搬送车系统技术方案

【课题】即使在相邻的移载场所的端口间距比空中搬送车在延伸方向上的全长小时，空中搬送车也可对相邻的移载场所同时或同时期地进行物品的移载。【解决方案】在搬送车系统(SYS1)中，空中搬送车(30)具备主体部(32)、保持部(33)、升降驱动部(34)和横向送出机构(35)，端口间距(P)比空中搬送车(30)在延伸方向(D)上的全长(VL)小，停止于第一位置(P1)的空中搬送车(30A)中的通过利用横向送出机构(35A)向横向移动的升降驱动部(34)而升降的第一部分(38A)、与停止于第二位置(P2)的空中搬送车(30B)中的通过横向送出机构(35B)的驱动而向横向移动的第二部分(39B)在延伸方向(D)上错开，其中所述第一位置是在第一轨道(10)上用于向第一移载场所(S1)移载物品(W)的位置，所述第二位置是在第二轨道(20)上用于向第二移载场所(S2)移载物品(W)的位置。场所(S2)移载物品(W)的位置。场所(S2)移载物品(W)的位置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】搬送车系统


[0001]本专利技术涉及搬送车系统。

技术介绍

[0002]搬送车系统应用于半导体制造工厂等。搬送车系统通过空中搬送车来搬送容纳半导体晶圆的FOUP或容纳标线片的标线片盒等物品，并对处理装置的装载口等移载场所进行物品的移载。在这种搬送车系统中，移载场所沿着空中搬送车所行进的轨道的延伸方向配置有多个。空中搬送车沿着轨道行进，通过在停止于与移载场所对应的位置之后使保持物品的保持部升降来进行物品相对于移载场所的移载。另外，为了提高物品的搬送效率，提出了一种将轨道铺设成上下两层、并从在各轨道行进的空中搬送车对移载场所进行物品的移载的结构(例如参照专利文献1)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：国际公布第2017/029871号

技术实现思路

[0006]在搬送车系统中，若能对相邻的移载场所同时或同时期地移载物品，则能够进一步提高物品的搬送效率。在此，当在同一轨道上从两台空中搬送车对相邻的移载场所同时移载物品时，若相邻的移载场所的配置间隔即端口间距比空中搬送车在延伸方向上的全长小，则两台空中搬送车无法同时停止于与相邻的移载场所分别对应的位置，从而无法同时或同时期地移载物品。
[0007]本专利技术的目的在于提供一种搬送车系统，即使在相邻的移载场所的端口间距比空中搬送车在延伸方向上的全长小时，空中搬送车也能够对相邻的移载场所同时或同时期地进行物品的移载。
[0008]本专利技术的方式的搬送车系统具备：第一轨道；第二轨道，该第二轨道设于第一轨道的下方，且沿与该第一轨道共通的延伸方向延伸；和空中搬送车，该空中搬送车在第一轨道及第二轨道行进，并向在延伸方向上相邻的第一移载场所及第二移载场所移载物品，在该搬送车系统中，空中搬送车具备主体部、保持物品的保持部、使保持部升降的升降驱动部、和使升降驱动部从主体部向横向移动的横向送出机构，第一移载场所与第二移载场所的配置间隔即端口间距比空中搬送车在延伸方向上的全长小，停止于第一位置的空中搬送车中的通过利用横向送出机构向横向移动的升降驱动部而升降的第一部分、与停止于第二位置的空中搬送车中的通过横向送出机构的驱动而向横向移动的第二部分在延伸方向上错开，其中，所述第一位置是在第一轨道上用于向第一移载场所移载物品的位置，所述第二位置是在第二轨道上用于向第二移载场所移载物品的位置。
[0009]另外，也可以是，第一部分包含被保持部保持的物品。另外，也可以是，在俯视时，第一部分收进第二部分的外缘的内侧。另外，也可以是，空中搬送车具备在横向送出机构使
升降驱动部向横向移动时一起向横向移动的附属部，附属部包含于第二部分。另外，也可以是，在延伸方向上，停止于第一位置的空中搬送车中的第二部分的范围与停止于第二位置的空中搬送车中的第二部分的范围一部分重叠。
[0010]专利技术效果
[0011]根据上述搬送车系统，当第一轨道的空中搬送车和第二轨道的空中搬送车对端口间距比空中搬送车在延伸方向上的全长小的第一移载场所及第二移载场所同时或同时期地移载物品时，由于在延伸方向上第一轨道的空中搬送车中的第一部分与第二轨道的空中搬送车中的第二部分错开，所以能够防止空中搬送车彼此的干涉、即第一轨道的空中搬送车的第一部分与第二轨道的空中搬送车的第二部分的干涉。其结果是，空中搬送车能够对相邻的第一移载场所及第二移载场所同时或同时期地移载物品，从而能够提高物品的搬送效率。
[0012]另外，在第一部分包含被保持部保持的物品的结构中，能够防止被保持部保持的物品与第二轨道的空中搬送车的第二部分干涉。另外，在当俯视时第一部分收进第二部分的外缘的内侧的结构中，由于在俯视时第一部分不会从第二部分伸出，所以空中搬送车能够对如第一轨道的空中搬送车的第二部分与第二轨道的空中搬送车的第二部分在俯视时邻接或一部分重叠那样的端口间距的第一移载场所及第二移载场所同时或同时期地移载物品。另外，在空中搬送车具备在横向送出机构使升降驱动部向横向移动时一起向横向移动的附属部、且附属部包含于第二部分的结构中，通过将向横向移动的附属部也包含在内而设定第二部分，能够可靠地防止第一轨道的空中搬送车中的第一部分与第二轨道的空中搬送车中的第二部分干涉。另外，在延伸方向上，停止于第一位置的空中搬送车中的第二部分的范围与停止于第二位置的空中搬送车中的第二部分的范围一部分重叠，在这种结构中，第一轨道的空中搬送车及第二轨道的空中搬送车能够对端口间距比第二部分的尺寸小的第一移载场所及第二移载场所同时或同时期地移载物品。
附图说明
[0013]图1是在Y方向上观察第一实施方式的搬送车系统的一例的图。
[0014]图2是表示空中搬送车的一例的图。
[0015]图3是表示第一轨道及第二轨道与移载场所的位置关系的一例的俯视图。
[0016]图4是表示对移载场所移载物品的一例的图。
[0017]图5是表示停止于第一位置及第二位置的空中搬送车的一例的俯视图。
[0018]图6是在Y方向上观察第二实施方式的搬送车系统的一例的图。
[0019]图7是表示在第二实施方式的搬送车系统中停止于第一位置及第二位置的空中搬送车的一例的图。
具体实施方式
[0020]以下，参照附图对实施方式进行说明。但是，本专利技术并不限定于该实施方式。另外，在附图中，为了说明实施方式而将一部分放大或强调进行记载等适当变更比例尺来表达。在以下各图中，使用XYZ坐标系来说明图中的方向。在该XYZ坐标系中，将铅垂方向作为Z方向，并将水平方向作为X方向、Y方向。X方向是水平方向内的一个方向，且是沿着后述的第一
轨道及第二轨道的延伸方向D。Y方向是与X方向正交的方向。另外，关于X、Y、Z方向的各方向，适当将箭头所指方向表达为+方向(例如+X方向)，并将其相反方向表达为－方向(例如－X方向)。在以下实施方式中，将空中搬送车30的行进方向作为X方向进行说明，并将横向作为Y方向进行说明。需要说明的是，空中搬送车30的行进方向(X方向)是任意方向。
[0021][第一实施方式][0022]图1是在Y方向上观察第一实施方式的搬送车系统SYS1的一例的图。图1所示的搬送车系统SYS1例如设于半导体器件的制造工厂等，对容纳有标线片等的标线片盒或容纳有用于制造半导体器件的半导体晶圆的FOUP等物品W进行搬送。搬送车系统SYS1通过空中搬送车30在与能够载置物品W的移载场所(例如后述的第一移载场所S1等)之间搬送物品W。在本实施方式中，使用物品W为标线片盒的例子进行说明，但物品W也可以是标线片盒以外的物品。另外，搬送车系统SYS1也能够应用于半导体制造领域以外的设备，物品W也可以是能够用搬送车系统SYS1保管的其它物品。
[0023]搬送车系统SYS1具备第一轨道10、第二轨道20和空中搬送车30。第一轨道10及第二轨道20例如以从天花板C或设于天花板C的未图示的系统顶棚通过吊具H悬吊的状态设置，且配置于天花板C或未图示的系统顶棚的附近等。在图1中，省略了第二轨本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种搬送车系统，具备：第一轨道；第二轨道，该第二轨道设于所述第一轨道的下方，且沿与该第一轨道共通的延伸方向延伸；和空中搬送车，该空中搬送车在所述第一轨道及所述第二轨道行进，并向在所述延伸方向上相邻的第一移载场所及第二移载场所移载物品，所述搬送车系统的特征在于，所述空中搬送车具备主体部、保持物品的保持部、使所述保持部升降的升降驱动部、和使所述升降驱动部从所述主体部向横向移动的横向送出机构，所述第一移载场所与所述第二移载场所的配置间隔即端口间距比所述空中搬送车在所述延伸方向上的全长小，停止于第一位置的所述空中搬送车中的通过所述升降驱动部而升降的第一部分、与停止于第二位置的所述空中搬送车中的通过所述横向送出机构的驱动而向横向移动的第二部分在所述延伸方向上错开，其中所述第一位置是在所述第一轨道上...

【专利技术属性】
技术研发人员：汤浅良树，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：