本实用新型专利技术提供了一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置；该晶棒缓存装置用于缓存料座及晶棒，并定位固化的晶棒；该晶棒缓存装置的存储方式包括如下步骤：料座与晶棒固化完毕，人工将固化的晶棒搬入料车，料车与缓存平台对接，将晶棒推入料框，进行后续工序搬运操作。本实用新型专利技术所述的晶棒固化的缓存装置，能够将固化后的晶棒辅助推入缓存平台，能够节省人力，提高工作效率。提高工作效率。提高工作效率。
【技术实现步骤摘要】
一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置
[0001]本技术属于半导体制造领域，尤其是涉及一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置。
技术介绍
[0002]在半导体硅单晶制造领域中,料座与晶棒固化后，需放入缓存区进行固化和缓存，料座和晶棒较重，目前是人工将固化的晶棒搬入缓存区进行缓存，费时费力，因此要快速、高效的取放晶棒，需设计自动化仓储库存储固化的晶棒。现有技术中,固化的晶棒存储的方法一般步骤为：人工将晶棒放入料车，将料车推到缓存区，人工再将晶棒搬入缓存平台。现有晶棒仓储的技术缺点在于是人工搬运晶棒时费时费力，效率低下。通过设计该物料缓存装置，可以节省人力，提高工作效率。由此可见,半导体晶棒自动存储在半导体材料的行业上具有非常重要的应用价值。
技术实现思路
[0003]有鉴于此，本技术旨在提出一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置，以解决人工将固化的晶棒搬入缓存区进行缓存，费时费力，工作效率低下的问题。
[0004]为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：
[0005]一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置，包括缓存台、料框、料座、滚筒输送机构、料框定位机构；
[0006]所述滚筒输送机构设置在缓存台顶部，所述料框定位机构位于滚筒输送机构的两侧用于对料框进行定位，料座位于滚筒输送机构上方用于对晶棒进行输送缓存。
[0007]进一步的，所述滚筒输送机构包括多组滚筒组件，每组滚筒组件之间留有缝隙，料框位于缝隙间，所述定位机构包括多组定位槽，每组定位槽包括两个定位槽，定位槽为U型形状，两个定位槽槽口相对设置，其中一组定位槽位于前两组滚筒组件之间的缝隙两侧，另一组定位槽位于最后一组滚筒组件之后，料框分别插接在每组定位槽上。
[0008]进一步的，每组滚筒组件包括滚筒支架、滚筒、导向条，所述滚筒支架包括两个，滚筒两端分别固定在两个滚筒支架之间，导向条设有两个，每个滚筒支架上分别固定导向条。
[0009]进一步的，所述料框包括三个第一连接片、两个第二连接片，两个第二连接片分别位于三个第一连接片之间，三个第一连接片四角、两个第二连接片四角分别通过支撑杆贯穿并固定。
[0010]进一步的，最前端的第一连接片插接在前两组滚筒组件之间的缝隙两侧的两个插槽中，最后端的第一连接片插接在最后一组滚筒组件之后的一组定位槽内。
[0011]进一步的，两个第二连接片顶部设有槽口。
[0012]进一步的，两个第二连接片底部对称设有两个限位耳。
[0013]进一步的，最后一个第一连接片与第二连接片之间安装有挡块。
[0014]进一步的，所述缓存台上安装有传感器。
[0015]相对于现有技术，本技术所述的一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置具有以下优势：
[0016]本技术所述的在线切料座上晶棒固化的缓存装置可以实现物料的取放和存储，有效地避免了人工搬运过程潜在的危险性,更加节省人力，提高工作效率。
附图说明
[0017]构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0018]图1为本技术实施例所述的晶棒固化缓存装置结构示意图；
[0019]图2为本技术实施例所述的部分晶棒固化缓存装置结构示意图；
[0020]图3为本技术实施例所述的料框结构示意图。
[0021]附图标记说明：
[0022]1、缓存台；2、料座；3、料框,4、晶棒；5、导向条；6、滚筒；7、定位槽；8、传感器；9、滚筒支架；10、第一连接片；11、第二连接片；12、支撑杆；13、挡块；111、槽口；112、限位耳。
具体实施方式
[0023]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0024]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0025]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0026]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0027]如图1至图3所示，一种在线切料座2上晶棒4固化的缓存装置，包括缓存台1、料框3、料座2、滚筒6输送机构、料框3定位机构；
[0028]所述滚筒6输送机构设置在缓存台1顶部，所述料框3定位机构位于滚筒6输送机构的两侧用于对料框3进行定位，料座2位于滚筒6输送机构上方用于对晶棒4进行输送缓存。
[0029]所述滚筒6输送机构包括多组滚筒6组件，每组滚筒6组件之间留有缝隙，料框3位于缝隙间，所述定位机构包括多组定位槽7，每组定位槽7包括两个定位槽7，定位槽7为U型
形状，两个定位槽7槽口111相对设置，其中一组定位槽7位于前两组滚筒6组件之间的缝隙两侧，另一组定位槽7 位于最后一组滚筒6组件之后，料框3分别插接在每组定位槽7上。
[0030]每组滚筒6组包括滚筒6支架、滚筒6、导向条5，所述滚筒6支架包括两个，滚筒6两端分别固定在两个滚筒6支架之间，导向条5设有两个，每个滚筒6支架上分别固定导向条5。
[0031]当料座2通过滚筒6运输时，导向条5很好的对料座2进行导向。
[0032]所述料框3包括三个第一连接片10、两个第二连接片11，两个第二连接片11分别位于三个第一连接片10之间，三个第一连接片10四角、两个第二连接片11四角分别通过支撑杆12贯穿并固定。
[0033]最前端的第一连接片10插接在前两组滚筒6组件之间的缝隙两侧的两个插槽中，最后端的第一连接片10插接在最后一组滚筒6组件之后的一组定位槽7内；
[0034]料框3通过多组定位槽7进行定位，放置料框3移动，并且料框3的连接片位于多组滚筒6组件之间，更好的对料框3进行限位。
[0035]最后一个第一连接片10与第二连接片11之间安装有挡块13；挡块13本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置，其特征在于：包括缓存台(1)、料框(3)、料座(2)、滚筒(6)输送机构、料框(3)定位机构；所述滚筒(6)输送机构设置在缓存台(1)顶部，所述料框(3)定位机构位于滚筒(6)输送机构的两侧用于对料框(3)进行定位，料座(2)位于滚筒(6)输送机构上方用于对晶棒(4)进行输送缓存。2.根据权利要求1所述的一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置，其特征在于：所述滚筒(6)输送机构包括多组滚筒组件，每组滚筒组件之间留有缝隙，料框(3)位于缝隙间，所述定位机构包括多组定位槽(7)，每组定位槽(7)包括两个定位槽(7)，定位槽(7)为U型形状，两个定位槽(7)槽口(111)相对设置，其中一组定位槽(7)位于前两组滚筒组件之间的缝隙两侧，另一组定位槽(7)位于最后一组滚筒组件之后，料框(3)分别插接在每组定位槽(7)上。3.根据权利要求2所述的一种在线切料座上晶棒固化的缓存装置，其特征在于：每组滚筒组件包括滚筒支架(9)、滚筒(6)、导向条(5)，所述滚筒支架(9)包括两个，滚筒(6)两端分别固定在两个滚筒支架(9)之间，导向条(5)设有两个，每个滚筒支架(9)上分别固定导向条(...
【专利技术属性】
技术研发人员：戴超，齐风，邢子淳，孙晨光，王彦君，
申请(专利权)人：中环领先半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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