一种安全可靠的超纯水氮封系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种安全可靠的超纯水氮封系统，包括一用于储存超纯水的储罐，储罐顶部设有一与超纯水产水设备连接的超纯水进水口，储罐底部设有一超纯水出水口，储罐顶部还安装一用于检测储罐气压的气相压力表，且储罐顶部还开设一用于输入氮气的氮气输入口，氮气输入口通过一进氮阀与外部供氮设备连接，进氮阀与气相压力表通过氮封系统的控制系统信号连接；还包括一用于保护储罐的水封装置，储罐侧边开设一溢流口，水封装置设有一与溢流口连接的溢流对接口，水封装置底部设有用于排出溢流口输入的多余氮气的排放管，水封装置还设有一用于将外部空气吸入储罐内的负压补气口。本实用新型专利技术技术方案避免在缺氮情况下，造成超纯水储罐损坏。纯水储罐损坏。纯水储罐损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种安全可靠的超纯水氮封系统


[0001]本技术涉及超纯水
，特别涉及一种安全可靠的超纯水氮封系统。

技术介绍

[0002]近年来随着半导体行业的快速发展，越来越多的超纯水项目，超纯水终端二次污染问题日趋显现，与此极不协调的是超纯水技术发展时间不长，超纯水终端系统技术已成为当前社会快速发展的瓶颈；为保证终端出水电阻率，降低超纯水进入储罐后受到空气中尘埃、二氧化碳等污染，缓解超纯水受到的二次污染问题，一直以来国内应用了进氮阀+泄氮阀(或简易PE水封箱)的氮封技术，避免超纯水受到二次污染。但现有技术受工艺条件的限制，储罐存在安全隐患，在缺氮气的情况下会把超纯水储罐吸扁、吸破，对设备造成不可估量的损害。
[0003]因此，现有技术存在缺陷，需要改进。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的是提出一种安全可靠的超纯水氮封系统，避免在缺氮情况下，造成超纯水储罐损坏。
[0005]为实现上述目的，本技术提出的一种安全可靠的超纯水氮封系统，包括一用于储存超纯水的储罐，所述储罐顶部设有一与超纯水产水设备连接的超纯水进水口，所述储罐底部设有一超纯水出水口，所述储罐顶部还安装一用于检测储罐气压的气相压力表，且所述储罐顶部还开设一用于输入氮气的氮气输入口，所述氮气输入口通过一进氮阀与外部供氮设备连接，所述进氮阀与所述气相压力表通过氮封系统的控制系统信号连接；还包括一用于保护储罐的水封装置，所述储罐侧边开设一溢流口，所述水封装置设有一与所述溢流口连接的溢流对接口，所述水封装置底部设有用于排出溢流口输入的多余氮气的排放管，所述水封装置还设有一用于将外部空气吸入储罐内的负压补气口。
[0006]优选地，所述水封装置包括一箱体，所述箱体内设有一用于将所述箱体分隔为上箱体和下箱体的隔板，所述上箱体和下箱体内均容置有用于水封的液体；所述上箱体顶部设有所述溢流对接口，所述溢流对接口与所述溢流口通过一溢流管连接，所述下箱体底部设有所述排放管；所述上箱体与所述下箱体之间通过至少一连通管连通；所述上箱体顶部还设有所述负压补气口、用于对箱体进行补充液体的补液管；所述负压补气口通过一补气管延伸至所述上箱体的液体内，且所述补气管内安装一单向阀，所述单向阀用于外部空气流入上箱体内；所述补液管底端设于所述上箱体的液体上方，且所述补液管底部安装一浮球阀，所述浮球阀设有一漂浮于所述上箱体液体表面的浮球。
[0007]优选地，所述连通管的数量设置为一个。
[0008]优选地，所述连通管顶部与所述上箱体液体表面平齐，所述连通管底部延伸至所述下箱体液体内。
[0009]优选地，所述排放管顶端与所述下箱体液体表面平齐。
[0010]优选地，所述箱体设置为透明亚克力材质制成的结构。
[0011]优选地，所述进氮阀设置为一自力式进氮阀。
[0012]优选地，所述超纯水产水设备设置为EDI产水设备。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：有效隔绝外界空气，保护超纯水不被空气中的二氧化碳、粉尘等二次污染，确保超纯水品质；当氮气耗尽或进氮阀出现故障导致缺氮气，储罐内产生负压时，破坏水封，吸入外界空气避免储罐负压吸扁、吸破，有效的防止负压对设备造成不可估量的损害。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
[0015]图1为本技术氮封系统结构示意图；
[0016]图2为本技术水封装置结构示意图；
[0017]本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0018]本实施例提出的一种安全可靠的超纯水氮封系统，参考图1，包括一用于储存超纯水的储罐1，所述储罐1顶部设有一与超纯水产水设备连接的超纯水进水口11，所述超纯水产水设备设置为EDI产水设备。所述储罐1底部设有一超纯水出水口12，所述储罐1顶部还安装一用于检测储罐1气压的气相压力表13，且所述储罐1顶部还开设一用于输入氮气的氮气输入口14，所述氮气输入口14通过一进氮阀15与外部供氮设备连接，所述进氮阀15设置为一自力式进氮阀15，所述进氮阀15与所述气相压力表13通过氮封系统的控制系统信号连接；还包括一用于保护储罐1的水封装置2，所述储罐1侧边开设一溢流口16，所述水封装置2设有一与所述溢流口16连接的溢流对接口22，所述水封装置2底部设有用于排出溢流口16输入的多余氮气的排放管23，所述水封装置2还设有一用于将外部空气吸入储罐1内的负压补气口24。
[0019]应当说明的是，储罐1内液面状态包括两种，液面上升和液面下降，对于密闭储罐1，液面上升即正压需要排气(排出多余的氮气)，液面下降即负压需要补气(补充保护气体)。此外还有可能存在异常状态(进氮故障或氮气耗尽)，此时，无保护气体可补充，这时由水封装置2的负压进气口补充外界空气，以免设备造成不可估量的损害。
[0020]具体地，常态下液面上升时：为维持储罐1内气相空间压力在2.5KPa左右，当气相压力表13检测到压力高于2.5KPa时，自力式进氮阀15自动关闭，停止氮气供应，由于液面不断上升，多余的氮气经过储罐1溢流口16流入水封装置2，而设定的水封压力不足以压住氮气，多余的氮气只能经排放管23排到系统之外以保证储罐1内气相空间压力稳定在设定范围之内。
[0021]常态下液面下降时：为维持储罐1内气相空间压力在2.5KPa左右，当气相压力表13检测到压力低于2.5KPa时，自力式进氮阀15自动打开，向储罐1供应氮气，以保证储罐1内气
相空间压力稳定在设定范围之内。
[0022]非常态下液面下降时：此状况为储罐1无法正常补充氮气时，外界的空气由水封装置2的负压补气口24流入至储罐1内，具体负压值可设定，以防止储罐1因负压吸扁、吸破，对设备造成不可估量的损害。
[0023]进一步地，参考图2，所述水封装置2包括一箱体21，所述箱体21内设有一用于将所述箱体21分隔为上箱体211和下箱体212的隔板213，所述上箱体211和下箱体212内均容置有用于水封的液体；所述上箱体211顶部设有所述溢流对接口22，所述溢流对接口22与所述溢流口16通过一溢流管17连接，所述下箱体212底部设有所述排放管23；所述上箱体211与所述下箱体212之间通过至少一连通管25连通；所述上箱体211顶部还设有所述负压补气口24、用于对箱体21进行补充液体的补液管26；所述负压补气口24通过一补气管27延伸至所述上箱体211的液体内，且所述补气管27内安装一单向阀28，所述单向阀28用于外部空气流入上箱体211内；所述补液管26底端设于所述上箱体211的液体上方，且所述补液管26底部安装一浮球阀29，所述浮球阀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种安全可靠的超纯水氮封系统，其特征在于，包括一用于储存超纯水的储罐，所述储罐顶部设有一与超纯水产水设备连接的超纯水进水口，所述储罐底部设有一超纯水出水口，所述储罐顶部还安装一用于检测储罐气压的气相压力表，且所述储罐顶部还开设一用于输入氮气的氮气输入口，所述氮气输入口通过一进氮阀与外部供氮设备连接，所述进氮阀与所述气相压力表通过氮封系统的控制系统信号连接；还包括一用于保护储罐的水封装置，所述储罐侧边开设一溢流口，所述水封装置设有一与所述溢流口连接的溢流对接口，所述水封装置底部设有用于排出溢流口输入的多余氮气的排放管，所述水封装置还设有一用于将外部空气吸入储罐内的负压补气口。2.如权利要求1所述的安全可靠的超纯水氮封系统，其特征在于，所述水封装置包括一箱体，所述箱体内设有一用于将所述箱体分隔为上箱体和下箱体的隔板，所述上箱体和下箱体内均容置有用于水封的液体；所述上箱体顶部设有所述溢流对接口，所述溢流对接口与所述溢流口通过一溢流管连接，所述下箱体底部设有所述排放管；所述上箱体与所述下箱体之间通过至少一连通管连通；所述上箱...

【专利技术属性】
技术研发人员：李立雄，李金权，具战武，
申请(专利权)人：深圳市膜立泉特种水处理科技有限公司，
类型：新型
国别省市：