测试流程的配置方法、装置、存储介质及设备制造方法及图纸

本公开是关于一种测试流程的配置方法、装置、存储介质及设备，所述测试流程为在半导体产品测试中区别于主测试流程的测试流程，所述测试流程的配置方法包括：确定半导体产品的至少一个测试项目；获取所述测试项目相应的第一测试模板，所述第一测试模板中包括预设测试参数；显示所述预设测试参数；接收根据所述预设测试参数调整后的测试参数；根据调整后的测试参数，配置所述测试项目的当前测试参数；根据所述测试项目的当前测试参数，形成半导体产品的测试流程。本公开实施例提供的技术方案能够根据用户输入的测试项目自动调取相关的预设测试参数，减少用户操作，降低误输入频率，效率高。高。高。

【技术实现步骤摘要】
测试流程的配置方法、装置、存储介质及设备


[0001]本公开涉及半导体
，尤其涉及一种测试流程的配置方法、装置、存储介质及设备。

技术介绍

[0002]在晶圆制造后，晶圆测试是至关重要的流程。为分析产品特性、可靠性以及提高产品良率，用户会做一系列的工程实验来验证，而工程实验流程经常涉及新增、修改、删除的操作。
[0003]目前，用户在新建实验流程时，需要根据产品手动建立实验流程，下载模板，输入站点相关栏位数据，导入系统，这样资料多且操作繁复，会耗费较多时间，降低工作效率。另外，各栏位存在一定的逻辑规则，手动录入数据会有输错、漏输的风险，建立的流程参数设置可能会影响测试结果；并且，相关信息修改有误，可能会直接导致测试时无法运行使用，影响实验进度。
[0004]随着产品越来越多，实验流程也越多，数据量剧增，用户手动设定流程时，需要人为查询是否已经存在，若序列号重复还会导致导入系统失败，增加操作的繁复性，效率低下。

技术实现思路

[0005]以下是对本文详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。
[0006]本公开提供了一种测试流程的配置方法、装置、存储介质及设备。
[0007]根据本公开实施例的第一方面，提供一种测试流程的配置方法，所述测试流程为在半导体产品测试中区别于主测试流程的测试流程，所述测试流程的配置方法包括：
[0008]确定半导体产品的至少一个测试项目；
[0009]获取所述测试项目相应的第一测试模板，所述第一测试模板中包括预设测试参数；
[0010]显示所述预设测试参数；
[0011]接收根据所述预设测试参数调整后的测试参数；
[0012]根据调整后的测试参数，配置所述测试项目的当前测试参数；
[0013]根据所述测试项目的当前测试参数，形成半导体产品的测试流程。
[0014]根据本公开的一些实施例，所述测试流程所确定的测试项目与所述主测试流程中的预设测试项目相同或者不同。
[0015]根据本公开的一些实施例，所述测试流程的切入位置和切出位置被配置为所述主测试流程中相同或不同的位置。
[0016]根据本公开的一些实施例，所述测试流程的切入位置和切出位置按照如下方式中的一种配置：
[0017]所述测试流程的切入位置为所述主测试流程中的第n个预设测试项目之前，切出位置为所述主测试流程中的第n+m个预设测试项目之前或之后；
[0018]或者，
[0019]所述测试流程的切入位置为所述主测试流程中的第n个预设测试项目之后，切出位置为所述主测试流程中的第n+m个预设测试项目之后；
[0020]其中，n为大于或等于1的整数，m为大于或等于0的整数。
[0021]根据本公开的一些实施例，所述测试流程的配置方法还包括：
[0022]根据所述测试项目的当前测试参数生成第二测试模板；
[0023]确定所述第二测试模板中的测试参数是否与已存储测试模板中的测试参数相同；
[0024]如果否，存储所述第二测试模板。
[0025]根据本公开的一些实施例，所述测试流程的配置方法还包括：
[0026]生成所述第二测试模板的相关信息。
[0027]根据本公开的一些实施例，生成所述第二测试模板的相关信息包括下述中的一种或多种：
[0028]与所述测试流程标识信息；
[0029]与所述测试流程的量测相关信息；
[0030]与所述测试流程中所述测试项目相关信息；
[0031]与所述测试流程中用户选择相关信息；
[0032]与所述主测试流程相关信息。
[0033]根据本公开的一些实施例，所述测试流程的配置方法还包括：
[0034]根据半导体产品的类型和所述测试项目，确定符合半导体产品的类型的测试要求的所述第一测试模板。
[0035]根据本公开的一些实施例，当所述测试项目为多个时，所述显示所述预设测试参数包括：
[0036]按照半导体产品的测试流程中测试项目的顺序，依次显示每个测试项目对应的所述预设测试参数；
[0037]所述根据调整后的测试参数，配置所述测试项目的当前测试参数包括：
[0038]根据每个测试项目的调整后的测试参数，依次配置每个测试项目对应的当前测试参数。
[0039]根据本公开的一些实施例，多个所述测试项目相同或者不同。
[0040]根据本公开的一些实施例，所述测试流程的生成方法还包括：
[0041]根据测试项目和所述测试项目的测试参数，建立测试模板；
[0042]存储所述测试模板。
[0043]根据本公开的一些实施例，所述测试参数包括测试环境相关测试参数、半导体产品相关测试参数和/或半导体产品的测试设备相关参数。
[0044]本公开的第二方面提供一种测试流程的配置装置，所述测试流程为在半导体产品测试中区别于主测试流程的测试流程，所述测试流程的配置装置包括：
[0045]项目选择模块，被配置为确定半导体产品的至少一个测试项目；
[0046]模板获取模块，被配置为获取所述测试项目相应的第一测试模板，其中，所述第一
测试模板包括预设测试参数；
[0047]显示模块，被配置为显示所述预设测试参数；
[0048]参数调整模块，被配置为接收根据所述预设测试参数调整后的测试参数，并根据所述调整后的测试参数配置所述测试项目的当前测试参数；
[0049]流程生成模块，被配置为根据所述测试项目的当前测试参数，形成半导体产品的测试流程。
[0050]本公开的第三方面提供一种非临时性计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被执行时实现如以上内容所述方法的步骤。
[0051]本公开的第四方面提供一种计算机设备，包括处理器、存储器和存储于所述存储器上的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如以上内容所述方法的步骤。
[0052]本公开的实施例提供的技术方案能够根据用户输入的测试项目自动调取相关的预设测试参数，减少用户操作，降低误输入频率，可以根据用户需求进行调整，灵活性强，效率高。
[0053]在阅读并理解了附图和详细描述后，可以明白其他方面。
附图说明
[0054]并入到说明书中并且构成说明书的一部分的附图示出了本公开的实施例，并且与描述一起用于解释本公开实施例的原理。在这些附图中，类似的附图标记用于表示类似的要素。下面描述中的附图是本公开的一些实施例，而不是全部实施例。对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，可以根据这些附图获得其他的附图。
[0055]图1是根据一示例性实施例示出的测试流程的配置方法的流程图；
[0056]图2
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4是根据一示例性实施例示出的测试流程的示意图；
[0057]图5是根据一示例性实施例示出的测试流程的配置方法的补充流程本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测试流程的配置方法，其特征在于，所述测试流程为在半导体产品测试中区别于主测试流程的测试流程，所述测试流程的配置方法包括：确定半导体产品的至少一个测试项目；获取所述测试项目相应的第一测试模板，所述第一测试模板中包括预设测试参数；显示所述预设测试参数；接收根据所述预设测试参数调整后的测试参数；根据调整后的测试参数，配置所述测试项目的当前测试参数；根据所述测试项目的当前测试参数，形成半导体产品的测试流程。2.根据权利要求1所述的测试流程的配置方法，其特征在于，所述测试流程所确定的测试项目与所述主测试流程中的预设测试项目相同或者不同。3.根据权利要求1所述的测试流程的配置方法，其特征在于，所述测试流程的切入位置和切出位置被配置为所述主测试流程中相同或不同的位置。4.根据权利要求1所述的测试流程的配置方法，其特征在于，所述测试流程的切入位置和切出位置按照如下方式中的一种配置：所述测试流程的切入位置为所述主测试流程中的第n个预设测试项目之前，切出位置为所述主测试流程中的第n+m个预设测试项目之前或之后；或者，所述测试流程的切入位置为所述主测试流程中的第n个预设测试项目之后，切出位置为所述主测试流程中的第n+m个预设测试项目之后；其中，n为大于或等于1的整数，m为大于或等于0的整数。5.根据权利要求1
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4任一所述的测试流程的配置方法，其特征在于，所述配置方法还包括：根据所述测试项目的当前测试参数生成第二测试模板；确定所述第二测试模板中的测试参数是否与已存储测试模板中的测试参数相同；如果否，存储所述第二测试模板。6.根据权利要求5所述的测试流程的生成方法，其特征在于，所述测试流程的配置方法还包括：生成所述第二测试模板的相关信息。7.根据权利要求6所述的测试流程的配置方法，其特征在于，生成所述第二测试模板的相关信息包括下述中的一种或多种：与所述测试流程标识信息；与所述测试流程的量测相关信息；与所述测试流程中所述测试项目相关信息；与所述测试流程中用户选择相关信息；与所述主测试流程相关信息。8.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：聂爱，徐莹，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：