一种自动去边机自动对中中转台制造技术

本发明专利技术提供了一种自动去边机自动对中中转台，包括对中机构和平衡机构，对中机构包括硅片吸盘、设置于对中机构下部用于调整硅片吸盘与外部吸盘对中的XY调整台，围绕硅片吸盘对称设置有两个硅片夹爪，两个硅片夹爪通过一个平行夹爪电缸连接并相向移动执行抓取动动作，硅片吸盘上表面设置硅片，并对应硅片设置硅片固定结构，平衡机构包括平衡板和设置于平衡板下侧的固定板，固定板水平设置，平衡板对应固定板设置有平衡组件，对中机构设置于平衡板上侧。本发明专利技术所述的对中机构实现了硅片自动对中吸盘中心，同时平衡机构保证了硅片平面与外部吸盘下表面的相对平行，可防止外部吸盘吸取硅片时压碎硅片，提高效率，节省人工成本。节省人工成本。节省人工成本。

【技术实现步骤摘要】
一种自动去边机自动对中中转台


[0001]本专利技术属于硅片生产领域，尤其是涉及一种自动去边机自动对中中转台。

技术介绍

[0002]现有的硅片对中中转台设置有XY调整台，可以实现外部吸盘对硅片的取拿，但是放置硅片的平台与外部吸盘会出现不平行的情况，外部吸盘在下压吸取硅片时，可能会压损硅片，造成额外的损失，同时缺少粗定位的对中措施，XY调整台要移动较大的范围实现对中，效率低，提高人力成本。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本专利技术旨在提出一种自动去边机自动对中中转台，以解决硅片与外部吸盘的不平行，出现硅片压损的情况，同时缺少粗调对中定位，效率低的问题。
[0004]为达到上述目的，本专利技术的技术方案是这样实现的：
[0005]一种自动去边机自动对中中转台，包括对中机构和设置于对中机构下侧的平衡机构，所述对中机构包括硅片吸盘、设置于对中机构下部用于调整硅片吸盘与外部吸盘对中的XY调整台，围绕硅片吸盘对称设置有两个硅片夹爪，两个硅片夹爪通过一个平行夹爪电缸连接并相向移动执行抓取动动作，所述硅片吸盘上表面设置硅片，并对应硅片设置硅片固定结构，
[0006]所述平衡机构包括平衡板和设置于平衡板下侧的固定板，所述固定板水平设置，所述平衡板对应固定板设置有平衡组件，所述对中机构设置于平衡板上侧。
[0007]进一步的，所述硅片夹爪包括连接板、垂直设置与连接板上的立柱，所述连接板与平行夹爪电缸一侧驱动杆固接，所述平行夹爪电缸设置于硅片吸盘下侧；
[0008]所述连接板上设置有两个立柱，同一连接板上的两个立柱之间距离与硅片尺寸对应设置，同一连接板上的两个立柱端部的连线垂直于驱动杆的推动方向；
[0009]所述硅片吸盘对应立柱设置避让槽。
[0010]进一步的，所述固定结构包括真空泵、硅片吸盘外缘侧设置有接口、所述硅片吸盘上表面对应硅片下表面设置抽真空开口，所述接口与真空泵通过抽真空管路连接。
[0011]进一步的，所述硅片吸盘为圆盘型，硅片吸盘上部设置有U型槽，所述U型槽开口一端朝向硅片吸盘的外侧，U型槽闭口一端为圆弧，并与硅片吸盘同轴。
[0012]进一步的，所述对中机构包括底板，所述底板上表面两侧垂直设置竖板，所述竖板上端与硅片吸盘下表面固接，所述底板下表面于xy调整台连接；
[0013]所述外部吸盘连接有对中工装，所述对中工装竖向设置有与u型槽圆弧处对应的圆柱，所述硅片中部圆孔直径与圆柱直径对应设置。
[0014]进一步的，所述固定板临近外缘还等距设置有多个调节螺杆，所述调节螺杆上端与固定板的下表面抵接，另一段伸出固定板上对应调节螺钉设置的螺纹孔；
[0015]所述固定板和平衡板还对应设置有直线位移传感器，所述直线位移传感器临近固
定板的外缘等距设置有多个。
[0016]进一步的，所述平衡板临近外缘周圈等距竖向设置多个弹簧导正螺栓，所述固定板对应所述弹簧导正螺栓设置螺栓过孔，所述弹簧导正螺栓对应套设有弹簧，所述弹簧设置于固定板与平衡板之间；
[0017]所述弹簧导正螺栓的螺栓帽设置于固定板的下侧，所述螺栓帽与固定板下表面之间设置圆环，所述圆环内径与螺栓杆直径对应。
[0018]进一步的，所述固定板下表面中部垂直设置有一对立板，所述立板下端固设长条板，所述长条板四角垂直开设螺钉过孔。
[0019]相对于现有技术，本专利技术所述的一种自动去边机自动对中中转台具有以下有益效果：
[0020](1)本专利技术所述的对中机构实现了硅片自动对中吸盘中心，对中精度
±
0.04mm，同时平衡机构保证了硅片平面与外部吸盘下表面的相对平行，可防止外部吸盘吸取硅片时压碎硅片，降低了劳动力，提高了效率，节省了人工成本。
[0021](2)本专利技术所述的连接板上设置有两个立柱，同一连接板上的两个立柱之间距离与硅片尺寸对应设置，通过更改硅片夹爪两个立柱的距离可适用于2种不同产品硅片(8寸和6寸硅片)，实用性强。
附图说明
[0022]构成本专利技术的一部分的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：
[0023]图1为本专利技术实施例所述的一种自动去边机自动对中中转台整体结构示意图；
[0024]图2为本专利技术实施例所述的硅片吸盘结构示意图。
[0025]附图标记说明：
[0026]1‑
硅片吸盘；11
‑
避让槽；12
‑
U型沉槽；121
‑
圆弧；2
‑
XY调整台；3
‑
硅片夹爪；31
‑
平行夹爪电缸；311
‑
驱动杆；32
‑
连接板；33
‑
立柱；4
‑
硅片固定结构；41
‑
接口；42
‑
抽真空开口；5
‑
平衡板；6
‑
固定板；61
‑
立板；62
‑
长条板；7
‑
平衡组件；71
‑
调节螺杆；72
‑
直线位移传感器；73
‑
弹簧导正螺栓；731
‑
圆环；74
‑
弹簧；8
‑
底板；81
‑
竖板；9
‑
对中工装；91
‑
圆柱。
具体实施方式
[0027]需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0028]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0029]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0030]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本专利技术。
[0031]如图1、图2所示，一种自动去本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动去边机自动对中中转台，其特征在于：包括对中机构和设置于对中机构下侧的平衡机构，所述对中机构包括硅片吸盘(1)、设置于对中机构下部用于调整硅片吸盘(1)与外部吸盘对中的XY调整台(2)，围绕硅片吸盘(1)对称设置有两个硅片夹爪(3)，两个硅片夹爪(3)通过一个平行夹爪电缸(31)连接并相向移动执行抓取动动作，所述硅片吸盘(1)上表面设置硅片，并对应硅片设置硅片固定结构(4)，所述平衡机构包括平衡板(5)和设置于平衡板(5)下侧的固定板(6)，所述固定板(6)水平设置，所述平衡板(5)对应固定板(6)设置有平衡组件(7)，所述对中机构设置于平衡板(5)上侧。2.根据权利要求1所述的一种自动去边机自动对中中转台，其特征在于：所述硅片夹爪(3)包括连接板(32)、垂直设置与连接板(32)上的立柱(33)，所述连接板(32)与平行夹爪电缸(31)一侧驱动杆(311)固接，所述平行夹爪电缸(31)设置于硅片吸盘(1)下侧；所述连接板(32)上设置有两个立柱(33)，同一连接板(32)上的两个立柱(33)之间距离与硅片尺寸对应设置，同一连接板(32)上的两个立柱(33)端部的连线垂直于驱动杆(311)的推动方向；所述硅片吸盘(1)对应立柱(33)设置避让槽(11)。3.根据权利要求1所述的一种自动去边机自动对中中转台，其特征在于：所述固定结构包括真空泵、硅片吸盘(1)外缘侧设置有接口(41)、所述硅片吸盘(1)上表面对应硅片下表面设置抽真空开口(42)，所述接口(41)与真空泵通过抽真空管路连接，所述抽真空开口(42)与接口(41)连通。4.根据权利要求1所述的一种自动去边机自动对中中转台，其特征在于：所述硅片吸盘(1)为圆盘型，硅片吸盘(1)上部设置有U型沉槽(12)，所述U型沉槽(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：靳立辉，杨骅，姚长娟，王国瑞，任志高，杨亮，杜晨朋，
申请(专利权)人：天津环博科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：