一种自适应高精度真空吸盘制造技术

本实用新型专利技术公开了一种自适应高精度真空吸盘，其特征在于：包括吸盘主体及设置于吸盘主体内的气道及若干真空吸孔，该真空吸孔包括气孔一及气孔二，所述气孔一与吸盘主体的吸附面贯通，且真空吸孔内设有密封阀件及弹性复位件，该密封阀件通过弹性复位件的挤压能够封堵气孔一和气孔二，且密封阀件有部分露于气孔一外通过与被吸附物表面接触而将密封阀件顶起使气孔一与外界贯通，所述气孔二与气道连通。本真空吸盘，任何大小的基材都可以进行很好的吸附在吸盘上，并且不需要其他操作。并且不需要其他操作。并且不需要其他操作。

【技术实现步骤摘要】
一种自适应高精度真空吸盘


[0001]本技术涉及一种激光直写曝光机，特别是一种激光直写曝光机上用于抓取电路板的自适应高精度真空吸盘。

技术介绍

[0002]激光直写曝光机进行曝光时，由于待曝光的基材的尺寸大小不一样，大部分基材的大小比曝光机的真空吸盘尺寸要小，这样就导致曝光机的真空吸盘上的部分吸孔会暴露出来，从而导致基材的真空吸力不够。现在常规的处理办法是在真空吸盘没有基材覆盖的区域，利用麦拉膜或者其他薄板阻住吸盘上的吸孔，这样就可以让真空吸盘上的所有吸孔都被覆盖，从而提高真空吸盘的真空吸力，保证基材与真空吸盘更好的贴合，保证曝光的良率，如果不将基材没有覆盖区域的吸孔阻住，真空吸盘的真空度会达不到要求，而且由于部分待曝光的基材有四边翘曲的情况，这样会导致基材翘曲的区域出现曝光不良的情况，影响产品的良率。

技术实现思路

[0003]为了克服现有技术的不足，本技术提供一种激光直写曝光机用自适应高精度真空吸盘。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0005]一种自适应高精度真空吸盘，其特征在于：包括吸盘主体及设置于吸盘主体内的气道及若干真空吸孔，该真空吸孔包括气孔一及气孔二，所述气孔一与吸盘主体的吸附面贯通，且真空吸孔内设有密封阀件及弹性复位件，该密封阀件通过弹性复位件的挤压能够封堵气孔一和气孔二，且密封阀件有部分露于气孔一外通过与被吸附物表面接触而将密封阀件顶起使气孔一与气孔二贯通，所述气孔二与气道连通。
[0006]所述吸盘主体包括设置于吸盘主体内的吸盘槽及封闭吸盘槽的盖板、设置于吸盘槽内的气阀单元，所述气阀单元包括阀体，所述真空吸孔为阀体的内腔，所述气孔一及气孔二设置于阀体上，所述密封阀件及弹性复位件位于阀体内，所述盖板上设有通孔，所述气阀单元端部位于通孔中且与通孔密封配合，且所述气孔一也位于通孔中，所述气阀单元间的空隙构成所述气道。
[0007]所述吸盘主体上设有螺孔，且阀体上设有与安装螺孔配合的螺纹。
[0008]所述密封阀件为球体。
[0009]所述真空吸孔包括孔顶面及孔侧面，所述气孔一位于孔顶面，且所述气孔二位于孔侧面上。
[0010]所述弹性复位件包括压缩弹簧一及压缩弹簧二，所述压缩弹簧一能够使密封阀件复位而封堵气孔一；所述压缩弹簧二能够使密封阀件复位而封堵气孔二。
[0011]本技术的有益效果是：任何大小的基材都可以进行很好的吸附在吸盘上，并且不需要其他操作，具体如下：
[0012]1.自适应的高精度真空吸盘，可以兼容各种大小不同的曝光基材，而且不需要在吸盘上另外使用其他东西堵住基材覆盖以外的真空吸孔，提高吸盘的通用性，并且提高生产效率；
[0013]2.自适应的高精度真空吸盘，不会因为真空形成的内部压力的变化导致基材会轻微上下起伏波动，可以避免因为基材抖动而导致的曝光不良。
附图说明
[0014]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0015]图1是本技术的整体结构视图；
[0016]图2是图1的A部放大结构视图；
[0017]图3是本技术的剖面结构视图；
[0018]图4是气阀单元处于密封状态的示意图；
[0019]图5是气阀单元处于开启状态的示意图。
具体实施方式
[0020]参照图1至图5，本技术公开了一种自适应高精度真空吸盘，包括吸盘主体1及设置于吸盘主体1内的气道2及若干真空吸孔3，吸盘主体1呈方形，该真空吸孔3包括气孔一4及气孔二5，所述气孔二5与气道2连通，所述气孔一4与吸盘主体1的吸附面贯通，且真空吸孔3内设有密封阀件6及弹性复位件，密封阀件6的结构优选球体，弹性复位件优选压缩弹簧，气道2通过真空对接管口7与真空发生装置(图中未显示出)连接，真空对接管口7可设置多个，这样抽气均匀，该密封阀件6通过弹性复位件的挤压能够封堵气孔一4和气孔二5，且密封阀件6有部分露于气孔一4外通过与被吸附物表面接触而将密封阀件6顶起使气孔一4与气孔二5贯通，所述真空吸孔3包括孔顶面及孔侧面，所述气孔一4位于孔顶面，且所述气孔二5位于孔侧面上，这样抽真空时，没有受基板挤压的密封阀件6在真空的作用下反而会将述气孔二5塞得更紧，从而保证良好密封不会漏气。所述弹性复位件优选压缩弹簧一8及压缩弹簧二9，当然弹性复位件也可采用一条压缩弹簧对密封阀件6进行复位，压缩弹簧一8及压缩弹簧二9的固定方式为常规方式，如焊接等，因而不具体详述，所述压缩弹簧一8能够使密封阀件6复位而封堵气孔一4；所述压缩弹簧二9能够使密封阀件6复位而封堵气孔二5。
[0021]本申请中，如果直接在吸盘主体1上加工出若干真空吸孔3并在真空吸孔3中安装密封阀件6及弹性复位件是非常困难的，加工难度高、成本也很高，为了实现易于制造及装配的目的，所述吸盘主体1包括设置于吸盘主体1内的吸盘槽及封闭吸盘槽的盖板10、设置于吸盘槽内的气阀单元，所述气阀单元包括阀体11，所述真空吸孔3为阀体11的内腔，所述气孔一4及气孔二5设置于阀体11上，所述密封阀件6及弹性复位件位于阀体11内，所述盖板10上设有通孔，所述气阀单元端部位于通孔中且与通孔密封配合，且所述气孔一也位于通孔中，且所述气阀单元间的空隙构成所述气道2，这样我们可以先将气阀单元单独制造完成然后再通过简单的装配使气阀单元安装于吸盘槽内，气阀单元可以批量生产而且易加工。具体的安装结构在于：吸盘主体1上设有螺孔，且阀体11上设有与螺孔配合的螺纹，这样的结构拆装均很方便。
[0022]具体的安装流程简述如下：盖板10上的通孔与吸盘主体1上安装气阀的螺纹孔一
一对应，在吸盘主体1上安装上气阀单元之后，再安装上吸盘盖板10，在吸盘盖板10表面既是吸附面也是吸盘主体1的顶面，气阀单元与吸盘盖板10密封。同时吸盘主体1后方的两个真空对接管口7安装上真空发生装置。在吸盘主体1上没有放置待曝光的基材时气阀单元均是自由的密封状态，当吸盘主体1的顶面上放置基材之后，基材会将气阀单元内的球体压下去，从而让气阀单元的顶面的气孔一4和侧面的气孔二5联通形成一个气流通路，然后通过真空发生装置对吸盘抽真空，在抽真空的时候，气流就会从真空吸孔3的顶面往侧面流通，从而在真空吸孔3内形成低于外界大气压的低压，从而将顶面的物体吸附在精密吸盘上。这个时候，基材覆盖区域的气阀单元已经打开，这个时候吸盘主体1就会在真空发生装置抽真空的时候，将基材稳稳的吸附在吸盘主体1表面，而且这种方式，真空吸附也相对比较稳定，基材不会因为真空的波动，导致气阀球体的震动，从而影响到基材的稳定状态。
[0023]而没有被基材覆盖的区域，气阀单元是处于自由的密封状态，在自由密封状态下，压缩弹簧一8和压缩弹簧二9会顶住球体，密封住顶面的气孔一4和侧面的气孔二5，使整个精密气阀处于一个封闭的状态；当吸盘主体1的顶面有轻微的压力时候，会将气阀球体往下压，这个时候气阀顶部和侧面的通气孔会联通。在抽真空的时候，气流就会从顶部往侧面流通，从而将顶部的物体吸附在精密吸盘本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自适应高精度真空吸盘，其特征在于：包括吸盘主体及设置于吸盘主体内的气道及若干真空吸孔，该真空吸孔包括气孔一及气孔二，所述气孔一与吸盘主体的吸附面贯通，且真空吸孔内设有密封阀件及弹性复位件，该密封阀件通过弹性复位件的挤压能够封堵气孔一和气孔二，且密封阀件有部分露于气孔一外通过与被吸附物表面接触而将密封阀件顶起使气孔一与气孔二贯通，且所述气孔二与气道连通。2.根据权利要求1所述的一种自适应高精度真空吸盘，其特征在于：所述吸盘主体包括设置于吸盘主体内的吸盘槽及封闭吸盘槽的盖板、设置于吸盘槽内的气阀单元，所述气阀单元包括阀体，所述真空吸孔为阀体的内腔，所述气孔一及气孔二设置于阀体上，所述密封阀件及弹性复位件位于阀体内，所述盖板上设有通孔，所述气阀单...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪孝军，梅文辉，王建新，李贵鸿，
申请(专利权)人：中山新诺科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：