本发明专利技术提供一种掩模夹持模块及掩模拉伸装置，掩模夹持模块包括掩膜夹持单元和重力补偿单元。所述掩膜夹持单元用于夹持一掩膜；所述重力补偿单元沿所述掩模夹持单元的垂向与所述掩模夹持单元间隔设置；所述重力补偿单元用于向所述掩模夹持单元施加与所述掩模夹持单元之重力方向相反的补偿力，以抵消所述掩模夹持单元因重力产生的形变。如此配置，重力补偿单元能够对掩膜夹持单元的重力产生的扭矩进行补偿，避免因掩膜夹持单元受重力而产生垂向形变，从而避免了掩膜夹持单元和其夹持的掩膜发生垂向运动，提高了夹持和拉伸的精度。提高了夹持和拉伸的精度。提高了夹持和拉伸的精度。
【技术实现步骤摘要】
掩模夹持模块及掩模拉伸装置
[0001]本专利技术涉及半导体及显示器制造设备
，特别涉及一种掩模夹持模块及掩模拉伸装置。
技术介绍
[0002]OLED(Organic Light-Emitting Diode)显示器在生产时主要通过蒸镀方式将有机发光材料按照预定程序蒸镀到显示背板上，一般利用掩模上的图形，使得各种颜色的材料蒸镀到相应的位置上。在掩模制作的过程中，需在掩模两端施加拉力对掩模进行拉伸后焊接在金属框架上，以便用于蒸镀。
[0003]掩模在被其载体固定过程中产生的变形误差直接影响了平板显示装置制作的好坏。现有的机械夹紧式固定装置在夹持过程中，各夹持单元向后运动因受到重力等因素而产生扭矩，或者因位移不一致或产生垂向位移，又或者夹持后的掩模板形状发生变化，如倾斜和拱形，引起夹持面接触不均匀，间接影响掩模板的拉伸精度。对于精度要求较高的应用于平板显示装置制造领域的掩模来讲，倾斜和拱形形状很难修复，甚至引起掩模板报废。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种掩模夹持模块及掩模拉伸装置，以解决现有技术中夹持精度易受影响的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种掩模夹持模块，其包括：掩模夹持单元及重力补偿单元；
[0006]所述掩膜夹持单元用于夹持一掩膜；所述重力补偿单元沿所述掩模夹持单元的垂向与所述掩模夹持单元间隔设置；所述重力补偿单元用于向所述掩模夹持单元施加与所述掩模夹持单元之重力方向相反的补偿力，以抵消所述掩模夹持单元因重力产生的形变。
[0007]可选的，在所述掩模夹持模块中，所述重力补偿单元设置于所述掩模夹持单元的下方，所述重力补偿单元包括推力发生装置，所述推力发生装置用于对所述掩模夹持单元产生向上的推力，所述补偿力包括所述推力。
[0008]可选的，在所述掩模夹持模块中，所述重力补偿单元还包括预压力发生装置，所述预压力发生装置用于对所述掩模夹持单元产生向下的吸引力；所述补偿力包括所述推力与所述吸引力之差。
[0009]可选的，在所述掩模夹持模块中，所述预压力发生装置和所述掩模夹持单元中的一个包括第一磁力件，另一个包括第一吸引件，所述第一磁力件与所述第一吸引件相对间隔设置；所述第一磁力件用于产生对所述第一吸引件的吸引磁力，所述吸引磁力被配置为所述吸引力。
[0010]可选的，在所述掩模夹持模块中，所述第一磁力件包括永磁体和/或电磁铁；所述第一吸引件包括铁磁体金属和/或永磁体。
[0011]可选的，在所述掩模夹持模块中，所述预压力发生装置包括抽气装置，所述抽气装
置用于朝向所述掩模夹持单元抽气，以产生所述吸引力。
[0012]可选的，在所述掩模夹持模块中，所述推力发生装置包括气浮发生装置，所述气浮发生装置用于向所述掩模夹持单元喷射气体，以产生所述推力。
[0013]可选的，在所述掩模夹持模块中，所述推力发生装置和所述掩模夹持单元中的一个包括第二磁力件，另一个包括斥力件，所述第二磁力件与所述斥力件相对间隔设置，所述第二磁力件用于产生对所述斥力件的排斥磁力，所述排斥磁力被配置为所述推力。
[0014]可选的，在所述掩模夹持模块中，所述重力补偿单元设置于所述掩模夹持单元的上方，所述重力补偿单元包括拉力发生装置，所述拉力发生装置用于对所述掩模夹持单元产生向上的拉力，所述补偿力包括所述拉力。
[0015]可选的，在所述掩模夹持模块中，所述拉力发生装置和所述掩模夹持单元中的一个包括第三磁力件，另一个包括第二吸引件，所述第三磁力件与所述第二吸引件相对间隔设置，所述第三磁力件用于产生对所述第二吸引件的吸引磁力，所述吸引磁力被配置为所述拉力。
[0016]可选的，在所述掩模夹持模块中，所述掩模夹持单元包括：夹持组件、平移组件及第一驱动组件；所述平移组件包括转动件与平移件，所述转动件在所述第一驱动组件的驱动下转动；所述平移件在所述转动件转动的带动下，沿所述转动件的轴向平移；所述夹持组件用于在所述平移件的驱动下夹持掩膜。
[0017]可选的，在所述掩模夹持模块中，所述第一驱动组件包括电机和传动构件，所述传动构件包括与所述电机同轴固定连接的主动轮、与所述转动件同轴固定连接的从动轮、以及传动件，所述主动轮通过所述传动件与所述从动轮耦合传动连接；所述传动件包括传动带、传动齿、传动链和摩擦轮中的至少一种。
[0018]可选的，在所述掩模夹持模块中，所述掩模夹持单元还包括：柔性体；所述夹持组件通过所述柔性体与所述平移件连接。
[0019]为解决上述技术问题，本专利技术还提供一种掩模拉伸装置，其包括：基座、如上所述的掩模夹持模块、滑动导向单元、拉伸单元以及缓冲单元；
[0020]所述滑动导向单元包括：滑动组件，所述滑动组件沿水平向相对所述基座可移动地设置；所述拉伸单元包括：拉伸组件，所述拉伸组件沿水平向相对所述基座可移动地设置；
[0021]所述掩模夹持单元与所述滑动组件的一端连接；所述拉伸组件通过所述缓冲单元与所述滑动组件的另一端连接；所述拉伸组件用于通过移动驱动所述滑动组件移动，以带动所述掩模夹持单元移动。
[0022]可选的，在所述掩模拉伸装置中，所述拉伸单元还包括：第二驱动组件；所述拉伸组件在所述第二驱动组件的驱动下，沿水平向相对所述基座移动。
[0023]可选的，在所述掩模拉伸装置中，所述滑动导向单元还包括：固定组件，所述固定组件固定设置于所述基座上；所述固定组件具有滑动孔，所述滑动组件可移动地穿设于所述滑动孔中；其中，所述滑动组件与所述滑动孔通过气浮连接。
[0024]可选的，所述掩模拉伸装置还包括：力传感器，所述力传感器设置于所述滑动组件与所述缓冲单元之间。
[0025]可选的，在所述掩模拉伸装置中，所述缓冲单元包括：弹簧和连接杆，所述弹簧的
一端与所述拉伸组件固定连接，所述弹簧的另一端通过所述连接杆与所述力传感器固定连接。
[0026]可选的，在所述掩模拉伸装置中，所述拉伸组件具有一内腔，所述弹簧容置于所述内腔中；所述连接杆的一部分穿设于所述弹簧中，并与所述弹簧固定连接，所述连接杆的另一部分穿出所述内腔，并与所述力传感器固定连接。
[0027]综上所述，本专利技术提供的掩模夹持模块及掩模拉伸装置中，掩模夹持模块包括掩膜夹持单元和重力补偿单元。所述掩膜夹持单元用于夹持一掩膜；所述重力补偿单元沿所述掩模夹持单元的垂向与所述掩模夹持单元间隔设置；所述重力补偿单元用于向所述掩模夹持单元施加与所述掩模夹持单元之重力方向相反的补偿力，以抵消所述掩模夹持单元因重力产生的形变。如此配置，重力补偿单元能够对掩膜夹持单元的重力产生的扭矩进行补偿，避免因掩膜夹持单元受重力而产生垂向形变，从而避免了掩膜夹持单元和其夹持的掩膜发生垂向运动，提高了夹持和拉伸的精度。
附图说明
[0028]本领域的普通技术人员将会理解，提供的附图用于更好地理解本专利技术，而不对本专利技术的范围构成任何限定。其中：
[0029]图1是本专利技术一实施例提本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种掩模夹持模块，其特征在于，包括：掩模夹持单元及重力补偿单元；所述掩膜夹持单元用于夹持一掩膜；所述重力补偿单元沿所述掩模夹持单元的垂向与所述掩模夹持单元间隔设置；所述重力补偿单元用于向所述掩模夹持单元施加与所述掩模夹持单元之重力方向相反的补偿力，以抵消所述掩模夹持单元因重力产生的形变。2.根据权利要求1所述的掩模夹持模块，其特征在于，所述重力补偿单元设置于所述掩模夹持单元的下方，所述重力补偿单元包括推力发生装置，所述推力发生装置用于对所述掩模夹持单元产生向上的推力，所述补偿力包括所述推力。3.根据权利要求2所述的掩模夹持模块，其特征在于，所述重力补偿单元还包括预压力发生装置，所述预压力发生装置用于对所述掩模夹持单元产生向下的吸引力；所述补偿力包括所述推力与所述吸引力之差。4.根据权利要求3所述的掩模夹持模块，其特征在于，所述预压力发生装置和所述掩模夹持单元中的一个包括第一磁力件，另一个包括第一吸引件，所述第一磁力件与所述第一吸引件相对间隔设置；所述第一磁力件用于产生对所述第一吸引件的吸引磁力，所述吸引磁力被配置为所述吸引力。5.根据权利要求4所述的掩模夹持模块，其特征在于，所述第一磁力件包括永磁体和/或电磁铁；所述第一吸引件包括铁磁体金属和/或永磁体。6.根据权利要求3所述的掩模夹持模块，其特征在于，所述预压力发生装置包括抽气装置，所述抽气装置用于朝向所述掩模夹持单元抽气，以产生所述吸引力。7.根据权利要求2～6中任一项所述的掩模夹持模块，其特征在于，所述推力发生装置包括气浮发生装置，所述气浮发生装置用于向所述掩模夹持单元喷射气体，以产生所述推力。8.根据权利要求2～6中任一项所述的掩模夹持模块，其特征在于，所述推力发生装置和所述掩模夹持单元中的一个包括第二磁力件，另一个包括斥力件，所述第二磁力件与所述斥力件相对间隔设置，所述第二磁力件用于产生对所述斥力件的排斥磁力，所述排斥磁力被配置为所述推力。9.根据权利要求1所述的掩模夹持模块，其特征在于，所述重力补偿单元设置于所述掩模夹持单元的上方，所述重力补偿单元包括拉力发生装置，所述拉力发生装置用于对所述掩模夹持单元产生向上的拉力，所述补偿力包括所述拉力。10.根据权利要求9所述的掩模夹持模块，其特征在于，所述拉力发生装置和所述掩模夹持单元中的一个包括第三磁力件，另一个包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：耿鹏飞，张洪博，孙启峰，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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