一种ALD尾气热解组件以及抽气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种ALD尾气热解组件以及抽气装置。其中的热解组件包括壳体、加热器、处理体以及固定体，加热器设置在壳体的周面外侧，处理体设置在壳体内，处理体设置有贯通的处置孔，处置孔的两端分别连接有输入管和输出管，输入管以及输出管分别穿出壳体的两端，处置孔内间隔设置有多个翅片，每个翅片的中部均设置有与输入管以及输出管连通的通孔，固定体设置在处理体以及壳体之间，固定体内设置有安装腔，安装腔呈环状，安装腔同轴设置在处置孔的外侧，安装腔靠近处置孔的内侧壁上缠绕有加热丝，加热丝和加热器连接。本实用新型专利技术可减少对环境的污染。对环境的污染。对环境的污染。

【技术实现步骤摘要】
一种ALD尾气热解组件以及抽气装置


[0001]本技术涉及半导体纳米薄膜沉积
，特别涉及一种ALD尾气热解组件以及抽气装置。

技术介绍

[0002]随着IC复杂程度的不断提高，按照著名的摩尔定律和国际半导体行业协会公布的国际半导体技术发展路线图，硅基半导体集成电路中金属
‑
氧化物
‑
半导体场效应晶体管器件的特征尺寸将达到纳米尺度。原子层沉积(Atomic Layer Deposition，ALD)具有优异的三维共形性、大面积的均匀性和精确的亚单层膜厚控制等特点，受到微电子行业和纳米科技领域的青睐。
[0003]现有技术中，原子层沉积加工的技术方案为：将基体放置在一个密封的反应器中，再通过将气相前驱体源交替地通入反应器，以在基体上化学吸附并反应形成沉积膜。
[0004]在实现本技术的技术方案中，申请人发现现有技术中至少存在以下不足：
[0005]现有技术中，前驱体源在反应器中反应后会形成尾气，尾气是直接排出至大气，会造成空气污染，因此，需对现有技术进行改进。

技术实现思路

[0006]本技术提供一种ALD尾气热解组件以及抽气装置，解决了或部分解决了现有技术中前驱体源在反应器中反应后会形成的尾气直接排出至大气，造成的空气污染的技术问题。
[0007]本技术的技术方案为：
[0008]一方面，本技术提供了一种ALD尾气热解组件，所述热解组件包括：
[0009]壳体；
[0010]加热器，所述加热器设置在所述壳体的周面外侧；
[0011]处理体，所述处理体设置在所述壳体内，所述处理体设置有贯通的处置孔，所述处置孔的两端分别连接有输入管和输出管，所述输入管以及所述输出管分别穿出所述壳体的两端，所述处置孔内间隔设置有多个翅片，每个所述翅片的中部均设置有与所述输入管以及所述输出管连通的通孔；
[0012]固定体，所述固定体设置在所述处理体以及所述壳体之间，所述固定体内设置有安装腔，所述安装腔呈环状，所述安装腔同轴设置在所述处置孔的外侧，所述安装腔靠近所述处置孔的内侧壁上缠绕有加热丝，所述加热丝和所述加热器连接。
[0013]进一步地，所述安装腔靠近所述处置孔的内侧壁上间隔设置有多道凹槽，所述加热丝缠绕在多道凹槽内。
[0014]更进一步地，所述安装腔内填充有隔热材料。
[0015]优选地，所述隔热材料为隔热棉。
[0016]进一步地，所述固定体的两端均设置有限位围板，所述处理体设置在两个所述限
位围板之间，所述输入管以及所述输出管分别穿过两个所述限位围板。
[0017]更进一步地，所述限位围板可拆卸地连接在所述固定体的对应端部上。
[0018]另一方面，本技术提供了一种抽气装置，所述抽气装置包括均具有第一端和第二端的第一管道、第二管道、第三管道、第四管道以及上述ALD尾气热解组件，其中：
[0019]所述第一管道的第一端用于和反应器连接，所述第二管道的第一端以及所述第三管道的第一端分别和所述第一管道的第二端连接，所述第二管道的第二端用于和大气连通，所述第二管道上设置有第一空气阀，所述第三管道上设置有第二空气阀，所述第三管道的第二端和所述输入管连接，所述第四管道的第一端和所述输出管连通，所述第四管道的第二端用于和泵体连通。
[0020]进一步地，所述第二管道的第一端以及所述第三管道的第一端通过三通和所述第一管道的第二端连接。
[0021]进一步地，所述第一管道上设置有真空计。
[0022]进一步地，所述第三管道上设置有输入口，所述输入口设置在所述第二空气阀以及所述第三管道的第一端之间。
[0023]本技术所提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：
[0024]本技术所提供的一种抽气装置，由于其包括ALD尾气热解组件，该热解组件的处理体设置在壳体内，处理体设置有贯通的处置孔，处置孔的两端分别连接有输入管和输出管，反应器产生的尾气可通过输入管进入到处理体的处置孔中，再通过输出管排出，由于处置孔内间隔设置有多个翅片，每个翅片的中部均设置有与输入管以及输出管连通的通孔，而固定体设置在处理体以及壳体之间，固定体内设置有安装腔，安装腔呈环状，安装腔同轴设置在处置孔的外侧，安装腔靠近处置孔的内侧壁上缠绕有加热丝，加热丝和加热器连接，尾气在处理体内流动的过程中，加热器可对加热丝加热，从而可对翅片加热，使处置孔处于高温环境，从而可将尾气分解，分解后的气体在排入大气中，从而可减少对环境的污染，具有很好的实用性。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1为本实施例的一种ALD尾气热解组件的结构示意图；
[0027]图2为图1的剖面示意图；
[0028]图3为本实施例的抽气装置的结构示意图。
具体实施方式
[0029]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0030]实施例1：
[0031]本实施例公开了一种ALD尾气热解组件。
[0032]图1为本实施例的一种ALD尾气热解组件的结构示意图，图2为图1的剖面示意图，结合图1以及图2，本实施例的热解组件包括壳体1、加热器2、处理体3以及固定体4。
[0033]结合图1以及图2，本实施例的壳体1可以呈柱状，加热器2设置在壳体1的周面外侧，处理体3设置在壳体1内，处理体3设置有贯通的处置孔9，处置孔9的两端分别连接有输入管5和输出管6，输入管5以及输出管6分别穿出壳体1的两端，处置孔9内间隔设置有多个翅片7，每个翅片7的中部均设置有和输入管5以及输出管6连通的通孔，在实际使用中，反应器产生的尾气可通过输入管5进入到处理体2的处置孔9中，并通过各个翅片7，再通过输出管7排出。
[0034]结合图1以及图2，本实施例的固定体4设置在处理体3以及壳体1之间，固定体4内设置有安装腔10，安装腔10呈环状，安装腔10同轴设置在处置孔9的外侧，安装腔10靠近处置孔4的内侧壁上缠绕有加热丝，加热丝和加热器2连接，尾气在处理体3内流动的过程中，加热器2可对加热丝加热，从而可对翅片7加热，使处置孔4处于高温环境，从而可将尾气分解，分解后的气体在排入大气中，从而可减少对环境的污染，具有很好的实用性。
[0035]结合图1以及图2，本实施例中，安装腔10靠近处置孔4的内侧壁上间隔设置有多道凹槽11，加热丝缠绕在多道凹槽11内，以实现加热丝在安装腔10内的设置。
[0036]进一步地，本实施例的安装腔10内填充有隔热材料，不仅可以使加热丝的固定更本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种ALD尾气热解组件，其特征在于，所述热解组件包括：壳体；加热器，所述加热器设置在所述壳体的周面外侧；处理体，所述处理体设置在所述壳体内，所述处理体设置有贯通的处置孔，所述处置孔的两端分别连接有输入管和输出管，所述输入管以及所述输出管分别穿出所述壳体的两端，所述处置孔内间隔设置有多个翅片，每个所述翅片的中部均设置有与所述输入管以及所述输出管连通的通孔；固定体，所述固定体设置在所述处理体以及所述壳体之间，所述固定体内设置有安装腔，所述安装腔呈环状，所述安装腔同轴设置在所述处置孔的外侧，所述安装腔靠近所述处置孔的内侧壁上缠绕有加热丝，所述加热丝和所述加热器连接。2.根据权利要求1所述的ALD尾气热解组件，其特征在于，所述安装腔靠近所述处置孔的内侧壁上间隔设置有多道凹槽，所述加热丝缠绕在多道凹槽内。3.根据权利要求1所述的ALD尾气热解组件，其特征在于，所述安装腔内填充有隔热材料。4.根据权利要求3所述的ALD尾气热解组件，其特征在于，所述隔热材料为隔热棉。5.根据权利要求1所述的ALD尾气热解组件，其特征在于，所述固定体的两端均设置有限位围板，所述处理体设置在两个所述限位围板之间，所述输入管以...

【专利技术属性】
技术研发人员：万军，王辉，廖海涛，王斌，
申请(专利权)人：无锡市邑晶半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：