使用喷墨印刷进行图案形成的装置及方法制造方法及图纸

公开了一种使用喷墨印刷进行图案形成的装置和方法。根据本发明专利技术的一个方面的使用喷墨印刷进行图案形成的方法可以包括：通过利用喷墨印刷喷射溶液来形成图案；以及通过在图案上进行热处理的同时施加大于或等于大气压的压力来获得平坦度，其中，图案的横截面通过喷墨印刷形成有凸形表面，并且通过施加压力使相同的力垂直地施加于图案的每个表面上而平坦化。的力垂直地施加于图案的每个表面上而平坦化。的力垂直地施加于图案的每个表面上而平坦化。

【技术实现步骤摘要】
使用喷墨印刷进行图案形成的装置及方法

技术介绍
1.

[0001]本专利技术涉及一种使用喷墨印刷进行图案形成的装置及方法，更具体地涉及一种能够使喷射的溶液的表面平坦化的图案形成装置及方法。
[0002]2.现有技术的描述
[0003]在用于有机发光二极管(OLED)和液晶显示(LCD)装置的滤色器的制造方面的最新趋势包括对使用诸如RGB(红色、绿色、蓝色)、黄色、白色和透明的染料和颜料等各种材料通过喷墨印刷来形成图案正在进行的研究。这是因为，使用掩模的光致抗蚀工艺，排出到预期图案之外的区域上的材料被废弃，导致材料成本的增加。
[0004]然而，使用喷墨印刷难以将RGB形式的喷墨材料或封闭在分隔壁内的各种其他溶液平坦化至所需程度。而且，尽管光致抗蚀工艺能够形成已经平坦化的图案，但是使用喷墨印刷进行这种平坦化可能是非常困难的，因为排放在分隔壁之间的少量(即，一滴或两滴)的溶液会受到各种力，例如溶液的内聚力、粘附力、粘度等以及材料本身的表面张力。另外，除了表面张力之外，分隔壁或与溶液接触的部分的表面处理的状态、溶液内的溶剂的组成比或溶质的形式也可能具有很大影响。
[0005]根据用于喷墨印刷的溶液的类型以及接触溶液的物质的性质、形式等，溶液的横截面可以具有各种形状，如图1所示。在此，最理想的形状是诸如图(a)所示的平面形状，并且大多数喷墨溶液具有诸如图(b)所示的凸形形状。在一些情况下，喷射的喷墨溶液还可以具有诸如图(c)所示的凹陷形状。
[0006]对通过喷墨印刷而喷射到分隔壁的内侧的溶液进行热处理以去除不必要的溶剂并干燥，由此进行在分隔壁内硬化成图案的工序。如果经由热处理除去溶剂后剩余的物质是水平的，这将是令人满意的。但是，根据溶液的性质、分隔壁的处理条件以及热处理条件，表面通常不是水平的或者平坦的，如图2 的(b)、(c)和(d)所示的例子。如果图案的表面不是平坦的，则在每个位置处厚度可能不同，这由于色彩再现和透射率的差异，相应地可能被表现为显示质量的缺陷。

技术实现思路

[0007]为了解决上述问题而提出的本专利技术的一个方面是提供一种用于图案形成的装置和方法，其能够使通过喷墨印刷喷射的溶液平坦化。
[0008]从下面公开的本专利技术的实施例中，将更清楚地理解本专利技术的其他目的。
[0009]根据本专利技术的一个方面的使用喷墨印刷进行图案形成的方法可以包括：通过利用喷墨印刷喷射溶液来形成图案；以及通过在图案上进行热处理的同时施加大于或等于大气压的压力来获得平坦度，其中，图案的横截面通过喷墨印刷形成有凸形表面，并且通过施加压力使相同的力垂直地施加于图案的每个表面上而平坦化。
[0010]基于本专利技术的使用喷墨印刷的图案形成方法可以包括以下实施例中的一个或多
个。例如，可以进一步包括在基板的一侧上形成分隔壁的操作，其中溶液可以被喷射到分隔壁的内侧。图案可以是用于显示器的滤色器。
[0011]可以通过热板、灯以及热风机中的至少一种执行热处理，并且可以执行热处理以对所喷射的溶液进行干燥和硬化。
[0012]根据本专利技术的一个方面的使用喷墨印刷的图案形成装置可以包括：腔室，所述腔室具有密封的内部空间；热处理单元，所述热处理单元被配置为对位于内部空间中的基板实施热处理；以及加压单元，所述加压单元被配置成通过在内部空间中施加大于或等于大气压的压力来使形成在基板上的图案平坦化。
[0013]热处理单元可包括热板、灯和热风机中的至少一者。
[0014]利用上述的本专利技术的解决问题的手段，可以期待包括以下效果的各种有益效果。然而，这并不一定意味着本专利技术必须表现出下面的所有效果。
[0015]本专利技术的实施例可以提供一种能够使通过喷墨印刷喷射的溶液平坦化的图案形成装置和方法。
[0016]本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分地阐述，并且部分地从描述中将是显而易见的，或者可以通过本专利技术的实施而获知。
附图说明
[0017]图1示出了在通过使用喷墨印刷将溶液喷射到分隔壁的内侧之后获得的可能的横截面。
[0018]图2示出了在通过使用喷墨印刷将溶液喷射到分隔壁的内侧并实施热处理之后获得的可能的横截面。
[0019]图3是示出根据本专利技术的实施例的用于进行图案形成的方法的流程图。
[0020]图4是示出由通过喷墨印刷被喷射到分隔壁的内侧的溶液形成的图案的剖视图。
[0021]图5是示出在通过喷墨印刷被喷射到分隔壁的内侧之后受到压力的溶液的剖视图。
[0022]图6是示出在喷射到分隔壁的内侧的溶液受到压力而平坦化之后的剖视图。
[0023]图7是示出根据本专利技术的第一公开实施例的图案形成装置的图。
[0024]图8是示出根据本专利技术的第二公开实施例的图案形成装置的图。
[0025]图9是示出根据本专利技术的第三公开实施例的图案形成装置的图。图10示出了通过使用喷墨印刷形成金属布线后使其表面平坦化而获得的横截面。
具体实施方式
[0026]由于本专利技术允许各种改变和许多实施例，因此特定实施例将在附图中示出并在书面描述中详细描述。然而，这并不旨在将本专利技术限于特定的实施模式，并且应当理解的是，不背离本专利技术的精神和技术范围的所有改变、等同物和替代物都被本专利技术涵盖。在本专利技术的描述中，现有技术的某些详细说明如果被认为可能不必要地使本专利技术的本质模糊不清则会省略。
[0027]本说明书中使用的术语仅用于描述特定实施例，而不旨在限制本专利技术。除非在上下文中具有明显不同的含义，否则单数形式的表达包括复数形式的表达。在本说明书中，应
当理解的是，诸如“包括”或“具有”等的术语旨在指示在说明书中公开的特征、数量、步骤、动作、部件、部分或其组合的存在，而并不旨在排除可能存在或可以添加一个或多个其他特征、数量、步骤、动作、部件、部分或其组合的可能性。
[0028]尽管可以使用诸如“第一”和“第二”等这样的术语来描述各种部件，但是这些部件不一定限于以上术语。以上术语仅用于将一个部件与另一个部件区分开。
[0029]下面将参照附图更详细地描述本专利技术的某些实施例。相同或对应的那些部件被赋予相同的附图标记，并且将省略重复的描述。
[0030]图3是示出根据本专利技术实施例的用于进行图案形成的方法的流程图，图4 是示出通过由喷墨喷嘴140喷射到分隔壁110的内侧的溶液142形成的图案 120的剖视图。图5是示出在分隔壁110的内侧上形成的图案120受到压力的剖视图。图6是示出图案120在受到压力而平坦化之后的剖视图。
[0031]参考图3至图6，根据本专利技术的实施例的用于进行图案形成的方法可以包括：在基板130上的非像素部分中形成分隔壁110；通过使用喷墨装置140将溶液142喷射到分隔壁110的内侧来形成图案120；以及通过在图案120上进行热处理的同时施加压力从而在图案120的表面上获得平坦度。
[0032]首先，可以在基板130上的非像素部分中形成用于形成像素的分隔壁110。对于基板1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种使用喷墨印刷进行图案形成的方法，所述方法包括：通过利用喷墨印刷喷射溶液来形成图案；以及通过在所述图案上进行热处理的同时施加大于或等于大气压的压力来获得平坦度，其中，所述图案的横截面通过所述喷墨印刷形成有凸形表面，并且通过施加压力使相同的力垂直地施加于所述图案的每个表面上而平坦化。2.根据权利要求1所述的使用喷墨印刷进行图案形成的方法，还包括：在基板的一侧上形成分隔壁，其中，所述溶液被喷射到所述分隔壁的内侧。3.根据权利要求1所述的使用喷墨印刷进行图案形成的方法，其中，所述图案是用于显示器的滤色器。4.根据权利要求1所述的使...

【专利技术属性】
技术研发人员：李凤雨，
申请(专利权)人：李凤雨，
类型：发明
国别省市：