本发明专利技术提供一种减压干燥装置和减压干燥方法，使基片上的溶液中的溶剂在短时间干燥。在减压状态下使基片上的溶液干燥的该减压干燥装置包括：载置基片的载置台；溶剂收集部件，具有多个在厚度方向上贯通的贯通孔，以与载置于载置台的基片相对的方式设置，并暂时收集从该基片气化了的溶液中的溶剂；处理容器，其可减压且在内部设置上述载置台和上述溶剂收集部件，具有从厚度方向观察围绕载置台的侧壁；和围绕部件，其从厚度方向观察时以能够将处理容器内的侧壁与溶剂收集部件之间封闭的方式围绕溶剂收集部件，并与溶剂收集部件设置于同一平面上，围绕部件使处理容器内的气体通过从厚度方向观察比溶剂收集部件靠外侧的部分时的压力损失增加。的压力损失增加。的压力损失增加。
【技术实现步骤摘要】
减压干燥装置和减压干燥方法
[0001]本专利技术涉及减压干燥装置和减压干燥方法。
技术介绍
[0002]在专利文献1中，公开了一种将涂敷于基片的表面的有机材料膜中的溶剂除去以使其干燥的干燥装置，其包括：可抽真空的处理容器；将处理容器内的气体排气的排气口；在处理容器内支承基片的支承部件；收集从有机材料膜挥发的溶剂的溶剂收集部。溶剂收集部具有一个或者多个金属板，该金属板具有与被支承部件支承的基片相对地设置的多个贯通开口。此外，专利文献1中公开的干燥装置作为促进溶剂的收集的收集促进装置，具有对金属板进行冷却的冷却装置。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2014
‑
199806号公報
技术实现思路
[0006]专利技术要解决的技术问题
[0007]本专利技术的技术使基片上的溶液中的溶剂在短时间内干燥。
[0008]用于解决技术问题的技术手段
[0009]本专利技术的一方式是在减压状态下使基片上的溶液干燥的减压干燥装置，其包括：载置上述基片的载置台；溶剂收集部件，其具有多个在厚度方向上贯通的贯通孔，以与载置于上述载置台上的上述基片相对的方式设置，并暂时收集从该基片气化了的上述溶液中的溶剂；处理容器，其能够减压且在内部设置有上述载置台和上述溶剂收集部件，具有从上述厚度方向观察围绕上述载置台的侧壁；和围绕部件，其从上述厚度方向观察时以能够将上述处理容器内的上述侧壁与上述溶剂收集部件之间封闭的方式围绕上述溶剂收集部件，并且与上述溶剂收集部件设置于同一平面上，上述围绕部件使上述处理容器内的气体在通过从上述厚度方向观察比上述溶剂收集部件更靠外侧的部分时的压力损失增加。
[0010]专利技术效果
[0011]依照本专利技术，能够使基片上的溶液中的溶剂在短时间内干燥。
附图说明
[0012]图1是表示本实施方式的减压干燥装置的概要结构的截面图。
[0013]图2是概要地表示本实施方式的减压干燥装置内的上表面图。
[0014]图3是溶剂收集部件的局部放大平面图。
[0015]图4是概要地表示减压干燥装置内的一部分的示意图。
[0016]图5是概要地表示溶剂收集部件的周围的部分的下表面图。
[0017]图6是用于说明腔室内的气体的流动的示意图。
[0018]图7是用于说明腔室内的气体的流动的示意图。
[0019]图8是用于说明围绕部件的另一例的示意图。
[0020]图9是用于说明使用图8的围绕部件时的腔室内的气体的流动的示意图。
[0021]图10是用于说明围绕部件的又一例的示意图。
[0022]图11是用于说明使用图10的围绕部件时的腔室内的气体的流动的示意图。
具体实施方式
[0023]一直以来，已知有作为利用了有机EL(Electroluminescence)的发光的发光二极管的有机发光二极管(OLED：Organic Light Emitting Diode)。使用了该有机发光二极管的有机EL显示器，除了薄型质轻且低功耗之外，还具有在响应速度、可视角、对比度方面优越的优点，因此作为下一代的平板显示器(FPD)近年来备受瞩目。
[0024]有机发光二极管具有在基片上的阳极与阴极之间夹着有机EL层的构造。有机EL层例如从阳极侧依次层叠空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层和电子注入层而形成。在形成上述的有机EL层的各层(尤其是空穴注入层、空穴输送层和发光层)时，例如采用如下方式：通过喷墨方式将有机材料的液滴释放到分散地配置于基片上的与各色的像素对应的堤部(隔堤)，由此在堤部内涂敷该像素的有机材料的膜的方法。
[0025]通过喷墨方式被释放到基片上的有机材料中，含有大量溶剂。因此，为了除去溶剂，而进行在减压状态下使基片上的溶液干燥的减压干燥处理。
[0026]在专利文献1中公开了一种装置，其作为进行减压干燥处理的减压干燥装置，利用具有与支承部件所支承的基片相对地设置的多个贯通开口的一个或者多个金属板，收集从基片上的有机材料膜挥发的溶剂。此外，在专利文献1中公开了一种装置，为了提高溶剂的收集效率，而设置冷却上述的金属板的冷却装置。
[0027]另外，为了将专利文献1所公开的那样的具有多个贯通孔的溶剂收集部件用更简单的结构冷却，提高溶剂收集效率，考虑了如下那样的方法。即，减小溶剂收集部件的热容量，利用由于处理容器内被进行了减压时的隔热膨胀而被冷却的处理容器内的气体，对溶剂收集部件进行冷却的方法。对于基片上的溶剂的干燥所需的时间，虽然在上述的方法等中通过对溶剂收集部件进行冷却而能够缩短，但是希望将其进一步缩短。
[0028]于是，本专利技术的技术，使基片上的溶液中的溶剂在更短的时间内干燥。更具体而言，本专利技术的技术能够通过简单的结构且在短时间内进行基片上的溶液中的溶剂的干燥。
[0029]下面，参照附图，对本实施方式的减压干燥装置和减压干燥方法进行说明。此外，在本说明书和附图中，对实质上具有相同功能结构的要素标注相同的附图标记，从而省略重复说明。
[0030]图1和图2是表示本实施方式的减压干燥装置的概要结构的图，图1是表示减压干燥装置的概要结构的截面图，图2是概要地表示减压干燥装置内的上表面图。在图1和图2中省略了用于支承后述的溶剂收集部件的构造体的图示。图3是溶剂收集部件的局部放大平面图。图4和图5是用于说明溶剂收集部件的安装构造的图，图4是概要地表示减压干燥装置内的一部分的侧面图，图5是概要地表示溶剂收集部件的周围的部分的下表面图。
[0031]减压干燥装置1是在减压状态下使通过例如喷墨方式被涂敷于基片W上的溶液干燥的装置。此外，作为减压干燥装置1的处理对象的基片W，例如是有机EL显示器用的玻璃基
片，其平面尺寸为2.2m
×
2.7m。
[0032]涂敷于处理对象的基片W上的溶液由溶质和溶剂构成，成为减压干燥处理的对象的成分主要是溶剂。作为溶剂中包含的有机化合物，多为高沸点的有机化合物，例如，能够例举出1,3
‑
二甲基
‑2‑
咪唑啉酮(1,3
‑
dimethyl
‑2‑
imidazolidinone、沸点220℃，融点8℃)、4
‑
叔丁基苯甲醚(4
‑
tert
‑
Butylanisole，沸点222℃，融点18℃)、反式
‑
茴香脑(Trans
‑
Anethole，沸点235℃，融点20℃)、1,2
‑
二甲氧基苯(1,2
‑
Dimethoxybenzene，沸点206.7℃，融点22.5℃)、2
‑
甲氧基联苯(2
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Methoxybiphenyl、沸点274℃、融点28℃)、苯基醚(Phenyl Ether，沸点258.本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种在减压状态下使基片上的溶液干燥的减压干燥装置，其特征在于，包括：载置所述基片的载置台；溶剂收集部件，其具有多个在厚度方向上贯通的贯通孔，以与载置于所述载置台上的所述基片相对的方式设置，用于暂时收集从该基片气化了的所述溶液中的溶剂；处理容器，其构成为能够减压且在内部设置有所述载置台和所述溶剂收集部件，具有从所述厚度方向观察围绕所述载置台的侧壁；和围绕部件，其从所述厚度方向观察时以能够将所述处理容器内的所述侧壁与所述溶剂收集部件之间封闭的方式而围绕所述溶剂收集部件，并且与所述溶剂收集部件设置于同一平面上，所述围绕部件使所述处理容器内的气体在通过从所述厚度方向观察比所述溶剂收集部件更靠外侧的部分时的压力损失增加。2.如权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于：所述围绕部件与所述溶剂收集部件是分体的，所述围绕部件是没有形成在所述厚度方向上贯通的贯通孔的无孔板。3.如权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于：所述溶剂收集部件和所述围绕部件形成为一体。4.如权利要求3所述的减压干燥装置，其特征在于：所述围绕部件具有多个在所述厚度方向上贯通的贯通孔，在所述溶剂收集部件和所述围绕部件中，从所述厚度方向观...
【专利技术属性】
技术研发人员：及川纯史，小仓荣二，那须俊文，植田稔彦，林辉幸，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：
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