标线片的装入和取出装置制造方法及图纸

一种标线片装入和取出装置，包括一带门的盒子，门比该盒的前面宽度长；一带臂的操纵器，用以将标线片插入盒内或从盒内抽出标线片；还包括用以开启和关闭所述门的开启和关闭机构。该标线片传感器检测一标线片是否已装入了盒内。于是，在检测该标线片是否装入了盒内之后，该操纵器就可以将标线片插入盒内或者自盒内抽出标线片。这种装置避免已装入盒内的标线片与另一个要插入的标线片之间的碰撞。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

Loading and unloading device for reticle

A reticle loading and unloading device, comprising a box door, in front of the box than the width of the long arm; along the manipulator to insert a reticle box or from the box out of the reticle; also used to open and close the door opening and closing mechanism. The reticle sensor detects whether a reticle is in the box. Thus, after detecting whether the reticle is loaded into the box, the manipulator can insert the reticle into the box or draw the reticle from the box. The device avoids the collision between the reticle in the box and the other piece to be inserted.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种相对于一个盒子装入/取出标线片的标线片装入和取出装置。附图说明图1所示的一般结构的标线片有一块晶片或者基板，上面有原图，用以构成电极图样(例如用于液晶的显示装置)。参照图1，一标线片100包括玻璃基板101，在其上表面或者下表面上形成一预先确定的曝光图样；玻璃基板101的上表面和下表面上分别装配有上膜102和下膜102，以使外界物质(灰尘颗粒)不致附着到该玻璃基板上。由于标线片的高成本及易碎性，在整个制作过程中都极为小心地保护标线片。将标线片放在一个盒子内，以便存放许多这类标线片。这种盒子被支承在位于操纵器前方的支承台架上，以便在制作过程中间歇地将标线片插入盒内/自盒内抽出。为了在晶片上或者基板上形成电极图样，曝光操作需要将该标线片从盒内取出，处理之后，再重新插入盒中。操纵器就用来插入/抽出标线片。当利用操纵器将一特定的标线片从盒内取出时，操纵器中的控制部份记下其中存放该标线片的盒的精确位置。然而，万一发生操纵器故障，无论是由于操纵者的错误，或是机械故障或程序错误，由操纵器移送的标线片就可能与已经存在于盒内的被装入的标线片相碰撞，从而损坏该昂贵的标线片。为了解决这个问题，可在每个盒的位置装设一个检测标线片用的传感器，以便判定已存放于其中的一标线片的存在。但是，盒子的简单且气密的结构妨碍着传感器的装设。再有，由于不能带有驱动器，因其电场/电荷将吸引外界颗粒之故，就使这样的传感器的选择大大受到限制。因此，该操纵器的动作往往起到不利的作用。为了解决上述问题，本专利技术的目的在于提供一种标线片装入和取出装置，当利用操纵器插入标线片时，通过检测盒内是否已装入了一标线片，以避免标线片之间碰撞。本专利技术的另一目的在于提供一种标线片装入和取出装置，它具有当确定盒内是否已装有标线片时，能减少外界颗粒引入的检测装置。为实现上述目的，按照本专利技术的一个方面，正如这里所具体举例概括描述的那样，一种标线片装入和取出装置包括一带门的盒子，门比盒的前面宽度长；一带臂的操纵器，用于将标线片插入盒内，或者从盒内抽出该标线片，该操纵器中的开启和关闭机构，用来开启和关闭所述的门；以及在该臂的至少一边和开关机构上的检测装置，用以检查盒内是否已装入标线片。按照本专利技术的另一方面，一种标线片装入和取出装置包括一带门的盒子，门位于该盒的前面；一带臂的操纵器，用以将标线片插入盒内或者从盒内抽出标线片；操纵器中的开启和关闭机构、用于开启和关闭所述的门；以及检测机构，用以检查盒内是否已装入标线片，该检测机构存在于该盒子的至少一个侧面。按照本专利技术的再一方面，一种标线片装入和取出装置包括一支承台架，用以支承彼此分开一预定距离的若干个盒子；一带臂的操纵器，用于将标线片选择性地插入支承台架所支承的多个盒子中的每一个中，或者选择性地从这些盒子的每一个抽出标线片；操纵器中的开启和关闭机构，用以开启和关闭所述的门；一重量传感器，用以检测对应的各盒当中之一的重量，该重量传感器位于支承台架中相应盒子的下面，和一控制部分，根据由该传感器测得的重量确定该盒内是否已装入了标线片。应当理解，上面的一般描述以及下面的详细描述均为举例性和说明性的，意在像所要求的那样给出对本专利技术的进一步说明。给出几幅附图，以提供对本专利技术的进一步的理解，而且它们也被归入并构成本说明书的一部分，它们表示了本专利技术的几种具体实施方式，并与本描述一起用作说明本专利技术的原理。参照附图，通过详细描述优选的实施例将使本专利技术的上述目的和优点变得愈加清楚，其中图1是本专利技术及现有技术中所用普通标线片的透视图；图2是本专利技术标线片装入和取出装置的透视图；图3是表示一个盒子的门被开启/关闭部分开启状态下的透视图；图4和5是本专利技术标线片检测装置另一种实施例的透视图；图6是表示本专利技术标线片检测装置再一种实施例的侧视图。根据本专利技术的一标线片装入和取出装置来检查盒内是否已装入标线片，以及将标线片插入盒内或从其中抽出标线片，图2和3表示它的一种实施例。本专利技术的标线片装入和取出装置包括一操纵器300，它装有XY平台302；一个由支柱410支撑的支承台架400，它靠近操纵器300，其中布置着多个盒子200，每个盒子用于存放标线片100；一个开启/关闭装置500，用以开启和关闭盒子的门203，它被装在XY平台302上；还包括一传感器600，用来检测所选的盒内是否已装入了标线片，它装在操纵器上或者开启/关闭装置500上。如图3所示，多个盒子200当中的每一个均包括一个主体202，其中提供一个容纳标线片100的空间201；还包括门203，门的一端从主体202一侧伸出一预定之长度，它被可转动的安装在主体202的前面，用以将到空间201的入口紧密地关闭。操纵器300包括一主体301，该主体上安装着一个以向上、向下以及沿着X和Y方向移动之XY平台302，还包括一臂310，用以将标线片100插入盒内或者从其中抽出标线片。该臂310装在XY平台302上，可相对于该XY平台沿X方向向后和向前移动。该臂310具有互相平行的支承指状物311，得以支承标线片100的两个侧缘，它还有吸孔312，通过这些吸孔在支承指状物311的上表面形成抽吸力作用。臂310借助于装在XY平台302上的诸如液压缸501之类的部件向后和向前移动。另外，XY平台302为可沿X-及Y-轴方向移动的普通平台。该XY平台302借助由马达转动并装在一个主体内的球状螺旋(未示出)向上和向下垂直移动。开启和关闭装置500包括一个与臂310平行的支承在主体301之XY平台302上的液压缸501，还包括一个与液压缸501的杆502相连的辊轮503。当杆502朝前移动之后回移时，辊轮503与203接触。按照图3实施例的传感器600来检测标线片100是否被装入堆置于支承台架400中的多个盒子200的每一个。该传感器600包括装于臂310两侧的支座601和602；装于一侧支座上的一发光元件610，在门203被打开的情况下，将光射入盒200内；还包括一个装于另一侧支座上的受光元件620，检测从发光元件610射入盒200内、随之由标线片100反射的光。这里，可将发光元件610及受光元件620装入臂310的支承指状物311上。另外，诸如发射二极管或激光二极管之类的任何发光元件均可能用作为光源。按照图4和5所示的本专利技术另一个实施例的标线片传感器包括一个由半透明材料或透明材料制成盒200的主体202，盒有门203，一发射光的发光元件31和一检测从发光元件31发出的光的受光元件32，它们可选择地安装于盒子200的上部和下部，或者装在它们的两侧，该发光元件31和受光元件32被装在支承台架400上，盒子200就安全地装在架上。另外，由受光元件32测得的信息被送至操纵器300的控制部份，以使臂310可依该信息受到控制。图6表示本专利技术一标线片传感器的再一种实施例，其中若干个盒子200被支承在支承台架400上，以预定的距离被分开。装在支承台架400上的重量传感器900检测盒子200的重量。可将测压仪用作为重量传感器900。将该重量传感器900测得的盒的重量3信息送至操纵器300的控制部分，以与所存盒200的预先测定的重量相比较，使得操纵器的臂310依该比较信息受到控制。以下描述具有上述结构之本专利技术标线片装入本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种标线片装入和取出装置，它包括：一带门的盒子，该门比盒的前面宽度长；一带臂的操纵器，用于将一标线片插入所述盒内或者从所述盒内抽出标线片；所述操纵器中的开启和关闭机构，用以开启和关闭所述的门；以及在所述臂的至少一侧和所述开启 及关闭机构上的检测机构，用以检查所述盒内是否装入了标线片。

【技术特征摘要】
KR 1994-8-25 21085/941.一种标线片装入和取出装置，它包括一带门的盒子，该门比盒的前面宽度长；一带臂的操纵器，用于将一标线片插入所述盒内或者从所述盒内抽出标线片；所述操纵器中的开启和关闭机构，用以开启和关闭所述的门；以及在所述臂的至少一侧和所述开启及关闭机构上的检测机构，用以检查所述盒内是否装入了标线片。2.一种如权利要求1所述的标线性装入和取出装置，其特征在于所述检测装置还包括所述操纵器之臂的两边的支座；在所述的二支座之一上的一发光元件，用以将光射入所述盒内；以及一受光元件，用以检测从所述发光元件发出，随后再从该标线片反射的光。3.一种如权利要求2所述的标线片装入和取出装置，其特征在于所述受光元件和所述发光元件在所述的臂上。4.一种标线片装入和取出装置，它包括一带门的盒子，门在盒的前面；一带臂的操纵器，用以将标线片插入所述盒内或者从所述盒内抽出标线片；所述操纵器中的开启和关闭机构，用以开启和关闭所述的门；以及检测装置，用以检查盒内是否装入了该标线片，...

【专利技术属性】
技术研发人员：池元浩，
申请(专利权)人：三星航空产业株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]