一种双工位检漏系统技术方案

技术编号:30417448 阅读:13 留言:0更新日期:2021-10-24 16:38
本实用新型专利技术提供一种双工位检漏系统,包括阀岛、吹扫气源、预抽泵和氦质谱检漏仪,所述吹扫气源与所述阀岛通过密封管道连接,所述预抽泵与所述阀岛通过密封管道连接,所述氦质谱检漏仪与所述阀岛通过密封管道连接。本实用新型专利技术将电磁阀安装位和连接管道集成在阀岛上,阀岛集成度高,管道布局紧凑,内部管道连接安全可靠,极大程度上简化了双工位检漏系统的气路系统,并且可根据系统实际情况灵活设置电磁阀。并且可根据系统实际情况灵活设置电磁阀。并且可根据系统实际情况灵活设置电磁阀。

【技术实现步骤摘要】
一种双工位检漏系统


[0001]本技术涉及氦质谱检漏仪应用领域,具体涉及一种双工位检漏系统。

技术介绍

[0002]氦质谱检漏仪作为真空检漏应用中常用的分析仪器,由于其可检漏率小,检测速度快,检测过程简单方便,在电力、新能源、制冷、航空等行业应用越来越广泛。利用氦质谱检漏仪构成的双工位检漏系统,可以实现一个工位装夹待测件,另一个工位对待测件进行检漏,减少了氦质谱检漏仪的待机等待时间,提升了氦质谱检漏仪的利用率,大大提高系统的工作效率。但现有的双工位检漏系统的气路系统复杂,管路交叉连接多,从而降低了系统的抽空和检测能力,气路系统的密封可靠性低。
[0003]鉴于上述缺陷,本技术创作者经过长时间的研究和实践终于获得了本技术。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的问题在于:如何简化双工位检漏系统的气路系统,减少管道之间的交叉,从而提升系统的抽空能力。为此,提供一种双工位检漏系统。
[0005]一种双工位检漏系统,包括阀岛、吹扫气源、预抽泵和氦质谱检漏仪,所述吹扫气源与所述阀岛连接,所述预抽泵与阀岛连接,所述氦质谱检漏仪与阀岛连接。
[0006]所述阀岛上设置有第一安装工位和第二安装工位,所述第一安装工位依次设置有第一电磁阀安装位、第二电磁阀安装位和第三电磁阀安装位,所述第二安装工位上依次设置有第四电磁阀安装位、第五电磁阀安装位和第六电磁阀安装位,所述第一电磁阀安装位、第二电磁阀安装位、第三电磁阀安装位、第四电磁阀安装位、第五电磁阀安装位和第六电磁阀安装位上均设置有进气口和排气口。<br/>[0007]所述阀岛上还设置有第一通路、第二通路、第三通路、第四通路和第五通路,所述第一通路分别连通第一电磁阀安装位的进气口和第三电磁阀安装位的进气口,并与第二电磁阀安装位的排气口连通;所述第二通路分别连通第四电磁阀安装位的进气口和第六电磁阀安装位的进气口,并与第五电磁阀安装位的排气口连通;所述第三通路分别连通第一电磁阀安装位的排气口和第四电磁阀安装位的排气口,并与所述氦质谱检漏仪连接;所述第四通路分别连通第二电磁阀安装位的进气口和第五电磁阀安装位的进气口,并与所述吹扫气源连接;所述第五通路分别连通第三电磁阀安装位的排气口和第六电磁阀安装位的排气口,并与所述预抽泵连接。
[0008]所述第一电磁阀安装位上设置有第一检漏电磁阀,所述第二电磁阀安装位上设置有第一空吹电磁阀,所述第三电磁阀安装位上设置有第一预抽电磁阀;所述第四电磁阀安装位上设置有第二检漏电磁阀,所述第五电磁阀安装位上设置有第二空吹电磁阀,所述第六电磁阀安装位上设置有第二预抽电磁阀。
[0009]优选的,所述双工位检漏系统还设置有减压阀和空气过滤器,所述吹扫气源、减压
阀和空气过滤器依次连接,所述空气过滤器通过密封管道与阀岛连接。使得吹扫气源在执行吹扫流程和破空流程时,可以通过减压阀控制气流的强度;空气过滤器可以滤去空气中杂质,使得进入管道内部的气体为纯净的空气,避免了杂质对仪器的污染和损害。
[0010]优选的,所述第一电磁阀安装位上设置有第一检漏电磁阀,所述第四电磁阀安装位上设置有第二检漏电磁阀。所述第二电磁阀安装位上设置有第一空吹电磁阀,所述第三电磁阀安装位设置有第一预抽电磁阀;所述第五电磁阀安装位上设置有第二空吹电磁阀,所述第六电磁阀安装位上设置有第二预抽电磁阀。
[0011]优选的,第一安装工位最少只安装第一检漏电磁阀,第二安装工位最少只安装第二检漏电磁阀,此时氦质谱检漏仪具备检漏功能;第一安装工位还可以安装有第一空吹电磁阀和第一预抽电磁阀,第二安装工位还可以安装有第二空吹电磁阀和第二预抽电磁阀,此时氦质谱检漏仪具备检漏、抽真空、破空和吹扫功能。在实际使用时,可依据实际需要决定是否将部分电磁阀安装位的进气口和排气口进行密封,以实现双工位检测或单工位检测。
[0012]优选的,所述阀岛上上还设置有真空计,所述真空计数量设置为两个,分别与第一通路和第二通路连接。
[0013]与现有技术比较,本技术的有益效果在于:将电磁阀安装位和连接管道集成在阀岛上,阀岛集成度高,管道布局紧凑,内部管道连接安全可靠,极大程度上简化了双工位检漏系统的气路系统,并且可根据双工位检漏系统的实际情况灵活设置电磁阀。
附图说明
[0014]图1为本技术的气路图;
[0015]图2为本技术的阀岛示意图。
[0016]附图标记:
[0017]1‑
阀岛;11

第一安装工位;111

第一电磁阀安装位;112

第二电磁阀安装位;113

第三电磁阀安装位;12

第二安装工位;121

第四电磁阀安装位;122

第五电磁阀安装位;123

第六电磁阀安装位;114

第一检漏电磁阀;115

第一空吹电磁阀;116

第一预抽电磁阀;124

第二检漏电磁阀;125

第二空吹电磁阀;126

第二预抽电磁阀;13

第一通路;14

第二通路;15

第三通路;16

第四通路;17

第五通路;2

氦质谱检漏仪;3

预抽泵;4

吹扫气源;5

减压阀;6

空气过滤器;7

真空计。
具体实施方式
[0018]下面对本技术的实施例结合附图作详细说明,本实施例在以本技术技术方案为前提下进行实施,给出了详细的实施方式和具体的操作过程,但本技术的保护范围不限于下述的实施例。
[0019]参见图1,图示为本技术的气路图,包括第一安装工位11、第二安装工位12、第一预抽电磁阀116、第二预抽电磁阀126、第一检漏电磁阀114、第二检漏电磁阀124、第一空吹电磁阀115、第二空吹电磁阀125、氦质谱检漏仪2、预抽泵3、真空计7、吹扫气源4、减压阀5、空气过滤器6。
[0020]参见图2,图示为本技术所使用的双工位检漏系统,包括阀岛1、第一安装工位
11、第二安装工位12、第一电磁阀安装位111、第二电磁阀安装位112、第三电磁阀安装位113、第四电磁阀安装位121、第五电磁阀安装位122、第六电磁阀安装位123、第一通路13、第二通路14、第三通路15、第四通路16、第五通路17。
[0021]实施例1:
[0022]一种双工位检漏系统,包括阀岛1、吹扫气源4、减压阀5、空气过滤器6、预抽泵3、氦质谱检漏仪2和真空计7,所述吹扫气源4与所述减压阀5、所述空气过滤器6依次连接,所述空气过滤器6与所述阀岛1连接,所述预抽泵3与阀岛1连接,所述氦本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双工位检漏系统,其特征在于:包括阀岛、吹扫气源、预抽泵和氦质谱检漏仪,所述吹扫气源与所述阀岛连接,所述预抽泵与所述阀岛连接,所述氦质谱检漏仪与所述阀岛连接。2.根据权利要求1所述的一种双工位检漏系统,其特征在于:所述阀岛上设置有第一安装工位和第二安装工位,所述第一安装工位上依次设置有第一电磁阀安装位、第二电磁阀安装位和第三电磁阀安装位,所述第二安装工位上依次设置有第四电磁阀安装位、第五电磁阀安装位和第六电磁阀安装位,所述第一电磁阀安装位、第二电磁阀安装位、第三电磁阀安装位、第四电磁阀安装位、第五电磁阀安装位和第六电磁阀安装位上均设置有进气口和排气口。3.根据权利要求2所述的一种双工位检漏系统,其特征在于:所述阀岛上还设置有第一通路、第二通路、第三通路、第四通路和第五通路,所述第一通路依次连通第一电磁阀安装位的进气口、第三电磁阀安装位的进气口和第二电磁阀安装位的排气口;所述第二通路依次连通第四电磁阀安装位的进气口、第六电磁阀安装位的进气口和第五电磁阀安装位的排气口;所述第三通路依次连通第一电磁阀安装位的排气...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱操胜
申请(专利权)人:安徽诺益科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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