【技术实现步骤摘要】
一种半导体加工用蒸发台
[0001]本专利技术用于半导体
，具体涉及一种半导体加工用蒸发台。
技术介绍
[0002]半导体，指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种；物质存在的形式多种多样，固体、液体、气体、等离子体等。通常把导电性差的材料，如煤、人工晶体、琥珀、陶瓷等称为绝缘体。而把导电性比较好的金属如金、银、铜、铁、锡、铝等称为导体。可以简单的把介于导体和绝缘体之间的材料称为半导体。与导体和绝缘体相比，半导体材料的发现是最晚的，直到20世纪30年代，当材料的提纯技术改进以后，半导体的存在才真正被学术界认可。
[0003]在半导体进行加工的过程中，会对半导体进行蒸发，在蒸发的过程中会产生大量水蒸气以及温度较高，现有市面上的半导体在蒸发的过程中无法对工作人员进行防护，无法避免在蒸发的同时有害物体进行溅射，以及在对蒸汽进行吸除的同时，无法对蒸汽内部的水蒸气中的有害气体进行吸附，直接排放导致污染的问题。
[0004]因此，专利技术一种半导体加工用蒸发台来解决上述问题很有必要。
技术实现思路
>[0005]本专利技术的目的是提供一种半导体加工用蒸发台，通过连接板进行定位板的位置固定，使用连接杆贯穿连接槽与蒸发台本体进行位置连接，最终使用连接螺帽进行位置确定，从而可对防护设备进行有效安装拆卸，降低了使用时的局限性并在蒸发时对其进行防护，通过转轴转动防护挡板，转动控制板带动插接螺杆贯穿连接卡板内部，使用锁紧螺环进行位置锁紧，当蒸发台本体内部发生炸裂情况时，缓冲挡板通过第一弹簧的弹力使第一滑块在第一滑槽内部滑动，从而对冲击力起到缓冲作用，避免外物溅射，可定时拆卸承载板进行损坏后的更换，以解决技术中的上述不足之处。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种半导体加工用蒸发台，包括蒸发台本体，所述蒸发台本体外壁一侧设置有定位板，所述定位板外壁一侧固定连接有连接板，所述连接板内部贯穿有连接槽，所述连接槽内部插接有连接杆，所述连接杆的数量设置有两个，两个所述连接杆延伸至蒸发台本体内部，所述连接杆外壁螺纹套接有连接螺帽，所述连接杆通过连接螺帽与连接槽固定连接，所述定位板外壁一侧通过转轴转动连接有防护挡板，所述防护挡板截面形状设为L形，所述防护挡板内壁一侧固定连接有连接挡板，所述连接挡板的数量设置有两组，每组所述连接挡板的数量设置有两个，两个所述连接挡板关
于防护挡板中轴线对称设置，所述连接挡板内壁一侧开设有第一滑槽，所述第一滑槽内部滑动连接有第一滑块，两个所述第一滑块之间固定连接有缓冲挡板，所述缓冲挡板外壁一侧与防护挡板之间固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的数量设置有多个，每相邻两个所述第一弹簧之间的距离相等，所述缓冲挡板外壁一侧为空心设置，所述缓冲挡板内壁设置有承载板，所述承载板内部四角处均螺纹插接有连接丝杆，所述连接丝杆延伸至缓冲挡板内部，所述防护挡板外壁一侧固定连接有可视板，所述可视板的数量设置有两个，两个所述可视板关于防护挡板中轴线对称设置；所述防护挡板外壁一侧底端通过转轴转动连接有控制板，所述控制板外壁一侧固定连接有插接螺杆，所述蒸发台本体外壁一侧固定连接有连接卡板，所述连接卡板截面形状设为C形，所述插接螺杆贯穿连接卡板延伸至底部，所述插接螺杆底部螺纹套接有锁紧螺环，所述插接螺杆通过锁紧螺环与连接卡板可拆卸连接。
[0007]优选的，所述蒸发台本体顶部设置有水蒸气吸附机构，所述水蒸气吸附机构包括固定块，所述固定块与蒸发台本体固定连接，所述固定块外壁一侧贯穿有第二滑槽，所述第二滑槽的数量设置有两个，两个所述第二滑槽关于固定块中轴线对称设置，所述第二滑槽内部滑动连接有第二滑块，所述第二滑块贯穿第二滑槽延伸至一侧，两个所述第二滑块外壁一侧固定连接有过滤板。
[0008]优选的，所述过滤板内部为空心设置，所述过滤板内壁固定连接有吸附布。
[0009]优选的，所述过滤板顶部一侧固定连接有定位块，所述固定块外壁一侧开设有定位孔，所述定位孔的数量设置有三个，每相邻两个所述定位孔之间的距离相等，所述定位块内部贯穿有定位杆，所述定位杆延伸至定位孔内部。
[0010]优选的，所述固定块外壁一侧固定连接有限位板，所述限位板内部贯穿有限位螺杆，所述限位螺杆的数量设置有两个，两个所述限位螺杆之间传动连接有连接皮带，所述限位螺杆延伸至限位板外壁一侧，所述限位板与限位螺杆连接处设置有轴承。
[0011]优选的，所述限位螺杆外壁螺纹套接有限位套环，所述限位套环的数量设置有两个，两个所述限位套环关于限位螺杆中轴线对称设置，所述限位板底部两侧均开设有第三滑槽，所述第三滑槽与限位套环滑动连接，所述限位套环截面形状设为T形。
[0012]优选的，每两个所述限位套环底部固定连接有夹紧板，所述夹紧板内壁两侧均开设有调节滑槽，所述调节滑槽内部均滑动连接有调节滑块，两个所述调节滑块之间固定连接有锁紧板，所述锁紧板截面形状设为L形，所述锁紧板顶部与夹紧板内壁之间固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧的数量设置有多个。
[0013]在上述技术方案中，本专利技术提供的技术效果和优点：1、通过连接板进行定位板的位置固定，使用连接杆贯穿连接槽与蒸发台本体进行位置连接，最终使用连接螺帽进行位置确定，从而可对防护设备进行有效安装拆卸，降低了使用时的局限性并在蒸发时对其进行防护，通过转轴转动防护挡板，转动控制板带动插接螺杆贯穿连接卡板内部，使用锁紧螺环进行位置锁紧，当蒸发台本体内部发生炸裂情况时，缓冲挡板通过第一弹簧的弹力使第一滑块在第一滑槽内部滑动，从而对冲击力起到缓冲作用，避免外物溅射，可定时拆卸承载板进行损坏后的更换；2、通过将需要进行使用的风机放置于两个夹紧板以及锁紧板之间，根据风机的体积大小，转动限位螺杆外壁的转柄，由于限位螺杆外壁两侧的螺纹为反向设置，从而转动的
同时带动两个限位套环反向移动号，进一步使两个夹紧板对风机进行夹紧，可根据风机的宽度，拉动锁紧板，使锁紧板通过第二弹簧的弹力对风机起到反弹夹紧的效果，进一步进行位置固定，固定完毕后，使用定位杆确定过滤板的位置，从而在吸附水蒸气的同时，吸附布可吸附水蒸气中的有害杂质，避免直接排放的问题。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1为本专利技术的整体结构示意图；图2为本专利技术连接板的放大结构示意图；图3为本专利技术连接挡板的侧本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于半导体加工用蒸发台，包括蒸发台本体（1），其特征在于，所述蒸发台本体（1）外壁一侧设置有定位板（2），所述定位板（2）外壁一侧固定连接有连接板（3），所述连接板（3）内部贯穿有连接槽（4），所述连接槽（4）内部插接有连接杆（5），所述连接杆（5）的数量设置有两个，两个所述连接杆（5）延伸至蒸发台本体（1）内部，所述连接杆（5）外壁螺纹套接有连接螺帽（6），所述连接杆（5）通过连接螺帽（6）与连接槽（4）固定连接，所述定位板（2）外壁一侧通过转轴转动连接有防护挡板（7），所述防护挡板（7）截面形状设为L形，所述防护挡板（7）内壁一侧固定连接有连接挡板（8），所述连接挡板（8）的数量设置有两组，每组所述连接挡板（8）的数量设置有两个，两个所述连接挡板（8）关于防护挡板（7）中轴线对称设置，所述连接挡板（8）内壁一侧开设有第一滑槽（9），所述第一滑槽（9）内部滑动连接有第一滑块（10），两个所述第一滑块（10）之间固定连接有缓冲挡板（11），所述缓冲挡板（11）外壁一侧与防护挡板（7）之间固定连接有第一弹簧（12），所述第一弹簧（12）的数量设置有多个，每相邻两个所述第一弹簧（12）之间的距离相等，所述缓冲挡板（11）外壁一侧为空心设置，所述缓冲挡板（11）内壁设置有承载板（13），所述承载板（13）内部四角处均螺纹插接有连接丝杆（14），所述连接丝杆（14）延伸至缓冲挡板（11）内部，所述防护挡板（7）外壁一侧固定连接有可视板（15），所述可视板（15）的数量设置有两个，两个所述可视板（15）关于防护挡板（7）中轴线对称设置；所述防护挡板（7）外壁一侧底端通过转轴转动连接有控制板（16），所述控制板（16）外壁一侧固定连接有插接螺杆（17），所述蒸发台本体（1）外壁一侧固定连接有连接卡板（18），所述连接卡板（18）截面形状设为C形，所述插接螺杆（17）贯穿连接卡板（18）延伸至底部，所述插接螺杆（17）底部螺纹套接有锁紧螺环（19），所述插接螺杆（17）通过锁紧螺环（19）与连接卡板（18）可拆卸连接。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体加工用蒸发台，其特征在于：所述蒸发台本体（1）顶部设置有水蒸气吸附机构（20），所述水蒸气吸附机构（20）包括固定块（21），所述固定块（21）与蒸发台本体（1）固定连接，...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘超超，高娟，
申请(专利权)人：上海芯莘科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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