混搅晶圆研磨液机台改进结构制造技术

本实用新型专利技术公开一种混搅晶圆研磨液机台改进结构，从座架的顶围环壁锁设数个螺丝穿抵夹混搅筒加强固定，且将贴固在混搅筒壁上之的竖架，改从座架旁临近搅拌筒地板面竖起，使混搅筒运转时与座架传运转震力通到机台的座架基底，下传震力降低荡晃动量，加上竖架与筒壁不直接相接，让传感器隔空近距感应筒内液位，不使混搅筒接触震损传感器，影响测量回控精度，此为本创作初步的目的。此为本创作初步的目的。此为本创作初步的目的。

【技术实现步骤摘要】
混搅晶圆研磨液机台改进结构


[0001]本技术涉及混搅晶圆研磨液机台改进结构，尤指一种新颖无接触震动影响测量回控精度，且加固混搅筒稳定，能细调入筒的料流量，减少侧向流力产生的入料时滞残留，以及能更迅速截料流减少延时滴流，得以配合更精细磅秤取料拌混出比传统机台更精准细确晶圆研磨液配比的改进技术。

技术介绍

[0002]晶圆为集成电路以及CPU的重要原料，是繁复精细的加工料，从原矿提炼后要对炼制成可产能化的每块标准直径晶圆，进行一块块切割研磨，才能形成集成电路以及CPU所需的芯片，由于芯片上的电路越发细密功能强大，体积越做越小，相对要求同等大小晶圆能切出的微芯片数也要比往更多，让晶圆切磨处理也要更往细微精磨发展，才能跟上芯片发展脚步，否则些微地切磨多耗，就如同抛弃多个可转换经济价值高地微芯片资材，而研磨晶圆要先以混搅晶圆研磨液机台将研磨机所需的晶圆研磨液调配混合出来，也就是晶圆研磨液自身也由多种原料，以精确的比例送入混搅晶圆研磨液机台之混搅筒内拌匀，原料通常一为二氧化硅的水性研磨浆液，另一为纯水，使拌成的晶圆研磨液内以正确成分拌匀，颗粒大小质量良好，不会过粗磨损晶圆，又不会水分太多含磨擦颗粒太少，而无法切磨割开精圆，但随着晶圆切割加工越发精细，使得晶圆研磨液调配比例也要往更精准细微发展。
[0003]但是传统混搅晶圆研磨液机台却无法配合换用更精细地磅秤，达到更精微细确地送入混搅筒原料比例，原因请同时参阅图1至3所示，机台1内置磅秤1C顶面的座架2上设有混搅筒3，机台1内对应混搅筒3上方设有布管面板4，以固定数行由气压管路5A,5B,5C引导开关阀6D,6E,6F开通的入料管路6A,6B,6C，使入料管路6A,6B,6C经混搅筒3顶的套接头3A穿入混搅筒3内，而布管面板4到混搅筒3间的入料管路段6G,6H,6I呈弯道，而每一开关阀6D,6E,6F受相接的气压管路5A,5B,5C前段的导引气压控制阀5D,5E,5F送气触发开启，使相应管接源头之原料库9A,9B,9C经入料管路6A,6B,6C将料泵送入混搅筒3，导引气压控制阀5D,5E,5F送出的引导气压又由引入气压源7而来，且导引气压控制阀5D,5E,5F关闭引导推送开关阀6D,6E,6F的气压源7后，先前推动开关阀6D,6E,6F开通残剩的引导气压要经原路从导引气压控制阀5D,5E,5F泄口排出，才能促使开关阀6D,6E,6F回复闭流，由此产生以下缺失。
[0004]因座架2仅用承托方式载放上混搅筒3，不是牢固连接成一整体，使该混搅筒3运转时在座架2上荡摇微量移位，加上直接在混搅筒3壁设竖架8，以嵌置单行数列个传感器8A,8B,8C从混搅筒3外壁感应筒内液位的直接搭连结构，让混搅筒3容易震损传感器8A,8B,8C影响测量回控精度，且每种拌混原料入料只有以单一口径入料管路6A,6B,6C，无其他旁歧更细口径入料管协助变化入料流通速率，因此很难快捷地细调入料流量，要极细微准确调动引导开关阀6D,6E,6F开通时间才能办到，且曲弯之入料管路段6G,6H,6I会增加侧向流力产生时滞残积在弯转内角，另外，当引导气流截止不再促使开关阀6D,6E,6F开流时，残剩的引导气流压还要经原路约前端5公尺远之导引气压控制阀5D,5E,5F泄口逆流排出，会拖长
引导余气排放时间，使得受引导之开关阀6D,6E,6F无法迅速关闭截流产生明显地延时滴流，影响精准输送料量。
[0005]再者，现有的混搅晶圆研磨液机台于混搅筒3顶上的套接头3A，其结构请一并参照图4，由一内塞体3B外套外塞体3C紧合成为无空隙套接体，由内塞体3B中央紧密贯穿过入料管路6A，而外塞体3C嵌套入入料口3D，每当入料管路6A经入料口3D往筒内送入料流时，原料流动引发之侧向力会造成管壁振动，由于入料口3D中之入料管路6A受套夹固定套接头3A，而入料管路6A穿入入料口3D之远程管身系配管到混搅筒3上方布管面板4固定，使入料管路6A两头都为固体连接，而固体搭连传振性佳，造成影响搅拌及搅拌原料量精准度失准问题，不存在有效消抵侧向力以精进机台性能到先进的晶圆加工要求。
[0006]另外，请回阅图1，现有的晶圆研磨液混搅筒出料结构于混搅筒3底穿出搅拌泵3E的晶圆研磨液出料口3F管接出料开关阀3G再接管送到晶圆研磨机13，当搅拌完成晶圆研磨液后，搅拌泵3E停止搅拌，并开通晶圆研磨液出料口3F，使筒内晶圆研磨液经混搅筒3底穿出搅拌泵3E的晶圆研磨液出料口3F管接出料开关阀3G再接管送出晶圆研磨液到晶圆研磨机13，将出料开关阀3G下端直接紧牢螺锁连固在固定架1A上，再由固定架1A固定到机台1内底板，出料开关阀3G与固定架1A的连接为不留游余间隙的螺锁刚性无游隙连接，完全不具有任何拌出料缓冲结构，造成出料开关阀3G及出料开关阀3G周围的管道不能受阻力微移缓冲吸收晶圆研磨液出料流经出料开关阀3G及出料开关阀3G周围管道产生的管路侧力冲击，这种状态累积经过些许时间，容易造成流力震损出料管道结构，或造成局部回堵使整个出料流无法顺畅流到晶圆研磨机，影响晶圆研磨时程。
[0007]由此不精确及无法抗阻侧力的连接结构，造成机台本身即会拉低送料混拌量测准度，使相配用的磅秤1C也只能受限选用测取精度一公克以上的较低精度磅秤1C。

技术实现思路

[0008]有鉴于传统混搅晶圆研磨液机台的种种缺失，本创作人乃积极构思解决之道，经过多次地实验探讨，终于有本创作产生。
[0009]因此，本创作即提供一种混搅晶圆研磨液机台改进结构，从座架的顶围环壁锁设数个螺丝穿抵夹混搅筒加强固定，且将贴固在混搅筒壁上的竖架，从座架旁临近搅拌筒地板面竖起，使混搅筒运转时与座架传运转震力通到机台的座架基底，下传震力降低荡晃动量，加上竖架与筒壁不直接相接，让传感器隔空近距感应筒内液位，不使混搅筒接触震损传感器，影响测量回控精度，此为本创作初步的目的。
[0010]本创作此种改进结构，另将设在布管面板上原先入料管路的开关阀两端，再并联一由气压管路引导开关阀开通的细歧入料管路，另外将布管面板到混搅筒间的入料管路段由弯道改成直道，再于每一开关阀相接的气压管路引导末段中增设一快排阀，得以分选不同粗细入料管路分调大小粗细入料流量，且以直送料入筒减少侧向流力产生的时滞残留，以及由快排阀加快引导气压排出开关阀，加速截流减少延时滴流，经测试可减少开关阀一秒反应关闭时间，使入料流量控制更精准细确，此为本创作的又一目的。
[0011]再者，本创作此种改进结构将晶圆研磨液混搅筒顶上的套接头，改由一管外套帽及一入料口榇环所组成，其中管外套帽中央形成紧密包夹入料管路的夹管环，于夹管环顶向外围平展伸出防尘环板，从防尘环板外围向下凸出侧挡环，于夹管环与侧挡环之间形成
环凹空间，而入料口榇环外壁紧密黏固于混搅筒的入料口，且入料口榇环外壁小于侧挡环内壁，至于入料口榇环内壁大于夹管环外壁，得以将入料管路悬浮伸往入料口，并于临近入料口外适当距离的管身外束管外套帽，使管外套帽高过入料口榇环，且将整个入料口榇环12包容于环凹空间下端，对入料口榇环12产生顶面及环围都本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种混搅晶圆研磨液机台改进结构，混搅晶圆研磨液机台内置磅秤顶面的座架上托置混搅筒，且混搅筒壁上直接贴靠设置竖架，由竖架嵌置单行数列个传感器从混搅筒外壁感应筒内液位，于机台内对应混搅筒上方设有布管面板，以固定数行由气压管路引导开关阀开通的入料管路，使入料管路经混搅筒顶的套接头穿入混搅筒内，布管面板到混搅筒间的入料管路段呈弯道布设，其特征在于：从座架的顶围环壁锁设数个螺丝穿抵夹混搅筒加强固定，而竖架从座架旁地板面竖起，使传感器隔空近距感应混搅筒内液位，另将设在布管面板的各入料管路之开关阀两端，并联一由气压管路引导开关阀开通的细歧入料管路，并将布管面板到混搅筒间的入料管路段布设成直道，再于每一开关阀相接的气压管路引导末段中增设一快排阀，包夹入料管路的管外套帽与嵌于混搅筒顶入料口的入料口榇环所组成，管外套帽以留隙悬浮覆盖住入料口榇环，使入料管路浮动穿入混搅筒内，另于混搅筒底穿出搅拌泵的晶圆研磨液出料口管接开关阀下方增设拌出料缓冲结构。2.如权利要求1所述的混搅晶圆研磨液机台改进结构，其特征在于，其中各开关阀为气压引导动作的二位控制阀。3.如权利要求1所述的混搅晶圆研磨液机台改进结构，其特征在于，其中各快排阀均为开设有一接口、一送口，及一泄口的梭动阀体，装入气压管路引导末段中的结构布设，将接口管接至对应只导引气压控制阀出气端，而送口接至对应只开关阀受导气端，将泄口直接放空，当导引气压控制阀将引导气流往对应只开关阀顺向流出导引气时，气流就经接口再经送口送往对应只开关阀受导气端送，而当导引气压控制阀关闭流往对应只开关阀导引气时，从对应只开关阀受...

【专利技术属性】
技术研发人员：史紫柔，吴浚宇，
申请(专利权)人：宸沅国际股份有限公司，
类型：新型
国别省市：