一种真空退火装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种真空退火装置，包括箱体，在箱体上设置真空管，在箱体内设置红外平行加热器、载物台和加热器支架，红外平行加热器安装在加热器支架上，载物台设置在红外平行加热器的正下方，载物台用于放置待退火基片，在加热器支架上设置用于调整红外平行加热器与载物台之间高度的调整装置；红外平行加热器包括红外灯管、凹面聚光镜和灯箱体，红外灯管和凹面聚光镜分别固定在灯箱体上，灯箱体固定在加热器支架上，红外灯管设置在凹面聚光镜的凹面焦距点处。本实用新型专利技术通过快速升温和高真空来短时间内带走溶剂，减短后处理时间和提高退火处理的均匀性。退火处理的均匀性。退火处理的均匀性。

【技术实现步骤摘要】
一种真空退火装置


[0001]本技术属于退火设备
，特别涉及一种真空退火装置。

技术介绍

[0002]一般的干燥设备如烘箱或真空烘箱，主要为热电阻式。存在升温和保温时间长，为气氛式加热，使用前需要腔体预热，使用后需要重新升温。待退火的样品在腔体内的升温过程时间长、受热也容易不均匀。
[0003]另一方面，相对于一般的加热装置，热电阻式烘箱的热量热传导至气氛再传导到样品上也容易存在温度不均匀的问题。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题在于，提供一种真空退火装置，通过红外装置配合抽真空来实现快速的退火热处理。对于带有溶剂等可挥发性样品的退火处理时，本装置可以通过快速升温和高真空来短时间内带走溶剂，减短后处理时间和提高退火处理的均匀性。
[0005]本技术是这样实现的，提供一种真空退火装置，包括带箱门的箱体，在箱体上设置真空管，在箱体内设置红外平行加热器、载物台和加热器支架，红外平行加热器安装在加热器支架上，载物台设置在红外平行加热器的正下方，载物台用于放置待退火基片，在加热器支架上设置用于调整红外平行加热器与载物台之间高度的调整装置；红外平行加热器包括红外灯管、凹面聚光镜和灯箱体，红外灯管和凹面聚光镜分别固定在灯箱体上，灯箱体固定在加热器支架上，红外灯管设置在凹面聚光镜的凹面焦距点处。
[0006]进一步地，在所述灯箱体内设置冷却降温装置。
[0007]与现有技术相比，本技术的真空退火装置具有以下特点：
[0008]1、采用红外平行加热器，具有快速升温、温度覆盖更为均匀的特点。
[0009]2、箱体内边加热边抽真空，保证了箱体的快速升温并同时带走待退火基片上的溶剂。
[0010]3、红外平行加热器与待退火基片之间的高度可调，可实现对待退火基片的最佳加热效果。
附图说明
[0011]图1为本技术一较佳实施例的立体示意图；
[0012]图2为图1的主视图；
[0013]图3为图2中M
‑
M剖视图。
具体实施方式
[0014]为了使本技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以
下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0015]请同时参照图1、图2以及图3所示，本技术真空退火装置的较佳实施例，包括带箱门的箱体1，在箱体1上设置真空管2。在箱体1内设置红外平行加热器3、载物台4和加热器支架5。
[0016]红外平行加热器3安装在加热器支架5上，载物台4设置在红外平行加热器3的正下方。载物台4用于放置待退火基片A。在加热器支架5上设置用于调整红外平行加热器3与载物台4之间高度的调整装置（图中未示出），以实现对待退火基片A的最佳加热效果。
[0017]红外平行加热器3包括红外灯管6、凹面聚光镜7和灯箱体8。红外灯管6和凹面聚光镜7分别固定在灯箱体8上。灯箱体8固定在加热器支架5上。红外灯管6设置在凹面聚光镜7的凹面焦距点处，从而产生平行加热的效果，解决待退火基片A受热不均匀的问题。
[0018]在所述灯箱体8内设置冷却降温装置（图中未示出）。所述凹面聚光镜朝向红外灯管的内表面是光滑的且经过镀金处理。采用循环水对红外平行加热器3进行冷却，以保证红外平行加热器3在长时间工作的情况下镀金反射层不会脱落、红外平行加热器3的结构不会变形。
[0019]真空管2与外部的真空泵连接，对加热环境进行抽真空处理，非接触式对产品进行加热，效果更好，实现箱体的边加热边抽真空，保证了箱体的快速升温并同时带走待退火基片上的溶剂。
[0020]经实验验证，本技术的真空退火装置升温速度可达30℃/s~50℃/s，达到设定温度后，温度波动
±
1℃，对于300mm*400mm的基片，各点的温度均匀性可达
±
5℃~7℃。
[0021]在箱体1外侧设置有控制盒（图中未示出）。控制盒表面设置有显示屏与控制按钮，采用PID+对温度进行控制，适合不同测试温度需要。
[0022]以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空退火装置，包括带箱门的箱体，在箱体上设置真空管，其特征在于，在箱体内设置红外平行加热器、载物台和加热器支架，红外平行加热器安装在加热器支架上，载物台设置在红外平行加热器的正下方，载物台用于放置待退火基片，在加热器支架上设置用于调整红外平行加热器与载物台之...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：杭州纤纳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：