本发明专利技术涉及光刻技术领域，尤其涉及一种光栅组件集成装置及方法。其中，光栅集成装置包括运输提升单元、柔性解耦单元和支撑板，支撑板用于放置光栅组件；柔性解耦单元的输出端与支撑板相连接，以补偿支撑板在水平面内以及竖直方向的位移，避免光栅组件受力过大或受力不均衡，同时补偿光栅组件的附加位移，降低光栅组件被破坏的风险，提高光栅组件集成的安全性、平稳性以及可靠性。运输提升单元包括行走机构和升降机构，升降机构安装在行走机构上，柔性解耦单元设置在升降机构的输出端上，升降机构能够驱动柔性解耦单元沿竖直方向升降，从而使支撑板带动光栅组件沿竖直方向升降，从而实现对光栅组件的运输和提升。实现对光栅组件的运输和提升。实现对光栅组件的运输和提升。
【技术实现步骤摘要】
一种光栅组件集成装置及方法
[0001]本专利技术涉及光刻
，尤其涉及一种光栅组件集成装置及方法。
技术介绍
[0002]光栅组件作为光刻机工件台测量系统的超精密仪器，可大大提高测量精度和产率。由于光栅组件的主要成分为易碎微晶玻璃，且光栅组件体积大、重量重，表面洁净度和集成精度要求高。在工艺车间完成光栅组件的加工后，需要将其运输到光刻机处，并将光栅组件集成到光刻机的工作台测量系统中。在光栅组件的运输以及集成过程中，若光栅组件受力不均衡、受力过大、或产生微小的附加位移，都将对光栅组件产生致命破环，集成风险较大。
[0003]因此，亟待需要一种光栅组件集成装置以解决上述问题。
技术实现思路
[0004]本专利技术的一个目的在于提供一种光栅组件集成装置，以提高光栅组件集成的安全性、平稳性以及可靠性，降低光栅组件在集成过程中被破坏的风险。
[0005]本专利技术的另一个目的在于提供一种光栅组件集成方法，采用上述光栅组件集成装置，能够提高光栅组件集成到光刻机工作台过程中的安全性、平稳性以及可靠性。
[0006]为实现上述目的，提供以下技术方案：
[0007]一方面，提供了一种光栅组件集成装置，包括：
[0008]支撑板，用于放置光栅组件；
[0009]运输提升单元，包括行走机构和升降机构，所述升降机构安装在所述行走机构上；
[0010]柔性解耦单元，包括水平柔性解耦机构和竖直柔性解耦机构，所述水平柔性解耦机构的输出端与所述支撑板固定连接，以补偿所述支撑板在水平面内的位移；所述竖直柔性解耦机构的输出端与所述水平柔性解耦机构相连接，以补偿所述支撑板在竖直方向上的位移；所述竖直柔性解耦机构设置在所述升降机构的输出端上，所述升降机构能够驱动所述柔性解耦单元带动所述支撑板沿竖直方向升降。
[0011]作为光栅组件集成装置的优选方案，所述光栅组件集成装置还包括：
[0012]水平移动单元，所述升降机构的输出端通过所述水平移动单元与所述柔性解耦单元相连接，所述水平移动单元能够驱动所述柔性解耦单元带动所述支撑板沿水平方向移动，以使至少部分所述支撑板伸出所述运输提升单元。
[0013]作为光栅组件集成装置的优选方案，所述光栅组件集成装置还包括水平度微调单元，所述水平移动单元的输出端通过所述水平度微调单元与所述竖直柔性解耦机构相连接，所述水平度微调单元能够调节所述竖直柔性解耦机构的水平度，以调节所述支撑板的水平度。
[0014]作为光栅组件集成装置的优选方案，所述水平度微调单元包括：
[0015]调平块，设置在所述水平移动单元的输出端上，所述调平块上设置有球面凹槽；
[0016]下盘，其上设置有球面凸起，所述球面凸起与所述球面凹槽间隙配合，所述球面凸起能够在所述球面凹槽内运动，以调节所述下盘的水平度。
[0017]作为光栅组件集成装置的优选方案，所述竖直柔性解耦机构包括：
[0018]下盘连接件，与所述下盘固定连接；
[0019]上盘，设置在所述下盘的上方，且所述上盘与所述下盘连接件铰接，所述上盘能够相对于所述下盘连接件上下浮动；
[0020]弹性件，其一端与所述下盘相抵接，其另一端与所述上盘相抵接，所述弹性件用于补偿所述上盘在竖直方向上的位移。
[0021]作为光栅组件集成装置的优选方案，所述水平柔性解耦机构包括二维柔性铰链，所述二维柔性铰链设置在所述上盘上，所述二维柔性铰链的输出端与所述支撑板相连接，以补偿所述支撑板在水平面内的位移。
[0022]作为光栅组件集成装置的优选方案，所述光栅组件集成装置还包括监测单元，所述监测单元用于监测所述支撑板的水平度和/或监测所述支撑板的受力情况。
[0023]作为光栅组件集成装置的优选方案，所述光栅组件集成装置还包括导向定位件，所述导向定位件安装在所述支撑板上，所述导向定位件用于与光刻机的框架相配合，以对所述支撑板进行定位。
[0024]作为光栅组件集成装置的优选方案，所述水平移动单元包括：
[0025]支撑框架，设置在所述升降机构的输出端上；
[0026]移动底板，与所述支撑框架滑动连接，所述支撑板与所述移动底板相连接；
[0027]平移驱动件，其输出端与所述移动底板相连接，所述平移驱动件能够驱动所述移动底板沿所述支撑框架移动，以使至少部分所述支撑板伸出所述运输提升单元。
[0028]另一方面，提供了一种光栅组件集成方法，采用如上所述的光栅组件集成装置，所述光栅组件集成方法包括如下步骤：
[0029]将光栅组件放置在支撑板上；
[0030]移动所述光栅组件集成装置，使所述光栅组件位于光刻机的框架的下方；
[0031]提升所述支撑板，使所述光栅组件与所述框架的装配面相贴合；
[0032]在所述光栅组件与所述框架的装配面贴合过程中，柔性解耦单元自适应补偿所述支撑板在水平面内以及竖直方向的位移。
[0033]与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：
[0034]本专利技术提供的光栅组件集成装置，包括运输提升单元、柔性解耦单元和支撑板，支撑板用于放置光栅组件；该光栅组件集成装置通过将光栅组件放置在运输提升单元上的支撑板上，从而实现对光栅组件的运输和提升；在光栅组件与光刻机的框架在装配时，通过柔性解耦单元补偿支撑板在水平面内以及竖直方向的位移，能够减小框架对光栅组件的反作用力，避免光栅组件受力过大或受力不均衡，同时补偿光栅组件的附加位移，降低光栅组件被破坏的风险，提高光栅组件集成的安全性、平稳性以及可靠性。
[0035]本专利技术提供的光栅组件集成方法，通过采用上述光栅组件集成装置，能够提高光栅组件集成到光刻机工作台过程中的安全性、平稳性以及可靠性。
附图说明
[0036]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对本专利技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本专利技术实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
[0037]图1为本专利技术实施例提供的光栅组件集成装置的结构示意图；
[0038]图2为本专利技术实施例提供的光栅组件集成装置去掉支撑板和光栅组件的结构示意图；
[0039]图3为本专利技术实施例提供的光栅组件集成装置上的光栅组件与光刻机的框架的集成示意图；
[0040]图4为本专利技术实施例提供的运输提升单元的结构示意图；
[0041]图5为本专利技术实施例提供的上导轨和上滑块的结构示意图；
[0042]图6为本专利技术实施例提供的下导轨和下滑块的结构示意图；
[0043]图7为本专利技术实施例提供的水平移动单元的结构示意图；
[0044]图8为本专利技术实施例提供的水平移动单元驱动支撑板伸出运输提升单元的结构示意图；
[0045]图9为本专利技术实施例提供的水平度微调单元的结构示意图；
[0046]图1本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光栅组件集成装置，其特征在于，包括：支撑板(6)，用于放置光栅组件(100)；运输提升单元(1)，包括行走机构和升降机构，所述升降机构安装在所述行走机构上；柔性解耦单元(4)，包括水平柔性解耦机构和竖直柔性解耦机构，所述水平柔性解耦机构的输出端与所述支撑板(6)固定连接，以补偿所述支撑板(6)在水平面内的位移；所述竖直柔性解耦机构的输出端与所述水平柔性解耦机构相连接，以补偿所述支撑板(6)在竖直方向上的位移；所述竖直柔性解耦机构设置在所述升降机构的输出端上，所述升降机构能够驱动所述柔性解耦单元(4)带动所述支撑板(6)沿竖直方向升降。2.根据权利要求1所述的光栅组件集成装置，其特征在于，所述光栅组件集成装置还包括：水平移动单元(2)，所述升降机构的输出端通过所述水平移动单元(2)与所述柔性解耦单元(4)相连接，所述水平移动单元(2)能够驱动所述柔性解耦单元(4)带动所述支撑板(6)沿水平方向移动，以使至少部分所述支撑板(6)伸出所述运输提升单元(1)。3.根据权利要求2所述的光栅组件集成装置，其特征在于，所述光栅组件集成装置还包括水平度微调单元(3)，所述水平移动单元(2)的输出端通过所述水平度微调单元(3)与所述竖直柔性解耦机构相连接，所述水平度微调单元(3)能够调节所述竖直柔性解耦机构的水平度，以调节所述支撑板(6)的水平度。4.根据权利要求3所述的光栅组件集成装置，其特征在于，所述水平度微调单元(3)包括：调平块(31)，设置在所述水平移动单元(2)的输出端上，所述调平块(31)上设置有球面凹槽(311)；下盘(32)，其上设置有球面凸起(3211)，所述球面凸起(3211)与所述球面凹槽(311)间隙配合，所述球面凸起(3211)能够在所述球面凹槽(311)内运动，以调节所述下盘(32)的水平度。5.根据权利要求4所述的光栅组件集成装置，其特征在于，所述竖直柔性解耦机构包括：下盘连接件(41)，与所述下盘(32)固定连接；上盘(42)，设置在所述下盘(32)的上方，且所述上盘(42)与所述下盘连接件(41)铰接，所述上盘(42)能够...
【专利技术属性】
技术研发人员：盛亮，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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