一种光刻机掩模刀口移动装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种光刻机掩模刀口移动装置，包括安装板、密封块、连接槽、限位块、连接座，所述安装板的内部开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述滑块的外侧固定安装有固定块，所述固定块与安装板固定连接，所述滑块的内部开设有螺纹槽，所述螺纹槽的内部通过螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆为双向螺纹，所述安装板的外侧固定安装有固定座，所述固定座的内部开设有固定槽，所述固定槽的内部滑动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外侧固定安装有固定环，所述固定环与固定座接触。本发明专利技术涉及一种光刻机掩模刀口移动装置，具有移动更加精准以及摩擦力更小的特点。以及摩擦力更小的特点。以及摩擦力更小的特点。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机掩模刀口移动装置


[0001]本专利技术属于预成型焊片生产
，具体为一种光刻机掩模刀口移动装置。

技术介绍

[0002]光刻机(Mask Aligner)又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，在光刻机中常常需要对掩模板上不同的位置或不同的形状区域进行均匀照明，这样可提高照明均匀性及生产加工的灵活性，更重要的是大大提高了光刻质量。但是目前刀口移动装置存在一些问题：1、刀片夹的移动通常是通过机械运动带动其移动，机械移动时会产生一定的晃动力，导致移动不精准；2、移动过程会产生摩擦力，摩擦力较大会影响装置使用寿命，且摩擦力也会对刀口的移动精确度造成影响。因此，需要设计一种用于预成型焊片生产的纳米雾化喷涂装置。

技术实现思路
：
[0003]本专利技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种光刻机掩模刀口移动装置，解决了
技术介绍
中提到的问题。
[0004]为了解决上述问题，本专利技术提供了一种技术方案：
[0005]一种光刻机掩模刀口移动装置，包括安装板、密封块、连接槽、限位块、连接座，所述安装板的内部开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述滑块的外侧固定安装有固定块，所述固定块与安装板固定连接，所述滑块的内部开设有螺纹槽，所述螺纹槽的内部通过螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆为双向螺纹，所述安装板的外侧固定安装有固定座，所述固定座的内部开设有固定槽，所述固定槽的内部滑动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外侧固定安装有固定环，所述固定环与固定座接触，所述滑块的外侧固定安装有滑套，所述滑套的内部设置有滚珠，所述滚珠的外侧滑动连接有滑杆。
[0006]作为优选，所述滑杆的外侧接触连接有密封块，所述密封块为一种橡胶材质制成，所述密封块的内部开设有凹槽，所述凹槽的内部卡接有凸块，所述凸块的外侧固定连接有滑套，所述滑杆的外侧固定安装有定位块，所述定位块与安装板固定连接，所述滑套的外侧固定安装有第一刀片夹，所述第一刀片夹的内部开设有定位槽，所述定位槽的内部滑动连接有第二刀片夹，所述第二刀片夹的外侧固定安装有限位块，所述限位块的外侧固定安装有连接环，所述连接环与安装板接触。
[0007]作为优选，所述限位块的外侧固定安装有限位座，所述限位座的内部铰接有限位杆，所述限位杆的外侧固定安装有上铰接座，所述上铰接座的内部铰接有铰接杆，所述铰接杆的外侧铰接有下铰接座，所述安装板的外侧固定安装有固定板，所述固定板的内部开设有连接槽，所述连接槽的内部滑动连接有连接块，所述连接块的内部滑动连接有连接杆，所述连接杆与固定板固定连接，所述连接杆的外侧套接有弹簧，所述弹簧与连接块接触。
[0008]作为优选，所述安装板的外侧固定安装有气缸，所述气缸的驱动杆的外侧接触连
接有限位杆，所述限位杆为一种橡胶材质制成，所述限位杆的数量为两个，所述限位杆与另一限位杆铰接，所述安装板的外侧固定安装有电机，所述电机的转轴的外侧套接有连接座，所述连接座的外侧固定安装有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮上啮合有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮的内部固定套接有连接套，所述连接套固定套接于螺纹杆的外侧。
[0009]作为优选，所述安装板的内部开设有通孔，所述通孔的内部滑动连接有限位块。
[0010]作为优选，所述连接座的外侧通过螺纹连接有限位螺钉，所述限位螺钉的尾端与转轴卡接。
[0011]作为优选，所述连接槽的数量为两个，两个所述连接槽的内部都滑动连接有连接块。
[0012]作为优选，所述密封块的数量为四个，四个所述密封块在滑套内均匀分布。
[0013]本专利技术的有益效果是：本专利技术涉及一种光刻机掩模刀口移动装置，具有移动更加精准以及摩擦力更小的特点，在具体的使用中，与传统的光刻机掩模刀口移动装置相比较而言，本光刻机掩模刀口移动装置具有以下两个有益效果：
[0014]首先，通过设计电机可带动螺纹杆的移动，通过螺纹杆和滑块的螺纹连接，使得滑块可带动两个第一刀片夹朝相反方向移动，且气缸可带动第二刀片夹朝相反方向移动，从而到达改变刀口面积的效果，且通过滑套和滑杆的滑动连接，可对第一刀片夹的移动起到导向效果，使得第一刀片夹的移动更加精准；
[0015]其次，通过设计滚珠和滑杆的滑动连接，使得滚珠可减小与滑杆相对移动产生的摩擦力，使得滑套的移动更加精准，且通过密封块的作用，可防止灰尘进入滑套内，通过凸块和凹槽的卡接，使得密封块方便进行拆卸，便于向滚珠添加润滑油，可进一步减小滚珠摩擦力，提高移动精确度。
附图说明：
[0016]为了易于说明，本专利技术由下述的具体实施及附图作以详细描述。
[0017]图1为本专利技术的整体结构示意图；
[0018]图2为本专利技术图1的滑块结构左视图；
[0019]图3为本专利技术图1的滑杆结构左视图；
[0020]图4为本专利技术图1的限位块结构左视图；
[0021]图5为本专利技术图1的固定板结构左视图；
[0022]图6为本专利技术图1的A部结构放大图；
[0023]图7为本专利技术图1的B部结构放大图；
[0024]图8为本专利技术图1的C部结构放大图。
[0025]图中：1、安装板；2、滑槽；3、滑块；4、固定块；5、螺纹槽；6、螺纹杆；7、固定座；8、固定环；9、固定槽；10、滑套；11、滚珠；12、凸块；13、密封块；14、凹槽；15、第一刀片夹；16、滑杆；17、定位块；18、定位槽；19、第二刀片夹；20、限位块；21、限位座；22、限位杆；23、上铰接座；24、铰接杆；25、下铰接座；26、固定板；27、连接槽；28、连接块；29、弹簧；30、通孔；31、连接环；32、电机；33、转轴；34、连接座；35、限位螺钉；36、第一锥齿轮；37、第二锥齿轮；38、连接套；39、连接杆；40、气缸；41、驱动杆。
具体实施方式：
[0026]如图1
‑
8所示，本具体实施方式采用以下技术方案：
[0027]实施例：
[0028]一种光刻机掩模刀口移动装置，包括安装板1、密封块13、连接槽27、限位块20、连接座34，所述安装板1的内部开设有滑槽2，所述滑槽2的内部滑动连接有滑块3，所述滑块3的外侧固定安装有固定块4，所述固定块4与安装板1固定连接，所述滑块3的内部开设有螺纹槽5，所述螺纹槽5的内部通过螺纹连接有螺纹杆6，所述螺纹杆6为双向螺纹，所述安装板1的外侧固定安装有固定座7，所述固定座7的内部开设有固定槽9，所述固定槽9的内部滑动连接有螺纹杆6，所述螺纹杆6的外侧固定安装有固定环8，所述固定环8与固定座7接触，所述滑块3的外侧固定安装有滑套10，所述滑套10的内部设置有滚珠11，所述滚珠11的外侧滑动连接有滑杆16。
[0029]其中，所述滑杆16的外侧接触连接有密封块13，所述密封块13为一种橡胶材质制成，所述密封块13的内部开设有凹槽14，所述凹槽14的内部卡接有凸块12本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机掩模刀口移动装置，包括安装板(1)、密封块(13)、连接槽(27)、限位块(20)、连接座(34)，其特征在于：所述安装板(1)的内部开设有滑槽(2)，所述滑槽(2)的内部滑动连接有滑块(3)，所述滑块(3)的外侧固定安装有固定块(4)，所述固定块(4)与安装板(1)固定连接，所述滑块(3)的内部开设有螺纹槽(5)，所述螺纹槽(5)的内部通过螺纹连接有螺纹杆(6)，所述螺纹杆(6)为双向螺纹，所述安装板(1)的外侧固定安装有固定座(7)，所述固定座(7)的内部开设有固定槽(9)，所述固定槽(9)的内部滑动连接有螺纹杆(6)，所述螺纹杆(6)的外侧固定安装有固定环(8)，所述固定环(8)与固定座(7)接触，所述滑块(3)的外侧固定安装有滑套(10)，所述滑套(10)的内部设置有滚珠(11)，所述滚珠(11)的外侧滑动连接有滑杆(16)。2.根据权利要求1所述的一种光刻机掩模刀口移动装置，其特征在于：所述滑杆(16)的外侧接触连接有密封块(13)，所述密封块(13)为一种橡胶材质制成，所述密封块(13)的内部开设有凹槽(14)，所述凹槽(14)的内部卡接有凸块(12)，所述凸块(12)的外侧固定连接有滑套(10)，所述滑杆(16)的外侧固定安装有定位块(17)，所述定位块(17)与安装板(1)固定连接，所述滑套(10)的外侧固定安装有第一刀片夹(15)，所述第一刀片夹(15)的内部开设有定位槽(18)，所述定位槽(18)的内部滑动连接有第二刀片夹(19)，所述第二刀片夹(19)的外侧固定安装有限位块(20)，所述限位块(20)的外侧固定安装有连接环(31)，所述连接环(31)与安装板(1)接触。3.根据权利要求2所述的一种光刻机掩模刀口移动装置，其特征在于：所述限位块(20)的外侧固定安装有限位座(21)，所述限位座(21)的内部铰接有限位杆(22)，所述限位杆(22)的外侧固定安装有上铰接座(23)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑霞，
申请(专利权)人：郑霞，
类型：发明
国别省市：