一种气浮运输过渡的方法技术

本发明专利技术涉及一种气浮运输过渡的方法，属于运输方法技术领域，包括以下步骤:设定系统压力，获取高速气浮板的横向间隙、以及高速气浮板和精密气浮板之间的距离值；根据系统压力、薄型柔性物体的厚度、横向间隙、高速气浮板和精密气浮板之间的距离值，获取薄型柔性物体在高速气浮板上时的气膜厚度和挠度、以及获取薄型柔性物体在精密气浮板上时的气膜厚度；根据薄型柔性物体在高速气浮板上时的气膜厚度和挠度、薄型柔性物体在精密气浮板上时的气膜厚度，计算高速气浮板和精密气浮板的高度差值；基于高度差值调节高速气浮板和/或精密气浮板的高度。利用不同气浮区域气膜厚度的差异，使薄型柔性物体在气浮运输系统的不同区域之间稳定、安全的过渡。安全的过渡。安全的过渡。

【技术实现步骤摘要】
一种气浮运输过渡的方法


[0001]本专利技术属于运输方法
，具体涉及一种气浮运输过渡的方法。

技术介绍

[0002]薄型柔性物体，例如晶圆、FPD、LCD等产品在运输和处理过程中，任何与之不必要的物理接触均会增加其损坏的风险并降低产品的合格率，而此问题的主要解决方案就是在运输和处理过程中采用气浮运输。
[0003]在以上的气浮运输系统中通常存在精密气浮板和高速气浮板。精密气浮板用作稳定而高精度的支撑物体，并在此区域进行检查、加热、涂布、蚀刻等操作。其余对运输精度要求相对较低的区域为高速气浮板，用于远离处理区域的物体的一般支撑。以AOI设备的气浮运输系统布局为例，可参考专利CN1580875A题名为“传送和约束大型扁平柔性介质的高精度气浮轴承分轴台”，专利CN 106081627A题名为“一种高速气浮板的使用方法”。薄型柔性物体需要在不同气浮区域间安全、稳定的过渡。然而，不同气浮区域的气膜厚度不一致，运输稳定性和被支承物体的变形也不一致。因此需要在其衔接部分采取措施，防止悬浮的被支承物体碰撞下面的气浮运输系统。
[0004]目前防止被支承物体在气浮区域衔接位置碰撞的常规过渡解决方案主要有四种。第一种常规方案为通过提高供气压力，使气膜厚度大于被支承物体的最大挠度，以留出足够的余留保证其在衔接位置的安全。但随着气膜厚度的增加，运输的稳定性也随之降低。
[0005]如图7，第二种常规方案为在衔接处设置高压气浮块800作压力补偿装置，使被支承物体的大挠度位置被抬高，避免碰撞。
[0006]如图8，第三种常规方案为在衔接处的气浮区域设置压力分区900，间接调控被支承物体对应位置的最大挠度，避免碰撞。第四种为通过增加高速气浮板数量以减小被支承物最大挠度。第二、三种方案不但使被支承物体在衔接处受到额外压力的激励，增加振动，压力补偿装置和压力分区还会增加气浮运输系统设备的成本。第四种方案增加气浮运输系统设备的成本。
[0007]为了解决以上问题，本专利技术提供一种气浮运输过渡的方法，利用不同气浮区域的气膜厚度的差异，在无需额外压力补偿装置、不改变气膜厚度、使用最少数量的高速气浮板的情况下，使薄型柔性物体在气浮运输系统的不同区域之间稳定、安全的过渡。

技术实现思路

[0008]针对上述现有技术中存在的问题，本专利技术的目的在于提供一种气浮运输过渡的方法,利用不同气浮区域的气膜厚度的差异，在无需额外压力补偿装置、不改变气膜厚度、使用最少数量的高速气浮板的情况下，使薄型柔性物体在气浮运输系统的不同区域之间稳定、安全的过渡。
[0009]为了实现上述专利技术目的，本专利技术提供的一个技术方案如下：
[0010]一种气浮运输过渡的方法,包括以下步骤:步骤S100、选定高速气浮板和精密气浮
板，设定系统压力，获取高速气浮板的横向间隙、以及所述高速气浮板和所述精密气浮板之间的距离值；
[0011]步骤S200、根据所述系统压力、待传送的薄型柔性物体的厚度、所述横向间隙、所述高速气浮板和所述精密气浮板之间的距离值，获取所述薄型柔性物体在高速气浮板上时的气膜厚度和挠度、以及获取所述薄型柔性物体在所述精密气浮板上时的气膜厚度；
[0012]步骤S300、根据所述薄型柔性物体在高速气浮板上时的气膜厚度和挠度、所述薄型柔性物体在所述精密气浮板上时的气膜厚度，计算所述高速气浮板和所述精密气浮板的高度差值；
[0013]步骤S400，基于所述高度差值，调节所述高速气浮板和/或所述精密气浮板的高度。
[0014]优选的，在步骤S200中，还获取由于所述精密气浮板和高速气浮板之间的距离值产生的挠度值，包括获取所述薄型柔性物体由精密气浮板移动至高速气浮板时，由于所述精密气浮板和高速气浮板之间的距离值产生的挠度值，以及获取所述薄型柔性物体由高速气浮板移动至精密气浮板时，由于所述精密气浮板和高速气浮板之间的距离值产生的挠度值。
[0015]优选的，在步骤S200中，所述获取所述薄型柔性物体在高速气浮板上时的气膜厚度和挠度、以及获取所述薄型柔性物体在所述精密气浮板上时的气膜厚度、由于所述精密气浮板和高速气浮板之间的距离值产生的挠度值的方法包括计算获取和试验获取。
[0016]优选的，在步骤S300中，根据公式计算所述高速气浮板和所述精密气浮板的高度差值，所述公式为：w
‑
h1＜h0＜h2；其中，w为所述薄型柔性物体在高速气浮板上时的挠度；h1为所述薄型柔性物体在高速气浮板上时的气膜厚度；h2为薄型柔性物体在所述精密气浮板上时的气膜厚度；h0为所述高速气浮板和所述精密气浮板的高度差值。
[0017]优选的，在步骤S300中，根据公式计算所述高速气浮板和所述精密气浮板的高度差值，所述公式为：w+w1
‑
h1＜h0＜h2
‑
w2；其中，w为所述薄型柔性物体在高速气浮板上时的挠度；h1为所述薄型柔性物体在高速气浮板上时的气膜厚度；h2为薄型柔性物体在所述精密气浮板上时的气膜厚度；w1为所述薄型柔性物体由高速气浮板移动至精密气浮板时，由于所述精密气浮板和高速气浮板之间的距离值产生的挠度值；w2为所述薄型柔性物体由精密气浮板移动至高速气浮板时，由于所述精密气浮板和高速气浮板之间的距离值产生的挠度值；h0为所述高速气浮板和所述精密气浮板的高度差值。
[0018]优选的，判断基于所述公式获取的高度差值是否存在，当所述高度差值不存在时，返回所述步骤S100，调整系统压力、高速气浮板的横向间隙、和/或所述高速气浮板和所述精密气浮板之间的距离值；当所述高度差值存在时，运行步骤S400。
[0019]优选的，所述高度差值不存在时，返回所述步骤S100，调整系统压力、高速气浮板的横向间隙、和/或所述高速气浮板和所述精密气浮板之间的距离值的方法，包括增加高速气浮板的数量，缩小相邻高速气浮板的横向间隙。
[0020]优选的，当所述高度差值存在时，判断所述高速气浮板和所述精密气浮板的高度差值的取值范围，且所述高度差值的取值范围大于设定阈值时，设置调节机构，根据需求调节所述高度差值。
[0021]优选的，当所述高度差值存在时，判断所述高速气浮板和所述精密气浮板的高度
差值的取值范围；当所述高度差值的取值范围大于设定阈值时，返回所述步骤S100，调整系统压力、高速气浮板的横向间隙、和/或所述高速气浮板和所述精密气浮板之间的距离值；当所述高度差值的取值范围小于设定阈值时，按所述高度差值调节高速气浮板和所述精密气浮板。
[0022]本专利技术提供了一种气浮运输过渡的方法，通过获取薄型柔性物体在高速气浮板和精密气浮板上运输时的气膜厚度、薄型柔性物体在高速气浮板上时的挠度、以及因精密气浮板和高速气浮板之间的距离值产生的挠度值，调节高速气浮板和精密气浮板之间的高度差值，在无需额外压力补偿装置、不改变气膜厚度、使用最少数量的高速气浮板的情况下，使薄型柔性物体在气浮运输系统的不同区域之间稳定、安全的过渡。在保证薄型柔性物体安全运输的前提本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气浮运输过渡的方法,其特征在于:包括以下步骤:步骤S100、选定高速气浮板(500)和精密气浮板(600)，设定系统压力，获取高速气浮板(500)的横向间隙、以及所述高速气浮板(500)和所述精密气浮板(600)之间的距离值；步骤S200、根据所述系统压力、待传送的薄型柔性物体(700)的厚度、所述横向间隙、所述高速气浮板(500)和所述精密气浮板(600)之间的距离值，获取所述薄型柔性物体(700)在高速气浮板(500)上时的气膜厚度和挠度、以及获取所述薄型柔性物体(700)在所述精密气浮板(600)上时的气膜厚度；步骤S300、根据所述薄型柔性物体(700)在高速气浮板(500)上时的气膜厚度和挠度、所述薄型柔性物体(700)在所述精密气浮板(600)上时的气膜厚度，计算所述高速气浮板(500)和所述精密气浮板(600)的高度差值；步骤S400，基于所述高度差值，调节所述高速气浮板(500)和/或所述精密气浮板(600)的高度。2.根据权利要求1所述的气浮运输过渡的方法,其特征在于:在步骤S200中，还获取由于所述精密气浮板(600)和高速气浮板(500)之间的距离值产生的挠度值，包括获取所述薄型柔性物体(700)由精密气浮板(600)移动至高速气浮板(500)时，由于所述精密气浮板(600)和高速气浮板(500)之间的距离值产生的挠度值，以及获取所述薄型柔性物体(700)由高速气浮板(500)移动至精密气浮板(600)时，由于所述精密气浮板(600)和高速气浮板(500)之间的距离值产生的挠度值。3.根据权利要求2所述的气浮运输过渡的方法,其特征在于:在步骤S200中，所述获取所述薄型柔性物体(700)在高速气浮板(500)上时的气膜厚度和挠度、以及获取所述薄型柔性物体(700)在所述精密气浮板(600)上时的气膜厚度、由于所述精密气浮板(600)和高速气浮板(500)之间的距离值产生的挠度值的方法包括计算获取和试验获取。4.根据权利要求1所述的气浮运输过渡的方法,其特征在于:在步骤S300中，根据公式计算所述高速气浮板(500)和所述精密气浮板(600)的高度差值，所述公式为：w
‑
h1＜h0＜h2；其中，w为所述薄型柔性物体(700)在高速气浮板(500)上时的挠度；h1为所述薄型柔性物体(700)在高速气浮板(500)上时的气膜厚度；h2为薄型柔性物体(700)在所述精密气浮板(600)上时的气膜厚度；h0为所述高速气浮板(500)和所述精密气浮板(600)的高度差值...

【专利技术属性】
技术研发人员：王绍凯，蒋荷洁，史维佳，谭久彬，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：