磁盘用滑翔头制造技术

本发明专利技术公开一种磁盘用滑翔头，该磁盘用滑翔头将磁盘缺陷产生的振动按良好的效率传递到压电元件等，灵敏度高，耐磨性好，寿命长。该滑翔头具有滑块，该滑块通过挠性构件弹性地安装于悬臂前端，同时，由设于挠性构件的支点部将来自悬臂的推压力施加到负荷点。滑块具有２条滑轨，该２条滑轨从下面突出，并且从滑块前端到后端平行地延伸，在滑块后端附近具有检测磁盘缺陷的后端。各滑轨使浮起倾角为１４０～３８０μｒａｄ．地具有处于从滑块前端到负荷点的区域的上游浮起面和处于从负荷点到滑块后端的区域的下游浮起面。上游浮起面长度按浮起面全长对比表示时最好为０．６７～０．９１。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于磁盘的制造检查等的滑翔头(グライドベツド)。
技术介绍
用于硬盘装置的磁盘使用圆盘状的玻璃或铝等非磁性材料基板。在非磁性材料基板的表面形成磁性膜和主要由碳构成的保护膜，在其上涂覆氟碳化合物系的润滑剂。这样制作的磁盘与磁头组合，用作记录或再生信息的记录装置。磁盘用滑翔头(以下有时也简单地称为滑翔头)作为用于检测发生于该磁盘的表面的微小的突起或异物等(以后称缺陷)的传感器，在磁盘的检查工序中使用。滑翔头多种得到了实用化，但搭载了压电元件的滑翔头和在头外部安装了AE(声发射)传感器的滑翔头为主流。压电元件方式和AE方式仅是将振动变换成电压的方式不同，该振动在滑翔头的滑块碰撞到发生于磁盘表面的微小缺陷时产生，所以，在该说明书中，按压电元件方式进行滑翔头的说明。将压电元件搭载于滑块的滑翔头记载于专利文献1。附图说明图15用透视图示出将压电元件搭载于滑块的、记载于专利文献1的滑翔头。滑块10具有一对滑轨30。在滑块10的侧面设置伸出部分12，在伸出部分12的滑块背面安装压电元件40。压电元件40的输出电压由导线42从构成压电元件的晶体的分极方向的两端取出，通过设于悬臂50的绝缘性管52内输出到外部。以后，为了容易理解说明，相同部件和部位采用相同符号。下面，使用图16简单地说明滑翔头的动作原理。在滑块10的背面安装设于悬臂50的挠性构件60。将形成于挠性构件60的支点部65的顶点推压于滑块背面，从悬臂50对滑块10施加负荷，将滑块推压于磁盘70。以支点部65为支点，滑块10可轻微地朝上下左右移动。支点部65对滑块施加负荷的位置成为负荷点。在图16中，省略了压电元件和导线等。滑块10由随着磁盘70的回转产生的空气流(在图16中用箭头示出)的作用浮起。空气从滑块的前端朝后端流动。滑翔头的浮起高度h由各种因素决定，但主要根据空气的流速、滑块的滑轨宽度、负荷决定。轨宽和负荷根据滑翔头的构造决定，所以，按由磁盘70的转速和磁盘上的滑翔头位置(磁盘上的半径位置)决定的线速度确定滑翔头的浮起高度。使线速度在磁盘面内成为一定地在磁盘上相应于滑翔头的位置改变磁盘回转速度，可使滑翔头从磁盘70浮起一定的高度。一般滑翔头为了在磁盘面内为一定条件，即，浮起高度h在磁盘面内为一定，而且缺陷与滑翔头碰撞时发生的能量一致(缺陷与滑翔头的相对速度为一定)，使线速度在磁盘面内为一定。另外，为了在磁盘面内使浮起高度与飞行时的姿势在磁盘面内为一定，滑翔头的滑块在磁盘上的所有位置，都使相对滑块飞行的磁盘上的圆的切线的、滑块前进的方向(YAW角)为一定，通常按0°进行飞翔高度试验。当滑块10与磁盘70上的缺陷72接触或碰撞时，由碰撞发生的振动经滑块10传递，使压电元件40产生振动变形。由于在压电元件40的电极感应起电荷，所以，可从导线42取出电极间电压，检测缺陷72。当具有预定浮起高度h的滑块10在磁盘的上面上移动时，滑块10接触(碰撞)到比浮起高度h高的缺陷72。如得知此时发生的压电元件的电压和磁盘的位置，则可检测处于磁盘表面的规格外的缺陷。对于按这样的原理动作的滑翔头，一般在空气流入槽的两侧突出形成2条产生正的浮起压力的滑轨。由于使用2条滑轨，所以，可稳定地保持飞行时的姿势。近年的磁盘装置的高容量化和小型化即高记录密度化按猛烈的势头发展。为了提高记录密度，记录位的宽度和长度不断减小，与此相随，磁头的窄磁道宽度化和磁隙的窄间隙化得到进展。另外，为了使磁头沿磁盘径向高速移动，磁头滑块也小型化。为了提高记录密度，要求小于等于12nm的磁盘与磁头的间隙，即磁头滑块的浮起高度h。当磁头在磁盘上浮起、进行信息的记录、再生时，如在磁盘表面存在比磁头的滑块的浮起高度大的缺陷，则滑块与磁盘发生碰撞，不能进行正确的信息的记录、再生。另外，也成为引起数据的破损、磁盘装置的故障的原因。为此，磁盘表面的缺陷需要比磁头的滑块的浮起高度低。随着滑块的浮起高度的极小化，由磁盘的缺陷容许的高度存在越来越低的倾向，其高度要求小于等于9nm。为了降低滑翔头的浮起高度，如线速度相同，则可通过减小滑块的滑轨宽度或增大负荷而实现。当增大负荷时，滑块从磁盘表面浮起很费时间，另外，磁盘受伤的危险增大，所以，并不太理想。另外，当不改变负荷点地增大负荷时，滑块的倾角变小，所以，导致滑翔头的灵敏度下降，不理想。为了不改变负荷地降低浮起高度，减小发生浮力的轨的宽度有效。然而，当减小轨宽、降低浮起高度时，由于决定浮起高度h的轨的后端也为缺陷检测部，所以，进行缺陷检测的部分的宽度减小。为了检查磁盘表面的整个面，每当滑翔头停止于磁盘的某一半径位置进行检查时，至少按轨宽间隔使滑翔头朝磁盘的径向移动，这样的动作反复进行，对磁盘进行全面检查，所以，存在检查很费时间的问题。使滑翔头朝磁盘的径向的移动宽度一般比缺陷检测轨宽小，由同一轨进行多次在磁盘的某一半径位置的缺陷检测，进一步提高缺陷检测的精度。为此，当轨宽小时，检查时间变长，检查所需成本高。为了确实地检测磁盘上的高度低的缺陷，需要对与缺陷的碰撞敏感地产生反应的高灵敏度滑翔头。这是因为，当必须检测的缺陷的高度低时，一般该缺陷的体积减少，缺陷与滑翔头滑块的碰撞发生的振动变小。为了提高滑翔头的缺陷检测灵敏度，需要提高将缺陷与滑翔头滑块碰撞时的力变换成滑块的振动的效率。磁盘装置不仅用于计算机，随着在电视等的录像、复印机等广泛的领域得到使用，对数量的增加和价格的下降的要求增强。为了满足这样的要求，除了磁盘本身的制造技术和制造工序等的讨论外，还要求检查工序的高效率化。在作为检查工序之一的滑翔高度检查中，用于该检查的滑翔头的长寿命化最为重要。通过滑翔头的长寿命化，即增加可由1个滑翔头检查的磁盘的张数，从而可减少滑翔头自身的使用量。另外，滑翔高度检查器的滑翔头的更换很费时间，其间不能进行盘的检查。通过使滑翔头长寿命化，减少滑翔头的使用量，减少滑翔头的更换频度，从而可使检查器的运行时间变长，可降低磁盘的制造成本和增加产量。滑翔头的寿命根据输出电压的值判定。在将滑翔头用于磁盘的检查之前，使用具有基准的缺陷高度的隆起盘(バンプディスク)测定输出电压V0。当进行预先确定的张数的磁盘检查时，为了确认测定精度，使用隆起盘测定滑翔头的输出电压V1。例如，当V1与V0基本上没有差别时，可判断该滑翔头还可使用，并且检查的磁盘正常地受到检查。一旦V1下降到V0的60％的值，则判断为滑翔头的更换时间，达到了寿命，并判断此前检查的磁盘正常地受到检查。如V1达到V0的30％的值，则判断不仅需要更换滑翔头，而且在滑翔头存在异常，对已检查的磁盘进行再检查。对这些V1的值、是否实施再检查的判断由滑翔头的使用者进行。也可按V1的值替代V1与V0的比例来决定寿命。滑翔头的输出下降的原因可认为是压电元件本身的劣化和滑块的磨损导致的浮起高度的变化。对达到寿命而更换的大量的滑翔头进行调查时发现，其原因绝大多数是滑块的磨损产生的浮起高度的变化。因此，为了获得长寿命的滑翔头，需要获得高耐磨性的滑翔头。专利文献1日本特开平11-16163号公报专利技术的公开专利技术要解决的问题本专利技术的目的在于提供一种磁盘用滑翔头，该磁盘用滑翔头可将滑翔头与磁盘的缺陷碰撞时发生的振动按良好的效率传递到压电元件，其灵敏本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁盘用滑翔头，其特征在于，具有悬臂和滑块；该滑块通过挠性构件将滑块背面弹性地安装于悬臂前端，同时，由设于挠性构件的支点部将来自悬臂的推压力施加到滑块背面的负荷点；该滑块具有２条滑轨、变换器、及负荷点；该２条滑轨在与背面相反的下面从下面突出，并且从滑块前端到滑块后端隔开间隔平行地延伸，在滑块后端附近具有作为与磁盘上的缺陷遭遇的传感器起作用的后端；该变换器安装于背面，将由缺陷产生的机械能变换成电信号；该负荷点处于２条滑轨间的实际中央线上；各滑轨使滑块的浮起倾角为１４０～３８０μｒａｄ．地具有处于从滑块前端到负荷点的区域的上游浮起面和处于从负荷点到滑块后端的区域的下游浮起面。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2004-9-9 261947/2004;JP 2004-9-17 270969/20041.一种磁盘用滑翔头，其特征在于，具有悬臂和滑块；该滑块通过挠性构件将滑块背面弹性地安装于悬臂前端，同时，由设于挠性构件的支点部将来自悬臂的推压力施加到滑块背面的负荷点；该滑块具有2条滑轨、变换器、及负荷点；该2条滑轨在与背面相反的下面从下面突出，并且从滑块前端到滑块后端隔开间隔平行地延伸，在滑块后端附近具有作为与磁盘上的缺陷遭遇的传感器起作用的后端；该变换器安装于背面，将由缺陷产生的机械能变换成电信号；该负荷点处于2条滑轨间的实际中央线上；各滑轨使滑块的浮起倾角为140～380μrad.地具有处于从滑块前端到负荷点的区域的上游浮起面和处于从负荷点到滑块后端的区域...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤毅志，松井进，古市真治，
申请(专利权)人：日立金属株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]