固晶机械臂及固晶设备制造技术

本发明专利技术涉及一种固晶机械臂及固晶设备。固晶机械臂包括基体和第一驱动机构，第一驱动机构用于驱动基体在用于放置晶圆的晶圆盘和用于放置目标基板的载台之间移动；基体上设置有多个固晶头，多个固晶头排列成m行n列；每个固晶头包括升降机构和吸咀，吸咀设置在所述升降机构上，吸咀能够吸取晶片能取放晶片，以及将晶片固定在固晶头上。上述固晶机械臂，能够在晶圆盘处从放置在晶圆盘上的晶圆上一次性地取多个晶片，暂存到多个固晶头上，并一次性地将多个固晶头上暂存的多个晶片转移安装到放置在载台上的目标基板上。其固晶效率高；并且，固晶效率的提高并不是单纯依赖固晶机械臂的数量的增加实现的，固晶效率所能达到的上限更高。高。高。

【技术实现步骤摘要】
固晶机械臂及固晶设备


[0001]本专利技术涉及半导体晶片的固晶领域，尤其涉及一种固晶机械臂，以及包含所述固晶机械臂的固晶设备。

技术介绍

[0002]固晶机是LED封装生产线中的关键设备，其作用是将晶圆上的LED芯片转移安装至LED板(例如Mini LED显示面板或Micro LED显示面板)上的LED芯片安装位置。
[0003]现有的固晶机主要包括载台、晶圆盘和摆臂。其中，载台用于放置基板，如需要安装LED芯片的LED板。晶圆盘用于放置晶圆，如具有红色LED芯片的晶圆、具有绿色LED芯片的晶圆、具有蓝色LED芯片的晶圆等。摆臂能够在晶圆盘和载台之间往复移动，在晶圆盘处，摆臂从晶圆上取到晶圆上的晶片，如红色LED芯片、绿色LED芯片和蓝色LED芯片等；在载台处，摆臂将取到的晶片转移安装到放置于载台上的基板上。
[0004]上述现有的固晶机中，摆臂每次在晶圆盘处只能取到一个晶片，也就是每次过程只能向基板上转移安装一个晶片，因此其效率较低。为提高固晶的工艺效率，现有技术中有使用多个摆臂同时向一个载台上的基板转移安装晶片，但这样所能提高的效率有限。其原因在于，一方面，每个载台周围的空间是有限的，不能无限制的增加摆臂的数量；而且，每个摆臂在晶圆盘和载台之间的运动是通过转动实现的，因此一个摆臂所需要占用的空间就很大，进一步限制了一个载台周围所能放置的摆臂的数量；另一方面，增加摆臂也就意味增加成本，成本的因素也限制了通过增加摆臂的数量来提高效率的可行性。
[0005]综上上述，现有技术亟需一种可行的、高效率的固晶方案和固晶设备。

技术实现思路

[0006]本专利技术提供了一种固晶机械臂及固晶设备，以解决上述现有技术中缺乏可行的高固晶效率的固晶方案的技术问题。
[0007]本专利技术提供的固晶机械臂，其包括基体和第一驱动机构，所述第一驱动机构用于驱动基体在用于放置晶圆的晶圆盘和用于放置目标基板的载台之间移动；所述基体上设置有多个固晶头，多个所述固晶头排列成m行n列；其中，m≥1，n≥2，且m、n为整数；每个固晶头包括升降机构和吸咀，所述吸咀设置在所述升降机构上，所述升降机构用于驱动所述吸咀升降，所述吸咀能够吸取晶片。
[0008]其中，所述第一驱动机构安装在安装架上，所述安装架具有与晶圆盘对应的第一区域以及与载台对应的第二区域；所述第一驱动机构驱动所述基体在第一区域和第二区域之间运动。
[0009]其中，所述安装架上设置有滑轨；所述基体包括设置在滑轨上的、能沿所述滑轨滑动的安装板；所述第一驱动机构用于驱动所述安装板沿所述滑轨移动。
[0010]其中，所述安装架上设置有沿第一方向延伸的一级滑轨，所述一级滑轨上设置有滑动平台，所述滑动平台上设置有沿第二方向延伸的二级滑轨；所述基体包括设置在二级
滑轨上的、能沿所述二级滑轨滑动的安装板；所述第一驱动机构用于驱动所述安装板沿所述二级滑轨移动，以及驱动所述滑动平台沿所述一级滑轨移动。
[0011]本专利技术提供的固晶设备，其包括上述固晶机械臂。
[0012]其中，所述固晶设备包括载台和晶圆盘；所述固晶机械臂的数量为多个，每个固晶机械臂具有与其对应的晶圆盘；多个所述固晶机械臂的第一驱动机构安装在一个安装架上，多个所述固晶机械臂的第一驱动机构分别驱动多个固晶机械臂的基体在各自对应的晶圆盘和载台之间移动。
[0013]其中，所述晶圆盘的数量为一个或多个，且至少一个所述晶圆盘具有多个与其对应的固晶机械臂；且与一个晶圆盘对应的多个固晶机械臂的在所述晶圆盘和载台之间的移动路径不重合。
[0014]其中，所述载台上的固晶工位和每个晶圆盘的取晶工位处设置有第一图像采集装置。
[0015]其中，所述固晶设备还包括载台驱动机构，所述载台驱动机构用于驱动放置在载台上的目标基板移动。
[0016]其中，所述固晶设备包括第二图像采集装置，所述第二图像采集装置用于在所述吸咀吸取晶片后采集被吸取的晶片的图像；每个所述固晶头还包括旋转机构；所述旋转机构能够带动所述吸咀旋转，以对被所述吸咀吸取的晶片的角度进行修正。
[0017]本专利技术实施例提供的上述固晶机械臂及固晶设备与现有技术相比具有如下优点：
[0018]本专利技术实施例提供的固晶机械臂，其基体上设置有多个固晶头，且多个固晶头排列成m行n列的阵列形式(最少可以为1行2列)，在固晶机械臂进行固晶工艺时，每个固晶头能够独立地下降至与放置在晶圆盘上的晶圆对应的位置，通过吸咀吸取晶片，从而多个固晶头就可以一次性地取多个晶片，暂存到多个固晶头上，而在载台处，固晶机械臂能够一次性地将多个固晶头上暂存的多个晶片依次转移安装到放置在载台上的目标基板上。与现有技术中每次在晶圆盘和目标基板之间的运动只向目标基板上转移安装一个晶片的方案相比，本专利技术实施例提供的固晶机械臂的固晶效率高；并且，固晶效率的提高并不是单纯依赖固晶机械臂的数量的增加实现的，就不会占用很多的空间，不会受到空间大小的较大限制，因此，固晶效率所能达到的上限更高。
[0019]本专利技术实施例提供的固晶设备，其包括上述固晶机械臂，能够在晶圆盘处从放置在晶圆盘上的晶圆上一次性地取多个晶片，暂存到多个固晶头上，以及在载台处，一次性地将多个固晶头上暂存的多个晶片转移安装到放置在载台上的目标基板上。与现有技术中每次在晶圆盘和目标基板之间的运动只向目标基板上转移安装一个晶片的方案相比，本实施例提供的固晶设备的固晶效率高；并且，固晶效率的提高并不是单纯依赖固晶机械臂的数量的增加实现的，就不会占用很多的空间，不会受到空间大小的较大限制，因此，固晶效率所能达到的上限更高。
附图说明
[0020]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本专利技术的实施例，并与说明书一起用于解释本专利技术的原理。
[0021]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现
有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本专利技术实施例1提供的固晶机械臂应用于固晶设备的结构示意图；
[0023]图2为图1所示固晶机械臂的结构示意图；
[0024]图3为本专利技术实施例2提供的固晶机械臂应用于固晶设备的结构示意图；
[0025]图4为图3所述固晶机械臂(去除安装架)的结构示意图；
[0026]图5为本专利技术实施例3提供的固晶设备的结构示意图。
[0027]图中：
[0028]10
‑
固晶机械臂；20
‑
晶圆盘；30
‑
载台；40
‑
安装架；50
‑
第一图像采集装置；60
‑
第二图像采集装置；
[0029]11
‑
基体；
[0030]110
‑
固晶头；111
‑
安装板；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种固晶机械臂，其特征在于，包括基体和第一驱动机构，所述第一驱动机构用于驱动基体在用于放置晶圆的晶圆盘和用于放置目标基板的载台之间移动；所述基体上设置有多个固晶头，多个所述固晶头排列成m行n列；其中，m≥1，n≥2，且m、n为整数；每个固晶头包括升降机构和吸咀，所述吸咀设置在所述升降机构上，所述升降机构用于驱动所述吸咀升降，所述吸咀能够吸取晶片。2.根据权利要求1所述的固晶机械臂，其特征在于，所述第一驱动机构安装在安装架上，所述安装架具有与晶圆盘对应的第一区域以及与载台对应的第二区域；所述第一驱动机构驱动所述基体在第一区域和第二区域之间运动。3.根据权利要求2所述的固晶机械臂，其特征在于，所述安装架上设置有滑轨；所述基体包括设置在滑轨上的、能沿所述滑轨滑动的安装板；所述第一驱动机构用于驱动所述安装板沿所述滑轨移动。4.根据权利要求2所述的固晶机械臂，其特征在于，所述安装架上设置有沿第一方向延伸的一级滑轨，所述一级滑轨上设置有滑动平台，所述滑动平台上设置有沿第二方向延伸的二级滑轨；所述基体包括设置在二级滑轨上的、能沿所述二级滑轨滑动的安装板；所述第一驱动机构用于驱动所述安装板沿所述二级滑轨移动，以及驱动所述滑动平台沿所述一级滑轨移动。5.一种固晶设备，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓应铖，曾逸，
申请(专利权)人：深圳市卓兴半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：