吸附连杆机构制造技术

本实用新型专利技术公开了吸附连杆机构，包括第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和第二挡板之间共同固定连接有限位块和支撑板，所述限位块内底部开设有定位槽，所述定位槽内部设置有机械臂，所述机械臂外侧壁底部中心处转动连接有气缸，所述支撑板顶部固定连接有若干个弹簧，若干个所述弹簧顶部共同固定连接有放置板，所述放置板顶部开设有安装槽，所述安装槽内部设置有缓冲层，所述放置板两端均固定连接有滑片。本实用新型专利技术吸附连杆机构设置有机械臂和气缸，该装置中机械臂通过气缸驱动，来对其的结构进行改变，从而扩大了机械臂的使用行程范围，降低了机械臂的局限性，便于用户更好的使用。便于用户更好的使用。便于用户更好的使用。

【技术实现步骤摘要】
吸附连杆机构


[0001]本技术涉及半导体加工辅助设备
，尤其涉及吸附连杆机构。

技术介绍

[0002]20世纪中叶，单晶硅和半导体晶体管的专利技术及其硅集成电路的研制成功，导致了电子工业革命；20世纪70年代初石英光导纤维材料和GaAs激光器的专利技术，促进了光纤通信技术迅速发展并逐步形成了高新技术产业，使人类进入了信息时代。超晶格概念的提出及其半导体超晶格、量子阱材料的研制成功，彻底改变了光电器件的设计思想。
[0003]目前在生产半导体的过程中，需要经历若干个加工步骤，在半导体后道设备中，吸附连杆机构发挥着重要的作用，但是现有的吸附连杆机构结构单一，功能不完善，稳定性较差，同时机械臂不易调节，使用的局限性较大。并且当运输半导体工件时，机械臂受到碰撞，产生振动容易使半导体元件掉落，导致半导体元件的报废，降低了半导体的生产效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的吸附连杆机构。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：吸附连杆机构，包括第一挡板和第二挡板，所述第一挡板和第二挡板之间共同固定连接有限位块和支撑板，所述限位块内底部开设有定位槽，所述定位槽内部设置有机械臂，所述机械臂外侧壁底部中心处转动连接有气缸，所述支撑板顶部固定连接有若干个弹簧，若干个所述弹簧顶部共同固定连接有放置板，所述放置板顶部开设有安装槽，所述安装槽内部设置有缓冲层，所述放置板两端均固定连接有滑片。
[0006]作为上述技术方案的进一步描述：<br/>[0007]所述机械臂顶部外侧壁与定位槽内侧壁光滑贴合，所述机械臂外侧壁顶部中心处与定位槽内侧壁中心处转动连接。
[0008]作为上述技术方案的进一步描述：
[0009]两个所述滑片分别与第一挡板和第二挡板滑动连接。
[0010]作为上述技术方案的进一步描述：
[0011]所述缓冲层包括与安装槽内底部固定连接的橡胶颗粒，所述橡胶颗粒设置有多个且均匀分布在安装槽内底部，所述橡胶颗粒顶部固定连接有橡胶板，所述橡胶板顶部固定连接有缓冲囊。
[0012]作为上述技术方案的进一步描述：
[0013]所述缓冲囊为橡胶材质且内部充有氮气，所述缓冲囊侧壁与安装槽内侧壁固定连接。
[0014]作为上述技术方案的进一步描述：
[0015]所述橡胶板外侧壁与安装槽内侧壁固定连接，所述橡胶板的厚度不低于8mm。
[0016]作为上述技术方案的进一步描述：
[0017]所述机械臂中部设置有吸附连杆。
[0018]本技术具有如下有益效果：
[0019]1、本技术吸附连杆机构设置有机械臂和气缸，该装置中机械臂通过气缸驱动，来对其的结构进行改变，从而扩大了机械臂的使用行程范围，降低了机械臂的局限性，便于用户更好的使用。
[0020]2、本技术吸附连杆机构设置有缓冲囊、弹簧和橡胶颗粒，当机械臂受到振动，导致半导体元件掉落时，通过机械臂底部设有的缓冲囊大大削弱了元件掉落产生的冲击力，从而保护了掉落的半导体材料，同时利用弹簧以及若干个橡胶颗粒，极大程度的削弱了由于元件掉落而产生的振动，从而减少了对机械臂上剩余元件的影响，相较于传统的吸附连杆结构，该装置结构简单，功能更加完善，有效的保护了半导体材料，降低了半导体元件的报废率，提高了生产效率。
[0021]3、本技术吸附连杆机构设置有限位块和定位槽，当气缸带动机械臂结构变化时，由于机械臂顶部设有限位块，通过限位块内部的定位槽来对机械臂顶部来进行限位，提高了机械臂的稳定性，使得机械臂在运输半导体材料时更加平稳，从而便于用户更好的使用。
附图说明
[0022]图1为本技术提出的吸附连杆机构的正视图；
[0023]图2为本技术提出的吸附连杆机构的缓冲层结构示意图；
[0024]图3为本技术提出的吸附连杆机构的定位槽结构示意图。
[0025]图例说明：
[0026]1、第一挡板；2、第二挡板；3、限位块；4、支撑板；5、定位槽；6、机械臂；7、气缸；8、弹簧；9、放置板；10、安装槽；11、缓冲层；111、橡胶颗粒；112、橡胶板；113、缓冲囊；12、滑片。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0029]参照图1
‑
3，本技术提供的一种实施例：吸附连杆机构，包括第一挡板1和第二
挡板2，第一挡板1和第二挡板2之间共同固定连接有限位块3和支撑板4，限位块3内底部开设有定位槽5，定位槽5内部设置有机械臂6，机械臂6外侧壁底部中心处转动连接有气缸7，支撑板4顶部固定连接有若干个弹簧8，若干个弹簧8顶部共同固定连接有放置板9，放置板9顶部开设有安装槽10，安装槽10内部设置有缓冲层11，放置板9两端均固定连接有滑片12。当机械臂6受到振动，导致半导体元件掉落时，通过缓冲层11中设有的缓冲囊113，削弱了元件掉落时产生的冲击力，从而保护了掉落的半导体材料，同时再利用弹簧8以及若干个橡胶颗粒111，极大程度的削弱了由于元件掉落时产生的振动，从而减少了对该机械臂6上剩余元件的影响，相较于传统的吸附连杆机构，该装置功能更加完善，能够有效的保护了半导体材料，降低了半导体元件的报废率，便于用户更好的使用。
[0030]机械臂6顶部外侧壁与定位槽5内侧壁光滑贴合，气缸7带动机械臂6底部上升时，机械臂6顶部的各连接臂在定位槽5的内部滑动，此时机械臂6的整体宽度增加，扩大了行程范围，从而便于用户更好的使用。机械臂6外侧壁顶部中心处与定位槽5内侧壁中心处转动连接，两个滑片12分别与第一挡板1和第二挡板2滑动连接，元件掉落时产生的冲击力最终经过弹簧8的缓冲，使得放置板9在第一挡板1和第二挡板2中上下晃动逐本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.吸附连杆机构，包括第一挡板(1)和第二挡板(2)，其特征在于：所述第一挡板(1)和第二挡板(2)之间共同固定连接有限位块(3)和支撑板(4)，所述限位块(3)内底部开设有定位槽(5)，所述定位槽(5)内部设置有机械臂(6)，所述机械臂(6)外侧壁底部中心处转动连接有气缸(7)，所述支撑板(4)顶部固定连接有若干个弹簧(8)，若干个所述弹簧(8)顶部共同固定连接有放置板(9)，所述放置板(9)顶部开设有安装槽(10)，所述安装槽(10)内部设置有缓冲层(11)，所述放置板(9)两端均固定连接有滑片(12)。2.根据权利要求1所述的吸附连杆机构，其特征在于：所述机械臂(6)顶部外侧壁与定位槽(5)内侧壁光滑贴合，所述机械臂(6)外侧壁顶部中心处与定位槽(5)内侧壁中心处转动连接。3.根据权利要求1所述的吸附连杆机构，其特征在于：两个所述滑片...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨洲，
申请(专利权)人：苏州日川精密仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：