本实用新型专利技术涉及废气处理设备技术领域，且公开了一种用于单晶硅外延片的外延炉废气处理装置，包括面板和冷却仓。该用于单晶硅外延片的外延炉废气处理装置，通过贯穿结构让设备的固定螺丝的固定效果更好，对设备的整体结构稳定性有更好的提高，使用时对设备的整体结构安全性有更好的提高，对设备的安装效率有更好的提升，且进水口可以更好地进行进水工作对设备的整体运行稳定性有更好的提高，同时焊接连接让冷却仓的整体结构稳定性有大幅提高，对冷却仓的冷却效果及稳定性有更好的保障，贯穿结构让出水口的出水效率有更好的提高，对设备的整体结构稳定性有更好的保障，对设备的运行效果更加稳定。果更加稳定。果更加稳定。
【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶硅外延片的外延炉废气处理装置
[0001]本技术涉及废气处理装置
，具体为一种用于单晶硅外延片的外延炉废气处理装置。
技术介绍
[0002]废气处理设备，主要是指运用不同工艺技术，通过回收或去除、减少排放尾气的有害成分，达到保护环境、净化空气的一种环保设备，让我们的环境不受到污染，在用多孔性固体物质处理流体混合物时，流体中的某一组分或某些组分可被吸表面并浓集其上，此现象称为吸附，吸附处理废气时，吸附的对象是气态污染物，气固吸附，被吸附的气体组分称为吸附质，多孔固体物质称为吸附剂，固体表面吸附了吸附质后，一部被吸附的吸附质可从吸附剂表面脱离，此现附，而当吸附进行一段时间后，由于表面吸附质的浓集，使其吸附能力明显下降而吸附净化的要求，此时需要采用一定的措施使吸附剂上已吸附的吸附质脱附，以协的吸附能力，这个过程称为吸附剂的再生，因此在实际吸附工程中，正是利用吸附一再生一再吸附的循环过程，达到除去废气中污染物质并回收废气中有用组分。
[0003]现有的废气处理装置对于使用时的温度控制不太稳定，设备的整体使用时对于废弃温度处理方面不能很好的进行降温，难以对设备的整体检修及设备的整体使用时的日常维护的效率进行提高，对设备的长时间工作运转的安全性及稳定性的缺点。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种用于单晶硅外延片的外延炉废气处理装置，具备运行成本低，设备维护效率高，使用过程中对设备的整体使用安全性有更好的保障，使用时可以对设备的安全隐患进行更好的处理等优点，解决了设备的整体使用时对于废弃温度处理方面不能很好的进行降温，对设备的整体检修效率及设备的整体使用时的日常维护会难以提高效率，对设备的长时间工作运转的安全性及稳定性的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述运行成本低，设备维护效率高，使用过程中对设备的整体使用安全性有更好的保障，使用时可以对设备的安全隐患进行更好的处理的目的，本技术提供如下技术方案：一种用于单晶硅外延片的外延炉废气处理装置，包括面板和冷却仓，所述面板的左右两侧均贯穿有固定螺丝，所述面板的上端贯穿有进水口，所述面板的左侧贯穿有进气口，所述面板的右侧贯穿有排气口，所述排气口的外侧活动连接有密封圈，所述排气口的左侧平行设置有把手，所述面板的上方固定连接有显示屏，所述显示屏的右侧平行设置有控制板，所述显示屏的下方平行设置有指示灯，所述指示灯的下方平行设置有玻璃检查板，所述玻璃检查板的下方平行设置有橡胶底座，所述玻璃检查板的后端贯穿有检查门，所述冷却仓位于进气口的右侧，所述冷却仓的右侧平行设置有第一风机，所述第一风机的下方平行设置有第一过滤网，所述第一过滤网的左右两侧均固定连接有卡合板，所述卡合板的
上下两端均固定连接有滚轮，所述滚轮的下方平行设置有第二过滤网，所述第二过滤网的下方平行设置有第一滤芯，所述第一滤芯的下方平行设置有第二滤芯，所述第二滤芯的下方平行设置有第二风机，所述第二风机的右侧平行设置有防护网，所述防护网的下方平行设置有出水口。
[0008]优选的，所述固定螺丝与面板之间构成贯穿结构，且进水口与面板之间构成贯穿结构。
[0009]优选的，所述进水口与冷却仓之间通过焊接连接，且冷却仓与出水口之间构成贯穿结构。
[0010]优选的，所述显示屏与检查门之间构成内部尺寸与外部尺寸相吻合，且指示灯与检查门之间通过卡合连接。
[0011]优选的，所述进气口与第一风机之间通过焊接连接，且进气口与第一过滤网之间构成活动连接。
[0012]优选的，所述进气口与第二过滤网之间构成可拆卸结构，且进气口与第一滤芯之间通过卡合连接。
[0013]优选的，所述排气口与第二风机之间通过焊接连接，且排气口与第二滤芯之间构成活动连接，同时排气口与防护网之间构成固定连接。
[0014]三有益效果
[0015]与现有技术相比，本技术提供了一种用于单晶硅外延片的外延炉废气处理装置，具备以下有益效果：
[0016]1、该用于单晶硅外延片的外延炉废气处理装置，通过贯穿结构让设备的固定螺丝的固定效果更好，对设备的整体结构稳定性有更好的提高，使用时对设备的整体结构安全性有更好的提高，对设备的安装效率有更好的提升，且进水口可以更好地进行进水工作对设备的整体运行稳定性有更好的提高，同时焊接连接让冷却仓的整体结构稳定性有大幅提高，对冷却仓的冷却效果及稳定性有更好的保障，贯穿结构让出水口的出水效率有更好的提高，对设备的整体结构稳定性有更好的保障，对设备的运行效果更加稳定。
[0017]2、该用于单晶硅外延片的外延炉废气处理装置，通过内部尺寸与外部尺寸相吻合让显示屏的显示效果更好，对设备的整体使用稳定性有更好的保障，不会因为检查门的结构改变而影响设备的整体的显示效果，且卡合连接让指示灯的整体结构更加稳定，对设备的整体运行状态有更好的表达，变相提高设备的整体安全性，同时焊接连接让第一风机的固定更加稳定，让设备的整体使用安全性及整体运行状态有更好的保障，且卡合连接让第一过滤网可以更加便捷的进行拆卸及安装，对设备的整体运行效率及稳定性有更好的保障。
[0018]3、该用于单晶硅外延片的外延炉废气处理装置，通过卡合连接让设备的第二过滤网的拆卸及安装效率大幅提高，对设备的处理合格率也有大幅提高，且第一滤芯对设备的整体废弃处理有更加便捷的处理，减少设备的运行成本，对设备的使用稳定性及安全性有更好的保障，同时焊接连接让第二风机的整体结构稳定性及整体安全性有更好的保障，对设备的整体的运行状态有更好的保障，且卡合连接的第二滤芯可以更好的进行辅助处理，对设备的整体处理效果有更好的提高，且卡合连接让防护网对设备的整体安全性有更好的提高，对设备的整体使用安全隐患有更好的处理。
附图说明
[0019]图1为本技术主视结构示意图；
[0020]图2为本技术剖视结构示意图；
[0021]图3为本技术图2中A处结构放大图；
[0022]图4为本技术立体结构示意图。
[0023]图中：1、进水口；2、固定螺丝；3、显示屏；4、指示灯；5、进气口；6、检查门；7、玻璃检查板；8、面板；9、橡胶底座；10、控制板；11、把手；12、排气口；13、密封圈；14、第一风机；15、冷却仓；16、第一过滤网；17、第二过滤网；18、第一滤芯；19、第二滤芯；20、第二风机；21、防护网；22、出水口；23、滚轮；24、卡合板。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]请参阅图1
‑
4，一种用于单晶硅外延本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于单晶硅外延片的外延炉废气处理装置，包括面板(8)和冷却仓(15)，其特征在于：所述面板(8)的左右两侧均贯穿有固定螺丝(2)，所述面板(8)的上端贯穿有进水口(1)，所述面板(8)的左侧贯穿有进气口(5)，所述面板(8)的右侧贯穿有排气口(12)，所述排气口(12)的外侧活动连接有密封圈(13)，所述排气口(12)的左侧平行设置有把手(11)，所述面板(8)的上方固定连接有显示屏(3)，所述显示屏(3)的右侧平行设置有控制板(10)，所述显示屏(3)的下方平行设置有指示灯(4)，所述指示灯(4)的下方平行设置有玻璃检查板(7)，所述玻璃检查板(7)的下方平行设置有橡胶底座(9)，所述玻璃检查板(7)的后端贯穿有检查门(6)，所述冷却仓(15)位于进气口(5)的右侧，所述冷却仓(15)的右侧平行设置有第一风机(14)，所述第一风机(14)的下方平行设置有第一过滤网(16)，所述第一过滤网(16)的左右两侧均固定连接有卡合板(24)，所述卡合板(24)的上下两端均固定连接有滚轮(23)，所述滚轮(23)的下方平行设置有第二过滤网(17)，所述第二过滤网(17)的下方平行设置有第一滤芯(18)，所述第一滤芯(18)的下方平行设置有第二滤芯(19)，所述第二滤芯(19)的下方平行设置有第二风机(20)，所述第二风机(20)的右侧平行设置有防护网(21)，所述防护网(...
【专利技术属性】
技术研发人员：李亦宁，
申请(专利权)人：四川雅吉芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。