外侧形成有间隙结构，以使支撑单元具有沿径向形变的空间。
[0027]如上设置后，在实际应用中，当光学镜片受热膨胀时，通过支撑单元沿径向向外侧变形来吸收光学镜片的热应力，使光学镜片的热应力尽可能地通过支撑单元来释放，从而减小光学镜片的面形变化，以满足光路的精度要求，其中，当光学镜片与支撑单元之间相互挤压的应力小于容许值，那么可避免光学镜片崩边，实际中可以通过设置支撑单元及其对应的间隙结构调整支撑单元的变形量来避免光学镜片崩边，在环境温度恢复后，支撑单元也能够沿径向向内变形恢复原位；同时，支撑单元吸收光学镜片的热应力而产生形变，也改善了座本体的应变，使其在光学系统中的位置变化和应力减小，进一步保证了光路的准确
性。
[0028]可以理解，实际应用时，在光学镜片受冷收缩时，支撑单元也能够沿径向向内收缩。
[0029]需要说明的是，本文中的“多个”指的是两个以上，实际设置时根据应用需求来定。
[0030]实际应用中，支撑座的支撑单元有多种结构形式，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步的详细说明。
[0031]需要指出的是，下文涉及的“第一”和“第二”是为了区分不同实施例中起到同样作用的结构，不表示先后顺序和主次之分；同时，文中涉及的方位词“内”指的是相对靠近支撑座中心(即通孔部中心)的方向，“外”指的是相对远离支撑座中心的方向。
[0032]请参考图1和图2，图1为本技术所提供光学镜片的支撑座的第一实施例的结构示意图；图2为图1所示支撑座安装光学镜片后的俯视图。
[0033]该实施例中，第一支撑座10的第一座本体11呈具有一定厚度(该厚度具体可根据光学镜片在光学系统中的安装需求来定)的圆柱形结构，其中部具有第一通孔部111，用以容纳光学镜片20。
[0034]第一支撑单元12包括呈弧形的第一支撑臂121，该第一支撑臂121的一端与第一座本体11固接，另一端悬空，即第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学镜片的支撑座，包括刚性的座本体，所述座本体具有用于容纳光学镜片的通孔部，其特征在于，还包括一个或多个支撑单元，所述支撑单元用于与所述光学镜片的侧壁固定连接；沿所述通孔部的径向方向，所述座本体在所述支撑单元对应位置的外侧形成有间隙结构，以使所述支撑单元具有沿径向形变的空间。2.根据权利要求1所述的光学镜片的支撑座，其特征在于，所述支撑单元包括呈弧形的支撑臂，所述支撑臂的一端与所述座本体固接，所述支撑臂的另一端悬空，所述支撑臂的悬空端用于与所述光学镜片的侧壁固定连接。3.根据权利要求2所述的光学镜片的支撑座，其特征在于，所述支撑单元还包括设于所述支撑臂悬空端的向所述通孔部方向凸起的凸台，所述支撑臂通过所述凸台与所述光学镜片的侧壁固定连接。4.根据权利要求2所述的光学镜片的支撑座，其特征在于，所述间隙结构为位于所述支撑臂远离所述通孔部一侧的弧形沟槽，所述弧形沟槽的弧长大于或等于所述支撑臂的弧长。5.根据权利要求4所述的光学镜片的支撑座，其特征在于，所述弧形沟槽包括沿周向延伸的弧形槽底壁和沿径向延伸的槽端壁，所述支撑臂的悬空端与所述弧形沟槽的靠近所述支撑臂悬空端的所述槽端壁之间具有设定...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨乐，王秋实，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：