本发明专利技术公开了一种柔性聚合物金属沉积复合处理装置，包括放/收卷真空腔室、主体真空腔室、放/收卷装置和抽真空装置，放/收卷真空腔室和主体真空腔室之间通过狭缝一和狭缝二连通，放/收卷真空腔室内设置有放卷辊和收卷辊，主体真空腔室内设置有冷辊一、冷辊二和展平辊，展平辊分布有多个，冷辊一处设置有高功率脉冲磁控和低能离子束设备，冷辊二处设置有高功率脉冲磁控，聚合物基体膜从放卷辊开始，穿过狭缝一后经过展平辊、冷辊一、冷辊二后，经其他展平辊后穿过狭缝二回到收卷辊；抽真空装置用于放/收卷真空腔室和主体真空腔室的抽真空处理；本发明专利技术能够解决聚合物表面金属沉积的结合强度、均匀性和致密性不能满足使用要求的问题。题。题。
【技术实现步骤摘要】
一种柔性聚合物金属沉积复合处理装置
[0001]本专利技术涉及电子信息设备
，特别是涉及一种柔性聚合物金属沉积复合处理装置。
技术介绍
[0002]电子信息领域已成为我国的支柱型行业，据保守估计电子领域相关部件50％以上是依赖国外进口，如光刻胶、光刻机、聚合物基材、高端超薄电子覆铜板材料等等。高端电子覆铜材料主要技术难点在于高结合强度、高均匀性和高致密性的严苛要求，特别是对于超薄覆铜板而言，高致密性、高均匀性、低应力是当今国际难点。目前国内无相关成熟装置，国内相关低端产品主要采用直流磁控溅射进行表面沉积处理，但其结合强度、致密性等仍达不到相关要求。
[0003]综上，现有技术和装备不满足高端产品涉及的聚合物表面金属沉积的要求；其结合强度、均匀性和致密性等均不能满足使用要求。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的是提供一种柔性聚合物金属沉积复合处理装置，能够解决聚合物表面金属沉积的结合强度、均匀性和致密性不能满足使用要求的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：
[0006]本专利技术提供一种柔性聚合物金属沉积复合处理装置，包括放/收卷真空腔室、主体真空腔室、放/收卷装置和抽真空装置，所述放/收卷真空腔室和主体真空腔室之间通过狭缝一和狭缝二连通，所述放/收卷真空腔室内设置有放卷辊和收卷辊，所述主体真空腔室内设置有冷辊一、冷辊二和展平辊，所述展平辊分布有多个，所述冷辊一处设置有高功率脉冲磁控和低能离子束设备，所述冷辊二处设置有高功率脉冲磁控，聚合物基体膜从所述放卷辊开始，穿过所述狭缝一后经过所述展平辊、所述冷辊一、所述冷辊二后，经其他展平辊后穿过所述狭缝二回到所述收卷辊；所述抽真空装置用于所述放/收卷真空腔室和主体真空腔室的抽真空处理。
[0007]优选地，所述放/收卷真空腔室和主体真空腔室焊接连接。
[0008]优选地，所述展平辊设置有四个，所述放卷辊与所述冷辊一之间设置有一个所述展平辊，所述冷辊一与所述冷辊二之间设置有一个所述展平辊，所述冷辊二与所述收卷辊之间设置有两个所述展平辊。
[0009]优选地，两个所述冷辊的温度为
‑
50℃～
‑
300℃，两个所述冷辊均为主动辊。
[0010]优选地，所述抽真空装置包括分子泵、前级管道、旁抽管道和机械泵，所述放/收卷真空腔室的顶部和底部分别设置有一分子泵，所述主体真空腔室的顶部和底部分别设置有两个抽气百叶窗，每个所述抽气百叶窗的外部安装一个所述分子泵，各个所述分子泵通过所述前级管道连接所述机械泵，所述机械泵的尾端设置机械泵排出口，所述前级管道还通过旁抽管连通所述主体真空腔室。
[0011]优选地，所述前级管道上设置有前级阀门，所述旁抽管道上设置有旁抽阀。
[0012]优选地，所述抽真空装置还包括设置于所述放/收卷真空腔室内的低温冷阱一和设置于所述主体真空腔室内的低温冷阱二。
[0013]本专利技术相对于现有技术取得了以下有益技术效果：
[0014]本专利技术提供的柔性聚合物金属沉积复合处理装置，可为聚酰亚胺，聚对苯二甲酸乙二醇酯，聚四氟乙烯、聚丙烯等，在300mm范围内金属膜层的电阻差值小于
±
5％；在柔性聚合物上金属膜层致密性好，膜层厚度为1μm时，在1cm
×
1cm的范围内针孔数不大于5个，能够解决聚合物表面金属沉积的结合强度、均匀性和致密性不能满足使用要求的问题。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本专利技术中柔性聚合物金属沉积复合处理装置的结构示意图；
[0017]图2为本专利技术中低能离子束装置、高功率脉冲磁控与冷辊的位置关系图；
[0018]图中：101
‑
低温冷阱一；102
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放卷辊；103
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收卷辊；104
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展平辊；105
‑
冷辊一；106
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冷辊二；107
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低温冷阱二；108
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高功率脉冲磁控一；109
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高功率脉冲磁控二；110
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机械泵；111
‑
机械泵排出口；112
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前级管道；113
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前级阀门；114
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分子泵；115
‑
旁抽阀；116
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低能离子束装置一；117
‑
高功率脉冲磁控三；118
‑
高功率脉冲磁控四；119
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低能离子束装置二；120
‑
主体真空腔室；121
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放/收卷真空腔室；122
‑
聚合物基体膜；123
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狭缝一；124
‑
狭缝二；125
‑
抽气百叶窗。
具体实施方式
[0019]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0020]本专利技术的目的是提供一种柔性聚合物金属沉积复合处理装置，以解决现有技术存在的问题。
[0021]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。
[0022]本实施例中的柔性聚合物金属沉积复合处理装置，如图1所示，包括放/收卷真空腔室121、主体真空腔室120、放/收卷装置和抽真空装置，聚合物的表面处理在主体真空腔室120内完成，聚合物的放卷和收卷在放/收卷真空腔室121完成；放/收卷真空腔室121和主体真空腔室120之间通过狭缝一123和狭缝二124连通，放/收卷真空腔室121内设置有放卷辊102和收卷辊103，主体真空腔室120内设置有冷辊一105、冷辊二106和展平辊104，展平辊104分布有多个，冷辊一105处设置有高功率脉冲磁控和低能离子束设备，冷辊二106处设置有高功率脉冲磁控，聚合物基体膜122从放卷辊102开始，穿过狭缝一123后经过展平辊104、
冷辊一105、冷辊二106后，经其他展平辊104后穿过狭缝二124回到收卷辊103；抽真空装置用于放/收卷真空腔室121和主体真空腔室120的抽真空处理。
[0023]于本具体实施例中，放/收卷真空腔室121和主体真空腔室120焊接连接，狭缝一123和狭缝二124设置于焊接处，狭缝一123和狭缝二124的长度为10
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种柔性聚合物金属沉积复合处理装置，其特征在于：包括放/收卷真空腔室、主体真空腔室、放/收卷装置和抽真空装置，所述放/收卷真空腔室和主体真空腔室之间通过狭缝一和狭缝二连通，所述放/收卷真空腔室内设置有放卷辊和收卷辊，所述主体真空腔室内设置有冷辊一、冷辊二和展平辊，所述展平辊分布有多个，所述冷辊一处设置有高功率脉冲磁控和低能离子束设备，所述冷辊二处设置有高功率脉冲磁控，聚合物基体膜从所述放卷辊开始，穿过所述狭缝一后经过所述展平辊、所述冷辊一、所述冷辊二后，经其他展平辊后穿过所述狭缝二回到所述收卷辊；所述抽真空装置用于所述放/收卷真空腔室和主体真空腔室的抽真空处理。2.根据权利要求1所述的柔性聚合物金属沉积复合处理装置，其特征在于：所述放/收卷真空腔室和主体真空腔室焊接连接。3.根据权利要求1所述的柔性聚合物金属沉积复合处理装置，其特征在于：所述展平辊设置有四个，所述放卷辊与所述冷辊一之间设置有一个所述展平辊，所述冷辊一与所述冷辊二之间设置有一个所述展平辊，所述冷辊二与所述收卷辊之间设置有两个...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗军，陈小曼，陈琳，庞盼，钟三子，卢艳，李肃，林志浩，刘阳波，
申请(专利权)人：顺束科技天津合伙企业有限合伙，
类型：发明
国别省市：
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