一种射频电极馈入装置制造方法及图纸

技术编号:30406034 阅读:16 留言:0更新日期:2021-10-20 11:10
本发明专利技术涉及一种射频电极馈入装置,其包括:支撑组件,具有散热间隙;多个放置组件,沿第一方向布置于支撑组件上;每一放置组件包括设置于支撑组件的第一放置件和第二放置件,第一放置件和第二放置件分别位于散热间隙在第一方向上的两侧;及多个电极组件,电极组件与放置组件一一对应,每一电极组件均包括第一电极单元和第二电极单元,每一电极组件的第一电极单元和第二电极单元分别与对应放置组件的第一放置件和第二放置件相连。本发明专利技术的射频电极馈入装置,可以容纳多个石墨舟在支撑组件上,并通过多个电极组件配合多个放置组件,实现多个石墨舟的射频电极馈入,使一个镀膜设备的腔体能够容纳多个石墨舟,提高产能,降低单片电池片成本。片电池片成本。片电池片成本。

【技术实现步骤摘要】
一种射频电极馈入装置


[0001]本专利技术涉及光伏设备
,特别是涉及一种射频电极馈入装置。

技术介绍

[0002]随着太阳能发电的普及,相关的光伏产品需求量越来越大,因此对光伏设备的产能要求也越来越高,在此背景下企业亟需增加产能。然而,传统的射频电极馈入装置采用的是逐个的对石墨舟进行射频电极馈入的方式,生产效率较低,已经无法满足产能需求。

技术实现思路

[0003]基于此,有必要针对现有技术中需要逐个的对石墨舟进行射频电极馈入,生产效率较低,已经无法满足产能需求的问题,提供一种改善上述缺陷的射频电极馈入装置。
[0004]一种射频电极馈入装置,包括:
[0005]支撑组件,具有散热间隙;
[0006]多个放置组件,沿所述第一方向布置于所述支撑组件上;每一所述放置组件包括设置于所述支撑组件的第一放置件和第二放置件,所述第一放置件和所述第二放置件分别位于所述散热间隙在第一方向上的两侧;及
[0007]多个电极组件,与所述放置组件一一对应,每一所述电极组件均包括第一电极单元和第二电极单元,每一所述电极组件的所述第一电极单元和所述第二电极单元分别与对应所述放置组件的所述第一放置件和所述第二放置件相连。
[0008]在其中一个实施例中,所述支撑组件包括在所述第一方向上相对布设的第一支撑杆和第二支撑杆,所述第一支撑杆与所述第二支撑杆之间形成所述散热间隙,且均沿与所述第一方向垂直的第二方向纵长延伸;
[0009]所述多个放置组件的所述第一放置件沿所述第二方向间隔设置于所述第一支撑杆上;所述多个放置组件的所述第二放置件沿所述第二方向间隔设置于所述第二支撑杆上。
[0010]在其中一个实施例中,所述第一支撑杆与所述第二支撑杆为陶瓷杆。
[0011]在其中一个实施例中,所述第一放置件包括第一放置块和第二放置块,所述第一放置块和所述第二放置块沿所述第一方向间隔设置在所述第一支撑杆上;
[0012]所述第二放置件包括第三放置块和第四放置块,所述第三放置块和第四放置块沿所述第一方向间隔套设在所述第二支撑上;
[0013]每一所述第一电极单元与对应的所述第一放置块和/或所述第三放置块相连,每一所述第二电极单元与对应的所述第二放置块和/或所述第四放置块相连。
[0014]在其中一个实施例中,每一所述第一电极单元包括第一电极杆和与其相连的第一电极连杆,每一所述第一电极连杆连接对应的所述放置组件的所述第一放置块与所述第三放置块。
[0015]在其中一个实施例中,每一所述第二电极单元包括第二电极杆和与其相连的第二
电极连杆,每一所述第二电极连杆连接对应的所述放置组件的所述第二放置块与所述第四放置块。
[0016]在其中一个实施例中,每一所述第一电极杆与每一所述第二电极杆均引出至所述第一支撑杆和所述第二支撑杆在所述第二方向上的同一端。
[0017]在其中一个实施例中,所述第一电极杆与所述第二电极杆上均套设有绝缘管。
[0018]在其中一个实施例中,所述第一支撑杆和所述第二支撑杆沿所述第一方向的两端均安装有固定座。
[0019]在其中一个实施例中,所述电极组件还包括连接片,所述电极组件还包括分别设置于所述第一放置件和所述第二放置件上的多个连接片,每一所述第一电极单元通过所述连接片与对应的所述第一放置件相连,每一所述第二电极单元通过所述连接片与对应的所述第二放置件相连
[0020]如此,本专利技术的射频电极馈入装置,可以容纳多个石墨舟在支撑组件上,并通过多个电极组件配合多个放置组件,实现多个石墨舟的射频电极馈入,使一个镀膜设备的腔体能够容纳多个石墨舟,提高产能,降低单片电池片成本。
附图说明
[0021]图1为本专利技术图一实施例中射频电极馈入装置的结构示意图;
[0022]图2为图1中所示射频电极馈入装置的俯视图。
[0023]支撑组件10;散热间隙11;第一支撑杆12,第二支撑杆13:固定座14;连接片15;
[0024]第一放置件21;第一放置块211;第二放置块212;第二放置件22;第三放置块221;第四放置块222;
[0025]电极组件30;第一电极单元31;第一电极杆311;第一电极连杆312;第二电极单元32;第二电极杆321,第二电极连杆322;延伸段33;弯曲段34;绝缘管35。
具体实施方式
[0026]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似改进,因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0027]在本专利技术的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本专利技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0028]此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本专利技术的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个,三个等,除非另有明确具体的限定。
[0029]在本专利技术中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等
术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0030]在本专利技术中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触,或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0031]需要说明的是,当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种射频电极馈入装置,其特征在于,所述射频电极馈入装置包括:支撑组件(10),具有散热间隙(11);多个放置组件,沿所述第一方向布置于所述支撑组件(10)上;每一所述放置组件包括设置于所述支撑组件(10)的第一放置件(21)和第二放置件(22),所述第一放置件(21)和所述第二放置件(22)分别位于所述散热间隙(11)在第一方向上的两侧;及多个电极组件(30),与所述放置组件一一对应,每一所述电极组件(30)均包括第一电极单元(31)和第二电极单元(32),每一所述电极组件(30)的所述第一电极单元(31)和所述第二电极单元(32)分别与对应所述放置组件的所述第一放置件(21)和所述第二放置件(22)相连。2.根据权利要求1所述的射频电极馈入装置,其特征在于,所述支撑组件(10)包括在所述第一方向上相对布设的第一支撑杆(12)和第二支撑杆(13),所述第一支撑杆(12)与所述第二支撑杆(13)之间形成所述散热间隙(11),且均沿与所述第一方向垂直的第二方向纵长延伸;所述多个放置组件的所述第一放置件(21)沿所述第二方向间隔设置于所述第一支撑杆(12)上;所述多个放置组件的所述第二放置件(22)沿所述第二方向间隔设置于所述第二支撑杆(13)上。3.根据权利要求2所述的射频电极馈入装置,其特征在于,所述第一支撑杆(12)与所述第二支撑杆(13)为陶瓷杆。4.根据权利要求2所述的射频电极馈入装置,其特征在于,每一所述第一放置件(21)包括第一放置块(211)和第二放置块(212),所述第一放置块(211)和所述第二放置块(212)沿所述第一方向间隔设置在所述第一支撑杆(12)上;每一所述第二放置件(22)包括第三放置块(221)和第四放置块(222),所述第三放置块(221)和第四放置块(222)沿所述第一方向间隔...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱双双刘强
申请(专利权)人:江苏微导纳米科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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