一种用于离子源零部件的阴极衬垫零点系统快换装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于离子源零部件的阴极衬垫零点系统快换装置，属于装夹设备领域，包括安装箱、重复定位盘和夹具座，所述安装箱的顶部设置有夹具座，所述安装箱和夹具座之间通过重复定位盘相连接，所述安装箱的一侧上部设有控制座，所述控制座的下方分别设有增力气管接口和泄力气管接口，所述夹具座上设有凹槽一，所述凹槽一的两侧顶部均设有第一压板，所述夹具座的左右两侧壁上均安装有施力手柄，所述凹槽一的一端设有挡板，所述安装箱远离挡板的侧壁上设有第二压板，本实用新型专利技术中装夹方式变得快捷，重复定位变得精准，做到了预先装夹，节约了生产准备时间，提高了生产能力。提高了生产能力。提高了生产能力。

【技术实现步骤摘要】
一种用于离子源零部件的阴极衬垫零点系统快换装置


[0001]本技术涉及装夹设备领域，具体是涉及一种用于离子源零部件的阴极衬垫零点系统快换装置。

技术介绍

[0002]离子注入机的一个重要组件是离子源，离子源所生成的等离子体的质量和生成速度将直接影响整个工艺的质量和速度。需要对离子源零部件部件进行加工，现有加工装置的加工过程：1、使用平口钳装夹10件零件，然后使用百分表校准基准面，完成后用502胶水把零件粘牢固；2、把黏牢固的零件安装到加工机床上，再次使用百分表校准基准面，校准后开始加工，缺点：1、装夹繁琐，容易出现装夹误差，影响加工精度；2、装夹消耗的时间极长，效率低下；3、受装夹方式的影响，一次装夹的数量少，影响生产能力。
[0003]因此，需要提供一种用于离子源零部件的阴极衬垫零点系统快换装置，旨在解决上述问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的不足，本技术实施例的目的在于提供一种用于离子源零部件的阴极衬垫零点系统快换装置，以解决上述
技术介绍
中的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种用于离子源零部件的阴极衬垫零点系统快换装置，包括安装箱、重复定位盘和夹具座，所述安装箱的顶部设置有夹具座，所述安装箱和夹具座之间通过重复定位盘相连接，所述安装箱的一侧上部设有控制座，所述控制座的下方分别设有增力气管接口和泄力气管接口，所述夹具座安装在重复定位盘上，所述夹具座上设有凹槽一，所述凹槽一的两侧顶部均设有第一压板，所述夹具座的左右两侧壁上均安装有施力手柄，所述凹槽一的一端设有挡板，所述安装箱远离挡板的侧壁上设有第二压板。
[0007]作为本技术进一步的方案，所述第一压板的截面形状为L型，所述第一压板上均匀设有安装孔一，所述凹槽一的顶部两侧均匀设有螺孔二，所述螺孔二设置在夹具座的顶部，所述安装孔一的位置与螺孔二的位置相对应，所述第一压板通过螺栓一固定安装在夹具座上。
[0008]作为本技术进一步的方案，所述第二压板包括压板下部和压板上部，所述压板下部上设有外螺纹，所述夹具座的一侧顶部设有螺孔三，所述螺孔三的数量为两个，两个所述螺孔三分别设置在凹槽一的两侧，所述第二压板通过压板下部和螺孔三安装在夹具座上。
[0009]作为本技术进一步的方案，所述施力手柄的数量为两个，两个所述施力手柄的底部均设有安装杆，所述夹具座的侧壁中部设有螺孔一，两个所述施力手柄通过安装杆和螺孔一安装在夹具座上。
[0010]作为本技术进一步的方案，所述凹槽一的底部两侧均设有凹槽二，所述凹槽
一为矩形凹槽，所述凹槽二为弧形凹槽，所述挡板的形状与凹槽一的形状相同，所述挡板的底部两端均设有凸块，所述凸块的形状为弧形，所述凸块的大小和形状与凹槽二的大小和形状相同；所述控制座上设置有控制阀门，所述控制阀门与重复定位盘之间电性连接。
[0011]综上所述，本技术实施例与现有技术相比具有以下有益效果：
[0012]本技术中装夹方式变得快捷，重复定位变得精准；做到了预先装夹，节约了生产准备时间；提高了生产能力。
[0013]为更清楚地阐述本技术的结构特征和功效，下面结合附图与具体实施例来对本技术进行详细说明。
附图说明
[0014]图1为本技术实施例的整体结构示意图。
[0015]图2为本技术实施例中的第一压板结构示意图。
[0016]图3为本技术实施例中的第二压板结构示意图。
[0017]图4为本技术实施例中的施力手柄结构示意图。
[0018]图5为本技术实施例中夹具座的结构示意图。
[0019]附图标记：1
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安装箱、2
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重复定位盘、3
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夹具座、301
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螺孔一、302
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凹槽一、303
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凹槽二、304
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螺孔二、305
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挡板、306
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螺孔三、4
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第一压板、401
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安装孔一、5
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第二压板、501
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压板下部、502
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压板上部、6
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施力手柄、601
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安装杆、7
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控制座、701
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控制阀门、8
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增力气管接口、9
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泄力气管接口。
具体实施方式
[0020]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0021]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“中部”、“一侧”、“顶部”、“顶端”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0022]此外，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”、“第四”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征；术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是拆卸连接或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接连接，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0023]以下结合具体实施例对本技术的具体实现进行详细描述。
[0024]实施例1
[0025]参见图1～图5，一种用于离子源零部件的阴极衬垫零点系统快换装置，包括安装
箱1、重复定位盘2、夹具座3、第一压板4、第二压板5、施力手柄6和控制座7。
[0026]所述安装箱1的顶部设置有夹具座3，所述安装箱1和夹具座3之间通过重复定位盘2相连接，所述安装箱1的一侧上部设有控制座7，所述控制座7的下方分别设有增力气管接口8和泄力气管接口9，所述夹具座3安装在重复定位盘2上，所述夹具座3上设有凹槽一302，所述凹槽一302的两侧顶部均设有第一压板4，所述夹具座3的左右两侧壁上均安装有施力手柄6，所述凹槽一302的一端设有挡板305，所述安装箱1远离挡板305的侧壁上设有第二压板5。
[0027]所述第一压板4的截面形状为L型，所述第一压板4上均匀设有安装孔一401，所述凹槽一302的顶部两侧均匀设有螺孔二30本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于离子源零部件的阴极衬垫零点系统快换装置，包括安装箱(1)、重复定位盘(2)和夹具座(3)，其特征在于，所述安装箱(1)的顶部设置有夹具座(3)，所述安装箱(1)和夹具座(3)之间通过重复定位盘(2)相连接，所述安装箱(1)的一侧上部设有控制座(7)，所述控制座(7)的下方分别设有增力气管接口(8)和泄力气管接口(9)，所述夹具座(3)安装在重复定位盘(2)上，所述夹具座(3)上设有凹槽一(302)，所述凹槽一(302)的两侧顶部均设有第一压板(4)，所述夹具座(3)的左右两侧壁上均安装有施力手柄(6)，所述凹槽一(302)的一端设有挡板(305)，所述安装箱(1)远离挡板(305)的侧壁上设有第二压板(5)。2.根据权利要求1所述的一种用于离子源零部件的阴极衬垫零点系统快换装置，其特征在于，所述第一压板(4)的截面形状为L型，所述第一压板(4)上均匀设有安装孔一(401)，所述凹槽一(302)的顶部两侧均匀设有螺孔二(304)，所述螺孔二(304)设置在夹具座(3)的顶部，所述安装孔一(401)的位置与螺孔二(304)的位置相对应。3.根据权利要求1所述的一种用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶志强，顾施凯，李琨宇，
申请(专利权)人：上海西普瀚芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：