一种单晶硅片烘干装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种单晶硅片烘干装置，涉及单晶硅制造技术领域。该单晶硅片烘干装置包括箱体（1）和上盖（8），所述箱体（1）内设置有外筒（2），所述外筒（2）底部安装有控制电机（5），内部设置有内筒（3），所述内筒（3）内设置有由泡沫制成的缓冲保护层（4），所述上盖（8）通过铰链结构安装在箱体（1）上，所述上盖（8）上设置有电热风机（6）和风机电机（7），所述外筒（2）底部设置有排水管（9），所述内筒（3）和缓冲保护层（4）上均开设有过水孔。本实用新型专利技术结构简单、工作耗能低、解决了单晶硅片烘干不均和烘干速度慢的技术问题。技术问题。技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片烘干装置


[0001]本技术涉及单晶硅制造
，具体涉及一种单晶硅片烘干装置。

技术介绍

[0002]硅是最常见、应用最广的半导体材料，当熔融的单质硅凝固时，硅原子以金刚石晶格排列成晶核，其晶核长成晶面取向相同的晶粒，形成单晶硅。单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。单晶硅材料制造要经过如下过程：石英砂
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冶金级硅
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提纯和精炼
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沉积多晶硅锭
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单晶硅
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硅片切割。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。清洗后的单晶硅片是润湿的，在封装之前需要进行干燥处理，但是目前市场上的烘干设备烘干不均匀。在专利CN201920155023.8中，公开了一种节能高效的单晶硅片烘干装置，包括装置本体和单晶硅存放柜，装置本体的内部设置有烘干仓，烘干仓的内部设置了抽拉式烘干箱，在对单晶硅片进行烘干时，将抽拉式烘干箱通过烘干仓内壁开设的滑轨与滑动轮的相互配合，实现抽拉式烘干箱的抽拉滑动，并将需要烘干的单晶硅片放置在单晶硅放置架上，进行烘干作业，抽拉式烘干箱采用了独立式结构，可以在单晶硅片放置或拿取抽拉时，不会影响其它抽拉式烘干箱的烘干作业，最小程度的避免烘干仓内的热量流失，从而减少能源的消耗，并且烘干箱采用抽拉式结构配合液压伸缩杆，可以方便对单晶硅片进行安放和拿取。但是该烘干装置不能保证烘干的均匀。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于克服现有技术的缺点，提供了一种单晶硅片烘干装置。通过设置可以旋转的内筒、用以保护的缓冲保护层、用以烘干的电热风机，解决了单晶硅片烘干不均和烘干速度慢的技术问题。
[0004]本技术的目的通过以下技术方案来实现：
[0005]一种单晶硅片烘干装置，包括箱体和上盖，其中：
[0006]所述箱体内设置有外筒；
[0007]所述外筒底部安装有控制电机；
[0008]所述外筒内设置有内筒；
[0009]所述内筒内设置有缓冲保护层；
[0010]所述上盖通过铰链结构安装在箱体上；
[0011]所述上盖上设置有电热风机和风机电机；
[0012]所述外筒底部设置有排水管，在长期工作后能排出多余的水。
[0013]可选或优选地，所述内筒的筒壁上开设有多个过水孔。
[0014]可选或优选地，所述缓冲保护层由泡沫制成。
[0015]可选或优选地，所述缓冲保护层的底部开设有多个过水孔。
[0016]可选或优选地，所述电热风机的功率为1KW。
[0017]基于上述技术方案，可产生如下技术效果：
[0018]本技术提供的一种单晶硅片烘干装置，结构简单、工作耗能低，适用于烘干清洗后的单晶硅片。本技术通过设置电热风机，可持续朝硅片吹出干燥的热风，设置可旋转的内筒，能使硅片均匀受风，设置缓冲保护层，能保护硅片平稳旋转而不破碎，解决了单晶硅片烘干不均和烘干速度慢的技术问题。
附图说明
[0019]图1 为本技术的结构示意图（剖视图）；
[0020]图中：1
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箱体，2
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外筒，3
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内筒，4
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缓冲保护层，5
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控制电机，6
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电热风机，7
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风机电机，8
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上盖，9
‑
排水管。
具体实施方式
[0021]下面结合附图对本技术做进一步的描述，但本技术的保护范围不局限于以下所述。
[0022]如图1所示：
[0023]本技术提供了一种单晶硅片烘干装置,包括箱体1和上盖8，其中：
[0024]所述箱体1内设置有外筒2；
[0025]所述外筒2底部安装有控制电机5；
[0026]所述外筒2内设置有内筒3，能通过连轴被控制电机5驱动旋转；
[0027]所述内筒3内设置有缓冲保护层4，保护硅片平稳旋转而不破碎；
[0028]所述上盖8通过铰链结构安装在箱体1上，可以随时将上盖8掀起检视硅片的情况；
[0029]所述上盖8上设置有电热风机6和风机电机7，风机电机7能驱动电热风机6持续朝内筒3供风；
[0030]所述外筒2底部设置有排水管9，在长期工作后能排出多余的水，使内外筒能保持干燥。
[0031]作为可选或优选地实施方式，所述内筒3的筒壁上开设有多个过水孔，使水通过离心力被甩向外筒2。
[0032]作为可选或优选地实施方式，所述缓冲保护层4由泡沫制成，质量轻、便宜、易加工成各种形状。
[0033]作为可选或优选地实施方式，所述缓冲保护层4的底部开设有多个过水孔。
[0034]作为可选或优选地实施方式，所述电热风机6的功率为1KW。
[0035]本技术提供的单晶硅片烘干装置的工作过程如下：在对单晶硅片进行烘干时，将待烘干的单晶硅片放入缓冲保护层4内，启动后，控制电机5驱动内筒3旋转，风机电机7控制电热风机6向内筒3内送风，可对其中的单晶硅片进行均匀的烘干处理。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片烘干装置，其特征在于：包括箱体（1）和上盖（8），其中：所述箱体（1）内设置有外筒（2）；所述外筒（2）底部安装有控制电机（5）；所述外筒（2）内设置有内筒（3）；所述内筒（3）内设置有缓冲保护层（4）；所述上盖（8）通过铰链结构安装在箱体（1）上；所述上盖（8）上设置有电热风机（6）和风机电机（7）；所述外筒（2）底部设置有排水管（9）。2.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：代刚，贾涛，赵富军，
申请(专利权)人：成都青洋电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：