本实用新型专利技术提供一种压力传感器母版及校准设备，所述压力传感器母版包括：本体；以及连接于所述本体的若干压力传感器；其中，所述本体对应每个压力传感器的连接区域包括多个引脚，所述多个引脚包括输入端引脚、输出端引脚和至少一个连接端引脚，所述输入端引脚、所述输出端引脚和所述至少一个连接端引脚分别与所述本体电性隔绝。整合若干压力传感器在本体上形成待校准的压力传感器母版，测试校准过程中，本体提供抗形变力，避免探针接触引脚时，导致引脚变形的问题。致引脚变形的问题。致引脚变形的问题。
【技术实现步骤摘要】
压力传感器母版及其校准装置
[0001]本技术涉及压力传感器校准
，特别涉及一种压力传感器母版及其校准装置。
技术介绍
[0002]目前，压力传感器的大批量生产，在出厂前需要对其性能进行测试校准。现有的测试校准流程包括：常温测试、高温测试、次品分选、成品打码、冷却等过程。
[0003]传统作业方式在进行上述校准测试时，往往采用单一测试设备，依次进行单工位的测试与操作。现有的单机校准测试设备主要采用高低温冲击机对少数器件进行测试，通过在一个密封腔体中进行高低温转换而实现高低温转换。因此对测试设备的密封性要求较高，容易造成测试校准出现异常的概率增大。
[0004]单机校准测试设备与单工位测试的测试过程可控性差、生产测试数据的可追溯性差，造成工人劳动强度高，测试校准效率十分低下。且，针对不同类型的产品需要不同的测试设备去测试，测试成本较高，不同的测试设备占用较大的空间。
[0005]另外，现有校准过程中，若需要对多个压力传感器进行校准，通常是将多个各自独立的压力传感器各自独自的定位在载板上。此操作耗费时间长，对仪器精度要求高。探针对单颗压力传感器进行校准时，探针容易压伤压力传感器的引脚
[0006]有鉴于此，需要提供一种新的待校准结构，以克服校准过程中压力传感器的定位难度高、定位不准确的问题以及引脚容易损伤的问题。
技术实现思路
[0007]本技术的目的在于提供一种压力传感器母版及其校准设备，通过整合若干压力传感器在本体上进行测试，其能够克服现有的校准过程中压力传感器的定位难度高、定位不准确的问题以及引脚容易损伤的问题。
[0008]本技术提供的一种压力传感器母版，所述压力传感器母版包括：本体；以及连接于所述本体的若干压力传感器；其中，所述本体对应每个压力传感器的连接区域包括多个引脚，所述多个引脚包括输入端引脚、输出端引脚和至少一个连接端引脚，所述输入端引脚、所述输出端引脚和所述至少一个连接端引脚分别与所述本体电性隔绝。
[0009]作为可选的技术方案，所述输入端引脚、所述输出端引脚和所述至少一个连接端引脚与所述本体之间通过对应的隔断槽进行电性隔绝。
[0010]作为可选的技术方案，所述输入端引脚为带供电保护功能的供电端；所述输出端引脚为模拟电压输出端。
[0011]作为可选的技术方案，所述连接端引脚为通讯引脚。
[0012]作为可选的技术方案，所述本体上设置多个定位孔。
[0013]作为可选的技术方案，所述本体还包括镂空槽，所述镂空槽设置于呈阵列排布的若干压力传感器之间。
[0014]作为可选的技术方案，所述多个引脚还包括接地引脚，所述接地引脚和所述本体为一体式结构。
[0015]本专利技术还提供一种校准装置，所述校准装置用于校准如上所述的压力传感器母版上的若干压力传感器。
[0016]作为可选的技术方案，所述压力传感器母版包括差压压力传感器母版和绝压压力传感器母版；所述校准装置包括检测组件，所述检测组件包括：第一检测站，该第一检测站包括第一探针组件，第一载具组件以及第一密封组件，所述第一载具组件包括第一载板和设置在所述第一载板上的所述差压压力传感器母版；以及第二检测站，该第二检测站包括第二探针组件，第二载具组件以及第二密封组件，所述第二载具组件包括第二载板和设置在所述第二载板上的所述绝压压力传感器母版。
[0017]作为可选的技术方案，所述第一载板上设置第一定位柱，对应的所述差压压力传感器母版上设置第一定位孔，所述第一定位柱与所述第一定位孔相互配合辅助所述第一载板与所述差压压力传感器母版定位；以及，所述第二载板上设置第二定位柱，对应的所述绝压压力传感器母版上设置第二定位孔，所述第二定位柱与所述第二定位孔相互配合辅助所述第二载板与所述绝压压力传感器母版定位。
[0018]与现有技术相比，本技术提供一种压力传感器母版及其校准设备，整合若干压力传感器在本体上形成待校准的压力传感器母版，测试校准过程中，本体提供抗形变力，避免探针接触引脚时，导致引脚变形的问题。另外，本体上还设置多个定位孔，多个定位孔和校准装置的载板上的定位柱对准，进而压力传感器上待测试的引脚和测试工位中的探针对位更加容易，且准确度更高。
[0019]以下结合附图和具体实施例对本技术进行详细描述，但不作为对本技术的限定。
附图说明
[0020]图1为本技术的压力传感器校准设备的滑轨、载板及动力装置的示意图。
[0021]图2是图1中虚线处放大示意图。
[0022]图3为本技术的压力传感器校准设备的整体示意图。
[0023]图4为本技术中待校准的压力传感器母版的俯视图。
[0024]图5为图3中压力传感器校准设备的常温检测工位的示意图。
[0025]图6为常温检测工位中差压检测站的分解示意图。
[0026]图7为常温检测工位中差压检测探针组的示意图。
[0027]图8为常温检测工位中绝压检测站的分解示意图。
[0028]图9为常温检测工位中绝压检测探针组的示意图。
[0029]图10为图3中传感器校准设备的低温箱的示意图。
[0030]图11为图3中传感器校准设备的高温箱的示意图。
具体实施方式
[0031]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合实施例及附图，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本
技术，并不用于限定本技术。
[0032]如图1和图2所示，压力传感器校准设备100包括沿第一方向延伸的第一滑轨9a和沿第二方向延伸的第二滑轨9b，第一滑轨9a和第二滑轨9b的交界位置包括空白区9c；若干载板111，其可滑动设置于第一滑轨9a和第二滑轨9b中；以及动力装置112，其靠近空白区9c设置；其中，当载板111沿着第一滑轨9a进入空白区9c中，动力装置112推抵空白区9c中的载板111，以使载板111沿着第二滑轨9b滑动，第一方向和第二方向相异。
[0033]本实施例中，第一滑轨9a和第二滑轨9b的交界位置设置空白区9c，动力装置推抵进入空白区9c中的载板111，使得载板111进行的移动方向由第一方向变换为第二方向。其中，利用滑轨交界位置的空白区进行换向，有助于维持压力传感器校准设备100中载板的循环运行，从上料到收料及其各站测试都是由设备进行，减少人为干涉，提升校准的准确度。
[0034]如图2所示，空白区9c是指未布置载板111的区域。
[0035]在一较佳的实施方式中，第一方向垂直于第二方向，但不以此为限。在本技术其他实施例中，第一方向和第二方向之间的夹角为锐角或者钝角。
[0036]如图1所示，第一滑轨9a的数量为两个，第二滑轨9b的数量为两个，其中，两个第一滑轨9a和两个第二滑轨9b构成回字形滑轨。其中，回字形滑轨的四个角落处分别包括空白区9c，对应四个角落处的空白区9c分别本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种压力传感器母版，其特征在于，所述压力传感器母版包括：本体；以及连接于所述本体的若干压力传感器；其中，所述本体对应每个压力传感器的连接区域包括多个引脚，所述多个引脚包括输入端引脚、输出端引脚和至少一个连接端引脚，所述输入端引脚、所述输出端引脚和所述至少一个连接端引脚分别与所述本体电性隔绝。2.根据权利要求1所述的压力传感器母版，其特征在于，所述输入端引脚、所述输出端引脚和所述至少一个连接端引脚与所述本体之间通过对应的隔断槽进行电性隔绝。3.根据权利要求1所述的压力传感器母版，其特征在于，所述输入端引脚为带供电保护功能的供电端；所述输出端引脚为模拟电压输出端。4.根据权利要求1所述的压力传感器母版，其特征在于，所述连接端引脚为通讯引脚。5.根据权利要求1所述的压力传感器母版，其特征在于，所述本体上设置多个定位孔。6.根据权利要求1所述的压力传感器母版，其特征在于，所述本体还包括镂空槽，所述镂空槽设置于呈阵列排布的若干压力传感器之间。7.根据权利要求1所述的压力传感器母版，其特征在于，所述多个引脚还包括接地引脚，所述接地引脚和所述本体为一体式结构。8.一种校...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁进书，于成奇，高洪连，
申请(专利权)人：苏州纳芯微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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