本发明专利技术公开一种光掩模盒，包括：本体、盖体、滑轨构件、滑扣构件及盖合对应件，滑轨构件具有凹陷部及插槽部并定义锁定方向，凹陷部自插槽部沿锁定方向凸伸，滑扣构件可滑动地设置于滑轨构件，滑扣构件具有扣部及弹性臂，弹性臂插设于插槽部的插槽，扣部具有高度匹配插槽部的扣槽，扣槽的开口位置的上方设有斜导面，其中于盖体相对本体自开启状态转为闭合状态，盖合对应件沿斜导面推挤滑扣构件，使滑扣构件被压缩，盖合对应件通过斜导面而进入扣槽的开口，弹性臂释放弹性位能而使滑扣构件回弹。经由本发明专利技术的光掩模盒，可解决光掩模盒的锁扣问题。题。题。
【技术实现步骤摘要】
光掩模盒
[0001]本专利技术涉及一种光掩模盒，更特别的是涉及一种可锁扣的光掩模盒。
技术介绍
[0002]先进微影制程中，特别是EUV(极紫外光)微影制程，对制程环境的洁净度要求极高。若有尘粒(particle)污染光掩模，则会造成微影制程的缺陷。为达到洁净度与保护光罩的需求，一般使用光掩模盒以阻拦外界的尘粒。为了防止光掩模盒的上下盖不预期地被打开，一般在光掩模盒的开启处设有锁扣，可锁定光掩模盒的上下盖。然而，这些锁扣需要进一步地操作才能上锁，若是仅将光掩模盒关闭而忘记将锁扣上锁，光掩模盒仍会轻易地被打开，尘粒就极容易进入光掩模盒中污染光掩模。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的在于解决公知光掩模盒的种种问题，提出一种可锁扣的光掩模盒。
[0004]为达上述目的及其他目的，本专利技术提出一种光掩模盒，其包含：开口朝上的本体；开口朝下的盖体，该盖体的第一侧与该本体的第一侧枢接，而相对盖合形成容置光掩模的存放空间；至少一个滑轨构件，设置于该本体的相反于该第一侧的第二侧，该滑轨构件具有凹陷部及插槽部并沿该第二侧定义锁定方向，该凹陷部自该插槽部沿该锁定方向凸伸，该凹陷部的高度低于该插槽部，该插槽部具有插槽；至少一个滑扣构件，可滑动地设置于该滑轨构件，该滑扣构件具有扣部及弹性臂，该弹性臂自该扣部反向该锁定方向凸伸，该弹性臂插设于该插槽，该扣部具有高度匹配该插槽部的扣槽，该扣槽的开口位置的上方设有斜导面；以及至少一个盖合对应件，设置于该盖体的第二侧且位置对应于该凹陷部，其中，于该盖体相对该本体自开启状态转为闭合状态，该盖合对应件先沿该斜导面推挤该滑扣构件，使该滑扣构件于自由位置被推入紧压位置而使该弹性臂被压缩，该盖合对应件后通过该斜导面而进入该扣槽的开口，该弹性臂释放弹性位能而使该滑扣构件回弹至该自由位置，于该盖体相对该本体为闭合状态，该滑扣构件可经外力而自该自由位置沿该锁定方向移动至锁定位置，于该锁定位置，该凹陷部及该盖合对应件位于该扣槽。
[0005]可选地，该盖合对应件通过该斜导面而进入该扣槽的开口，该盖合对应件的第一端的一端部与该扣部相干涉。
[0006]可选地，该盖合对应件的第二端设有止挡部，该第二端反向于该第一端。
[0007]可选地，还包括弹性构件，设置于该本体及该盖体之间，于该滑扣构件自该锁定位置移动到紧压位置，该弹性构件所储存的弹性位能使该盖体转为开启状态。
[0008]可选地，该插槽的开口朝上。
[0009]可选地，该弹性臂具有插入端及弹性部，该弹性部连接该插入端及该扣部，该插入端插入该插槽。
[0010]可选地，该滑扣构件具有彼此对称的两个弹性臂，分别自该滑轨构件的插槽部的上下两端插入该插槽。
[0011]可选地，该滑扣构件具有平行该锁定方向的镜射对称轴。
[0012]可选地，该扣部的外表面为凸面。
[0013]可选地，还包括轴套构件及转轴，该轴套构件设置于该本体的第一侧，该转轴设置于该盖体的第一侧，该转轴具有旋转颈部及头部，该头部偏心地连接于该旋转颈部，该轴套构件具有形状对应该头部的穿孔而使该转轴穿置于该轴套构件。
[0014]借此，本专利技术的光掩模盒，只要将盖体下压于本体，滑扣构件的弹力可使滑扣构件复位而一定程度地锁定盖体与本体。即便忘记进一步将滑扣构件移动至锁定位置，滑扣构件依然可确保光掩模盒不被轻易地被打开，避免所储存的光掩模受到尘粒污染。本专利技术的光掩模盒相对现有技术，可改善光掩模盒在使用上的便利及安全性，降低因疏失而产生的制程成本。
[0015]为使能更进一步了解本专利技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关专利技术的详细说明与附图，但是此说明与所附附图仅用来说明本专利技术，而非对本专利技术的权利范围作任何的限制。
附图说明
[0016]图1为本专利技术实施例的光掩模盒的立体示意图。
[0017]图2为本专利技术实施例的光掩模盒的爆炸示意图。
[0018]图3为本专利技术实施例的滑轨构件的立体示意图。
[0019]图4为本专利技术实施例的滑轨构件的另一视角示意图。
[0020]图5为本专利技术实施例的滑轨构件的外观示意图。
[0021]图6为本专利技术实施例的滑扣构件的另一视角示意图。
[0022]图7为本专利技术实施例的滑扣构件安装于滑轨构件的示意图。
[0023]图8为本专利技术实施例的滑扣构件于自由位置的示意图。
[0024]图9为本专利技术实施例的滑扣构件于紧压位置的示意图。
[0025]图10为本专利技术实施例的盖合对应件进入扣槽的示意图。
[0026]图11A为本专利技术实施例的盖合对应件第一端与扣部相干涉的示意图。
[0027]图11B为本专利技术实施例的盖合对应件进入扣槽的剖面图。
[0028]图12为本专利技术实施例的滑扣构件于锁定位置的示意图。
[0029]图13为本专利技术实施例的转轴的立体示意图。
[0030]图14为本专利技术实施例的轴套构件及转轴的组装示意图。
[0031]图15为本专利技术实施例的轴套构件及转轴的外观示意图。
[0032]图16为本专利技术另一实施例的滑扣构件的外观示意图。
[0033]附图标记：
[0034]100 光掩模盒
[0035]1 本体
[0036]11 第一侧
[0037]12 第二侧
[0038]2 盖体
[0039]21 第一侧
[0040]22 第二侧
[0041]3 滑轨构件
[0042]31 凹陷部
[0043]32 插槽部
[0044]321 插槽
[0045]322 插槽
[0046]4 滑扣构件
[0047]4a 滑扣构件
[0048]41 扣部
[0049]41a 扣部
[0050]411 扣槽
[0051]412 斜导面
[0052]412a 斜导面
[0053]413 外表面
[0054]42 弹性臂
[0055]42a 弹性臂
[0056]421 插入端
[0057]421a 插入端
[0058]422 弹性部
[0059]422a 弹性部
[0060]43 操作部
[0061]5 盖合对应件
[0062]51 端部
[0063]52 止挡部
[0064]6 弹性构件
[0065]7 轴套构件
[0066]71 穿孔
[0067]8 转轴
[0068]81 旋转颈部
[0069]82 头部
[0070]d 锁定方向
[0071]S 存放空间
具体实施方式
[0072]为了充分了解本专利技术，通过下述具体的实施例，并配合所附的附图，对本专利技术做一详细说明。本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本专利技术的目的、特征及功效。须注意的是，本专利技术可通过其他不同的具体实施例加以本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光掩模盒，其特征在于，所述光掩模盒包括：开口朝上的本体；开口朝下的盖体，所述盖体的第一侧与所述本体的第一侧枢接，而相对盖合形成容置光掩模的存放空间；至少一个滑轨构件，设置于所述本体的相反于所述第一侧的第二侧，所述滑轨构件具有凹陷部及插槽部并沿所述第二侧定义锁定方向，所述凹陷部自所述插槽部沿所述锁定方向凸伸，所述凹陷部的高度低于所述插槽部，所述插槽部具有插槽；至少一个滑扣构件，可滑动地设置于所述滑轨构件，所述滑扣构件具有扣部及弹性臂，所述弹性臂自所述扣部反向所述锁定方向凸伸，所述弹性臂插设于所述插槽，所述扣部具有高度匹配所述插槽部的扣槽，所述扣槽的开口位置的上方设有斜导面；以及至少一个盖合对应件，设置于所述盖体的第二侧且位置对应于所述凹陷部，其中，于所述盖体相对所述本体自开启状态转为闭合状态，所述盖合对应件先沿所述斜导面推挤所述滑扣构件，使所述滑扣构件于自由位置被推入紧压位置而使所述弹性臂被压缩，所述盖合对应件后通过所述斜导面而进入所述扣槽的开口，所述弹性臂释放弹性位能而使所述滑扣构件回弹至所述自由位置，于所述盖体相对所述本体为闭合状态，所述滑扣构件可经外力而自所述自由位置沿所述锁定方向移动至锁定位置，于所述锁定位置，所述凹陷部及所述盖合对应件位于所述扣槽。2.根据权利要求1所述的光掩模盒，其特征在于，所述盖合对应件通过所述斜导面...
【专利技术属性】
技术研发人员：庄家和，薛新民，禇育辰，邱铭乾，
申请(专利权)人：家登精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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