本实用新型专利技术公开了一种便于拆装的FFU系统安装结构，其技术方案要点是包括外壳，外壳内设置有分隔部和导流部，分隔部包括分隔板，分隔板将气流空间分隔成第一空间和第二空间，导流部包括第一导流板和第二导流板，第一导流板和第二导流板的一端均与外壳顶壁固定连接，第一导流板和第二导流板均倾斜设置，且第一导流板和第二导流板靠近外壳顶面的一端之间的距离大于第一导流板和第二导流板远离外壳顶面的一端之间的距离，气体在经过第一导流板和第二导流板之后，由于气体的流通空间减小，使得气体的流速加快，气流空间内气体的流速快于酸气的流速，使得小部分从工艺槽体区域挥发至气流空间的酸气在新鲜气体的带动下，重新流回至工艺槽体区域。工艺槽体区域。工艺槽体区域。
【技术实现步骤摘要】
一种便于拆装的FFU系统安装结构
[0001]本技术涉及FFU安装
，更具体的说是涉及一种便于拆装的FFU系统安装结构。
技术介绍
[0002]半导体设备包括外壳，外壳内包括气流空间、机器手臂区域、工艺槽体区域和抽气区域，工艺槽体区域位于机器手臂区域和抽气区域之间，抽气区域外侧设置有抽气设备，气流空间位于机械手臂区域和工艺槽体区域上方，外壳顶面上设置有FFU系统，FFU系统包括FFU壳体，工艺槽体区域中会进行化学反应，化学反应会产生酸气，使用抽气设备将酸气从工艺槽体区域抽出至设备外部，同时通过FFU系统向外壳内部注入新鲜的气流。
[0003]大部分酸气可以直接通过抽气设备抽出至外壳外部，但仍有小部分酸气从工艺槽体区域往上挥发至气流空间，这部分向上挥发的这酸气难以回到工艺槽体区域进行抽除。
技术实现思路
[0004]针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种便于拆装的FFU系统安装结构，用于使向上挥发的酸气可以回到工艺槽体区域进行抽除。
[0005]为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种便于拆装的FFU系统安装结构，包括外壳，所述外壳内设置有分隔部和导流部，所述分隔部包括分隔板，所述分隔板将气流空间分隔成第一空间和第二空间，所述导流部包括第一导流板和第二导流板，所述第一导流板和所述第二导流板的一端均与外壳顶壁固定连接，所述第一导流板和所述第二导流板均倾斜设置，且所述第一导流板和所述第二导流板靠近外壳顶面的一端之间的距离大于所述第一导流板和所述第二导流板远离所述外壳顶面的一端之间的距离；
[0006]所述外壳顶面设置有隐蔽组件，所述隐蔽组件包括走线壳体，所述走线壳体上开设有走线槽，所述走线槽用以收纳FFU壳体的电线，所述走线壳体侧面开设有第一通孔，所述第一通孔与所述走线槽相互贯通；
[0007]FFU壳体与所述走线壳体之间设置有嵌合组件，所述嵌合组件包括连接件，所述连接件与所述走线壳体之间设置有嵌合部，所述嵌合部包括弹压键，所述弹压键与所述第一通孔相适配，以使所述弹压键的一部分位于所述走线槽内，电线穿过所述连接件和所述弹压键进入所述走线槽内。
[0008]作为本技术的进一步改进，所述第一导流板位于所述第一空间内，所述第二导流板位于所述第二空间内，所述第一导流板和所述第二导流板均为弧形板，且所述第一导流板和所述第二导流板正对的一侧均形成有凹部，所述凹部上设置有缓冲垫。
[0009]作为本技术的进一步改进，所述第一导流板与所述分隔板之间的距离小于所述第二导流板与所述分隔板之间的距离，使得所述第一空间内的气体流速大于所述第二空间内的气体流速。
[0010]作为本技术的进一步改进，所述分隔板固定连接在外壳相对的两侧内壁之
间，所述分隔板的横截面形状为梯形，且所述分隔板沿外壳顶部至外壳底部的横截面积逐渐增大，所述分隔板靠近所述第一导流板的侧面与外壳顶面之间的夹角角度为87度，分隔板用以将所述第一空间和所述第二空间相互分隔。
[0011]作为本技术的进一步改进，外壳上设置有气氛部，气氛部包括第一气氛导流孔和第二气氛导流孔，所述第一气氛导流孔和所述第二气氛导流孔均开设于外壳顶面，所述第一气氛导流孔与所述第一空间相互贯通，所述第二气氛导流孔与所述第二空间相互贯通，所述第一气氛导流孔和所述第二气氛导流孔之间形成有连接段，所述分隔板与所述连接段固定连接，FFU系统通过所述第一气氛导流孔和所述第二气氛导流孔向所述外壳内部注入气流，使得气流可以进入第一空间和第二空间。
[0012]作为本技术的进一步改进，所述外壳顶面上开设有两个第一固定孔，所述外壳上设置有固定板，所述固定板上开设有两个第二固定孔，所述第二固定孔与所述第一固定孔一一对应，且所述第二固定孔位于所述第一固定孔上方，所述走线壳体的两端均形成有折边，所述折边上开设有第三固定孔，所述第三固定孔与所述第二固定孔一一对应，且所述第三固定孔位于所述第二固定孔上方，使得螺栓可以穿过所述第一固定孔、所述第二固定孔和所述第三固定孔，使得所述走线壳体、所述固定板和所述外壳可以相互固定。
[0013]作为本技术的进一步改进，所述弹压键上开设有第二通孔，所述连接件内开设有第三通孔，所述第一通孔和所述第三通孔通过所述第二通孔相互贯通，所述第一通孔的孔径大于所述第二通孔和所述第三通孔的孔径，使得电线可以穿过所述第一通孔、所述第二通孔和所述第三通孔。
[0014]作为本技术的进一步改进，所述第一通孔、所述第二通孔和所述第三通孔内均设置有海绵，使得电线不会被磨损。
[0015]作为本技术的进一步改进，所述第一通孔内壁开设有两个卡槽，两个所述卡槽相对设置，所述弹压键相对的两侧面均形成有凸部，所述凸部与所述卡槽一一对应且相适配，所述凸部用以与所述卡槽相互卡合，使得所述弹压键与所述第一通孔相互卡合。
[0016]作为本技术的进一步改进，所述走线壳体上设置有盖体，走线槽内设置有若干导向件，所述导向件用以引导电线走向。
[0017]本技术的有益效果：本技术通过在外壳内设置分隔部和导流部，通过分隔部将气流空间分隔成第一空间和第二空间，导流部包括倾斜设置的第一导流板和第二导流板，气体在经过第一导流板和第二导流板之后，由于气体的流通空间减小，使得气体的流速加快，气流空间内气体的流速快于酸气的流速，使得小部分从工艺槽体区域挥发至气流空间的酸气在新鲜气体的带动下，重新流回至工艺槽体区域，然后使用抽气设备将酸气从工艺槽体区域抽出至设备外部，通过在外壳上设置隐蔽组件，以收纳FFU壳体的电线，通过在FFU壳体与走线壳体之间设置嵌合部，使得FFU壳体与走线壳体相互贯通。
附图说明
[0018]图1是本技术的主视结构示意图；
[0019]图2是本技术图1中A处的放大结构示意图。
[0020]附图标记：1、外壳；2、分隔部；21、分隔板；3、导流部；31、第一导流板；32、第二导流板；4、隐蔽组件；41、走线壳体；5、嵌合组件；51、连接件；52、嵌合部；521、弹压键；6、气氛部；
61、第一气氛导流孔；62、第二气氛导流孔；63、连接段；7、固定板。
具体实施方式
[0021]下面结合附图和实施例，对本技术进一步详细说明。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
[0022]参照图1、图2所示，本实施例的一种便于拆装的FFU系统安装结构，包括外壳1，外壳1内设置有分隔部2和导流部3，分隔部2包括分隔板21，分隔板21将气流空间分隔成第一空间和第二空间，气流空间位于机械手臂区域和工艺槽体区域上方，第一空间位于机器手臂区域上方，第二空间位于工艺槽体区域上方，工艺槽体区域中会进行化学反应，化学反应会产生酸气，酸气一般本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种便于拆装的FFU系统安装结构，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)内设置有分隔部(2)和导流部(3)，所述分隔部(2)包括分隔板(21)，所述分隔板(21)将气流空间分隔成第一空间和第二空间，所述导流部(3)包括第一导流板(31)和第二导流板(32)，所述第一导流板(31)和所述第二导流板(32)的一端均与外壳(1)顶壁固定连接，所述第一导流板(31)和所述第二导流板(32)均倾斜设置，且所述第一导流板(31)和所述第二导流板(32)靠近外壳(1)顶面的一端之间的距离大于所述第一导流板(31)和所述第二导流板(32)远离所述外壳(1)顶面的一端之间的距离；所述外壳(1)顶面设置有隐蔽组件(4)，所述隐蔽组件(4)包括走线壳体(41)，所述走线壳体(41)上开设有走线槽，所述走线槽用以收纳FFU壳体的电线，所述走线壳体(41)侧面开设有第一通孔，所述第一通孔与所述走线槽相互贯通；FFU壳体与所述走线壳体(41)之间设置有嵌合组件(5)，所述嵌合组件(5)包括连接件(51)，所述连接件(51)与所述走线壳体(41)之间设置有嵌合部(52)，所述嵌合部(52)包括弹压键(521)，所述弹压键(521)与所述第一通孔相适配，以使所述弹压键(521)的一部分位于所述走线槽内，电线穿过所述连接件(51)和所述弹压键(521)进入所述走线槽内。2.根据权利要求1所述的一种便于拆装的FFU系统安装结构，其特征在于：所述第一导流板(31)位于所述第一空间内，所述第二导流板(32)位于所述第二空间内，所述第一导流板(31)和所述第二导流板(32)均为弧形板，且所述第一导流板(31)和所述第二导流板(32)正对的一侧均形成有凹部，所述凹部上设置有缓冲垫。3.根据权利要求2所述的一种便于拆装的FFU系统安装结构，其特征在于：所述第一导流板(31)与所述分隔板(21)之间的距离小于所述第二导流板(32)与所述分隔板(21)之间的距离。4.根据权利要求3所述的一种便于拆装的FFU系统安装结构，其特征在于：所述分隔板(21)固定连接在外壳(1)相对的两侧内壁之间，所述分隔板(21)的横截面形状为梯形，且...
【专利技术属性】
技术研发人员：方超，邓信甫，刘大威，陈丁堃，
申请(专利权)人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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